SU1694502A1

SU1694502A1 - Способ изготовлени интегральных микролинз

Info

Publication number: SU1694502A1
Application number: SU894758286A
Authority: SU
Inventors: Ирина Ивановна Горина; Валерий Александрович Никитин; Николай Андреевич Яковенко
Original assignee: Кубанский государственный университет
Priority date: 1989-11-14
Filing date: 1989-11-14
Publication date: 1991-11-30

Description

1

(21)4758286/33 (22) 14.11.89 (46)30.11.91. Бюл. №44

(71)Кубанский государственный университет

(72)И.И.Горина, В.А.Никитин и Н.А.Яковен- ко

(53)666.1.053.65(088.8)

(56)Брегеда И.Д. и др. Матрица градиентных микролинз, изготовленна методом электростимулированной диффузии. - Автометри , 1985, № б, с.31-33.

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОЛИНЗ

(57)Изобретение относитс к интегральной оптике и может быть использовано при изготовлении матриц и единичных интегральных микролинз, предназначенных дл устройств обработки и передачи оптической информации. С целью улучшени сферичности и воспроизводимости микролинз в способе изготовлени интегральных микролинз на поверхности стекл нной подложки формуют алюминиевые диски диаметром 0,1- 0,2 диаметра изготавливаемых микролинз. Затем осуществл ют электростимулирован- ную диффузию ионов рубиди в междисковые зоны подложки, удаление алюминиевых дисков и диффузию серебра в полученные матрицы на стекл нной подложке Полученные микролинзы имеют высокую степень сферичности, без искривлений и других нарушений поверхности.

Изобретение относитс к интегральной оптике, а именно к способам обработки стекла, и может быть использовано при изготовлении как единичных микролинз, так и матриц интегральных микролинз, предназначенных дл устройств оптической обработки информации и волоконно-оптических систем св зи.

Целью изобретени вл етс улучшение сферичности и воспроизводимости микролинз .

Способ осуществл ют следующим образом .

На одной из поверхностей стекл нной подложки на местах будущих микролинз формируют алюминиевые диски диаметром, составл ющим 0,1 - 0,2 диаметра изготавливаемых микролинз, а на противоположную сторону стекл нной подложки нанос т сплошной слой алюмини , выполн ющий в дальнейшем роль катода. В поверхность

(Л

С

подложки осуществл ют электростимулиро- ванную диффузию ионов рубиди из расплава нитрата рубиди , анод при этом погружен непосредственно в расплав. Затем алюминиевые диски удал ют и в стекл нную подложку внедр ют ионы серебра из расплава нитрата серебра поддействием внешнего стимулирующего пол . В результате в стекле формируютс микролинзы, имеющие хорошую сферичность, а в промежутках между ними отсутствуют неконтролируемые зоны с повышенным показателем преломлени . Дл изготовлени микролинз может быть использовано любое натрий-силикатное стекло с содержанием не ниже 7%.

Ниже приведен конкретный пример осуществлени способа.

П р и м е р. На подложке стекла от фотопластин размером 30x30x1,25 мм3 при помощи термического вакуумного напылеON

2

(Л О

ю

ни и фотолитографии создают алюминиевые диски диаметром 20 мкм и толщиной 1,5 мкм. На противоположную поверхность стекл нной подложки нанос т сплошной слой алюмини толщиной 1,5 мкм, выполн ющий в дальнейшем роль катода. Стекл нную подложку поверхностью с алюминиевыми дисками привод т в соприкосновение с расплавом нитрата рубиди , в который погружен платиновый электрод, выполн ющий роль анода. К аноду и катоду прикладывают посто нное напр жение величиной 20 В, под действием которого в поверхность подложки осуществл етс внедрение ионов рубиди при температуре |380 ± 5°С в течение 3 мин. По окончании ди,ффузии алюминиевые диски удал ют путем травлени в растовре КОН. По окончании травлени подложку привод т в соприкосновение с расплавом нитрата серебра . Формирование микролинз осуществл ют электростимулированной диффузией ионов серебра из расплава нитрата серебра при температуре 260 ± 5°С в течение 90 мин при внешнем стимулирующем напр жении 50 В. В результате диффузии ионов серебра на стекл нной подложке формируютс матрицы микролинз, представл ющие собой полусферу диаметром 160 мкм. Полученные микролинзы имеют высокую степень сферичности , без искривлений и других нарушений поверхности, что обусловлено отсутствием неконтролируемых зон диффузии ионов серебра.

Дл того, чтобы формируемые микролинзы имели сферическую форму, необходимо , чтобы диаметр алюминиевого диска равн лс 0,1-0,2 диаметра формируемой

микролинзы.

Применение предлагаемого способа по сравнению с существующими обеспечивает:

отсутствие искажений формы и улучшение сферичности изготавливаемых микролинз;

отсутствие дефектных областей в промежутках между линзами;

увеличение выхода годных изделий за

счет повышени воспроизводимости микролинз .

Claims

Формула изобретени Способ изготовлени интегральных микролинз путем нанесени на одну сторону стекл нной подложки сплошного алюминиевого покрыти , а на другую - маскирующего сло из алюмини с последующей электростимулированной диффузией в нее ионов серебра из расплава азотнокислого серебра, отличающийс тем, что, с целью улучшени сферичности и воспроизводимости микролинз, маскирующий слой выполн ют из алюминиевых дисков диаметром , равным 0,1-0,2 диаметра микролинз , затем из расплава нитрата рубиди осуществл ют электростимулированную диффузию ионов рубиди в свободные зоны стекл нной подложки, после чего удал ют алюминиевые диски и осуществл ют диффузию серебра.