SU1704123A1 - Интерференционное просветл ющее покрытие - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению, а именно к равнопол ри- зующим просветл ющим покрыти м, и может быть использовано в системах, имеющих в качестве источников излучени  гелий- неоновые лазеры. Цель изобретени  - получение остаточного отражени  Rp R$ 4 0.4% дл  оптических элементов с показател ми преломлени  ns 1.45-1.55, работающих под углом 45° к падающему излучению с длиной волны А 632,8 нм. Просветл ющее покрытие состоит из четырех слоев, счита  от подложки, с показател ми преломлени  2,1; 1,63: 2.1 и 1,38 и оптическими толщинами соответственно 0.03 До ±0,01 До. 0,15 До±0.01 До, 0.5 До±0.01 До. 0,25 До ± 0,01 До. где До 780 нм. 2 ил. ел с

Description

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению и может быть использовано в системах меющих в качестве источников излучени  гелий-неоновые лазеры.

Цель изобретени  - получение остаточного отражени  Rp Rs 0,4% дл  оптических элементов с показател ми преломлени  ns 1,45-1.55, работающих под углом 45° к падающему излучению с длиной волны Д 632,8 нм.

Нафиг.1 приведена конструкци  покрыти ; на фиг.2 - спектральные кривые отражени  р и s пол ризованных компонент.

На подложку 1 (фиг.1) из стекла с показателем преломлени  ns 1,45-1,55 нанесены четыре сло  2-5. Слой 2, прилегающий к подложке, имеет показатель преломлени  2,1 ± 0,01 и оптическую толщину 0,03 До -

± 0,01 АО: следующий за ним слой 3 имеет показатель преломлени  1,63 ±0,01 и оптическую толщину 0.15 До ±0.01 До. слой 4 имеет показатель преломлени  2.1 ±0,01 и оптическую толщину 0,5 До - 0.01 До. слой 5, граничащий с воздухом, имеет показатель преломлени  1,38 ± 0,01 и оптическую толщину 0,25 До ±0.01 До.

Расчет конструкции просветл ющего покрыти  производитс  на ЭВМ с помощью специально разработанной программы с применением математического аппарата с учетом углов падени  излучени  на подложку .

Пример. Выполнение предлагаемого просветл ющего покрыти .

Реализаци  покрыти  осуществл етс  вакуумным напылением на установке A700Q

х4

§

го со

фирмы Lelbold Heraues, оборудованной системой безмасл ной откачки типа Turbovac 1500. прецизионным фотометрическим контролем ОМ-200, системой напуска реактивного газа с блоком регулировки давлени .

Контроль оптических толщин производитс  по контрольному образцу с помощью ОМ-200 регистрацией изменени  величины отраженного сигнала. Контрольный образец представл ет собой плоскопараллельную пластину, полированную с одной стороны, диаметром 42 мм, толщиной 2 мм из стекла К8 с показателем преломлени  1,52. Все четыре диэлектрических сло  нанос т на подогретую до 350°С подложку за один цикл испарени , причем толщина первого сло  составл ет 0.03 До ± 0,01 До, второго 0,15 До ±0,01 До. третьего 0,5 До ±0.01 До. четвертого 0,25 До ± 0,01 До. где До 780 нм - длина волны контрольного фильтра. В качестве испарителей используетс  ESV-6 мощностью б кВт с четырехпозиционным тиглем и вольфрамова  лодочка. Контроль толщины первых двух слоев провод т по одному контрольному образцу каждого последующего по своему свидетелю. Дл  первого и третьего слоев в качестве материала с показателем преломлени  2,1 используетс  смесь окислов ТЮа, HfOz. ZrOz. котора  испар етс  путем термического испарени  из вольфрамовой лодочки в атмосфере кислорода при давлении 1,7 мм рт.ст.. ток эмиссии 80-100 тА. Дл  второго сло  с показателем преломлени  1,63 используют А120з. который испар етс  электронным лучом, ток эмисии ЮОглА. Дл  четвертого сло  в качестве материала с показателем преломлени  1,38 используют фтористый магний MgF2, который испар етс  электронным лучом, расфокусированным ло размерам  чейки тигл . Ток эмиссии 20- 50 тА. После нанесени  слоев детали охлаждают в камере комнатной температуры, затем провод т измерени  пол ризационных и энергетических характеристик покрыти  на специальном стенде с гелий-неоновым лазером и на спектрофотометре Perkln Elmer с приставкой на отражение.

На фиг.2 приведены кривые спектрального отражени  полученные экспериментальным путем на стекле К8 с показателем

1,52 и на кварце с показателем преломлени  1,45.

Измерение коэффициента отражени  проводилось на спектрофотометре Perkin Elmer и специальном стенде с гелий-неоновым лазером.

Приведенные на фиг.2 кривые показывают , что предлагаемое просветл ющее покрытие позвол ет получить дл  заданной длины волны Д 632,8 нм падающего под

углом 45° к подложке излучени , минимальные остаточные коэффициенты отражени  Rs Rp 0,37% дл  подложки с показателем преломлени  1.45-1,55.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Интерференционное просветл ющее покрытие, состо щее из трех слоев с показател ми преломлени  1,63, 2,1 и 1.38. счита  от подложки, и оптическими толщинами второго и третьего слоев, равными сортветственно 0.5 До ± 0.01 До и 0.25 /U ± ОЛ)1 До. отличающеес  тем, что, с целью получени  остаточного отражени  Rp RS4 0.4% дл  оптических элементов с показателем преломлени  ns 1,45-1,55, работающих

   под углом 45° к падающему излучению, оно содержит четвертый слой с показателем преломлени  2,1 и оптической толщиной 0,03 До ± 0,01 До, расположенный между подложкой и первым слоем, причем первый

   слой имеет толщину 0,15 До ±0,01 До. где До 780 нм.

   Риг.1

   KS,RP.R% и

   Q3 0.7 0.5

   0.3 ULf

   BOD 610 620 650640

   Фиг.2

   - P

   650

   660

   A,