Изобретение может быть использовано, в частности, дл дозировани количества диффузанта в его порах в химической, радио , электронной и другой промышленности . Известны устройства дл дозировани паров жидкости, содержащие емкость с жидким диффузантом, расположенный в ней ограничитель площади поверхности испарени и соединенные с ним каналы дл ввода газа-носител отвода паров диффузанта , причем ограничитель выполнен в виде полого усеченного конуса, большое основание которого соединено с емкостью, а меньшее погружено в жидкий диффузант. Недостатком устройства вл етс то, что при использовании низколетучих жидкостей при малых расходах газа-носител увеличени температуры испар емой жидкости ограничено услови ми его разложени и не всегда выполнимо, а также то, что увеличение площади испарени приводит к увеличению размеров устройства. Кроме того, полый усеченный конус должён выполн тьс из прозрачного материала дл возможности контрол уровн жидкости в испар емом обьеме. Цель изобретени - расширение пределов применени и уменьшение габаритов. Эта цель достигаетс тем, что в устройстве верхнее основание емкости выполнено в виде эластичной мембраны, в которой укреплено меньшее основание полого усеченного конуса ограничител , патрубки подвода и отвода газа-носител подключены к упом нутой емкости, а заливочна горловина выполнена в меньшем основании ограничител . На чертеже представлена схема устройства . Устройство содержит емкость 1 с испрз емой жидкостью, в которой расположен ограничитель площади испарени в виде полого усеченного конуса 2, меньшее основание 3 которого соединено с подвижной эластичной мембраной 4, выполн ющей функцию герметичной крышки, а большое основание 5 своим дном сообщено с внутреЬним объемом емкости 1. Ввод газа-носител осуществл етс через патрубок 6, а отвод паров жидкости в потоке газа носител через патрубок 1. В патрубке установлен кран-натекатель 8. Дл выставлени уровн жидкости на контрольную отметку 9 подвижна мембрана 4 соединена с регулировочным винтом 10. Контрольную отметку 9, определ ющую п проделе (при минимальном экстремальном расходе гоз-ч-иосител ) максимальную площадь испарени жидкости, делают на середине высоты поверхности усеченного конуса 2. Величину конусности, т.е. угол наклона образующей усеченного конуса 2 к основанию , подбирают в зависимости от в зкости жидкости, давлени насыщенных паров и диапазона изменени расхода газа-носител , .. ... Дл заправки устройства жидким реагентом в усеченном конусе 2 имеетс заливочна горловина 11. Устройство работает следующим образом . В емкость 1 через заливочную горловину 11 наливают жидкость, например, тетраэтоксисилан CsH2o04Si (т.кип, 168°С 700 мм рт.ст.) или другие сложные силаны, в обьеме V nv + Уб, где v - объем жидкости, испар емой в течение одного цикла работы; п - число предсто щих циклов: Ve - балластный объем жидкости, в пределах которого происходит изменение плоидади поверхности испарени . Жидкость через горловину 11 заполн ет емкость 1, после этого перед началом каждого цикла работы перемещают усеченный конус 2 внутри емкости до совпадени уровн жидкости с контрольной отметкой 9 на внешней гкэверхности усеченного конуса 2. После этого через патрубок б подают газ-носитель , затем краном-натекателем 8 уменьшают проходное сечение канала 7, Увеличение сопротивлени потоку газа-носител приводит к вытеснению жидкости из емкости 1 внутрь усеченного конуса 2 и снижению в ней уровн жидкости до заданного значени площади поверхности испарени . Захваченные с заданной площади поверхности испарени газом-носителем пары жидкости поступают в канал патрубка 7. При увеличении расхода газа-носител относительно среднего расхода давление над поверхностью испарени увеличиваетс , что уменьшает площадь поверхности испарени . При увеличении расхода газа-носител , наоборот, давление над поверхностью испарени уменьшаетс , что увеличивает площадь поверхности испарени . Таким образом, изменение расхода газа-носител компенсируетс изменением площади поверхности испарени , в результате чего количество дозируемых паров жидкости сохран етс неизменным в течение всего процесса. Применение этого устройства позвол ет , оптимально использу объем устройства, производить дозирование паров различных жидкостей, вплоть до низколетучих, например сложных силанов, с температурой
кипени (160-260°С) с использойанием низких расходов газов носителей.