SU1693411A1 - Способ контрол герметичности изделий - Google Patents
Способ контрол герметичности изделий Download PDFInfo
- Publication number
- SU1693411A1 SU1693411A1 SU894733198A SU4733198A SU1693411A1 SU 1693411 A1 SU1693411 A1 SU 1693411A1 SU 894733198 A SU894733198 A SU 894733198A SU 4733198 A SU4733198 A SU 4733198A SU 1693411 A1 SU1693411 A1 SU 1693411A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- leak detector
- compensated
- signal
- product
- vacuum chamber
- Prior art date
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к масс-спектро- метрическим методам контрол герметичности и позвол ет повысить чувствительность контрол . Размещают изделие в вакуумной камере. Настраивают компенсируемый течеискатель на регистрацию пробного газа, а некомпенсируемый течеискатель - на регистрацию компонента остаточного газа вакуумной камеры с молекул рной массой, близкой к молекул рной массе пробного газа. Компенсируют выходной сигнал компенсируемого течеискател выходным фоновым сигналом некомпенсируемого течеискател , при этом гас тс как высокочастотные случайные флуктуации, так и монотонно измен юща с нестабильность , св занна с уменьшением газоотделени издели . По результирующему сигналу компенсируемого течеискател суд т о герметичности издели 4 ил, 1 табл.
Description
Изобретение относитс к контрольно- измерительной технике и позвол ет осуществл ть контроль герметичности изделий масс-спектрометрическим методом.
Цель изобретени - повышение чувствительности контрол путем исключени вли ни монотонно измен ющейс нестабильности .
На фиг. 1 представлена принципиальна схема установки дл реализации способа; на фиг. 2 - сигнал компенсируемого течеискател , настраиваемый на регистрацию пробного газа без компенсации; на фиг. 3 - сигнал некомпенсируемого течеискател , настраиваемого на регистрацию компонентов остаточного газа с молекул рной массой, близкой к молекул рной массе пробного газа; на фиг. 4 - сигнал компенсируемого течеискател после компенсации сигналом некомпенсируемого течеискател .
Участок а - б (фиг. 2) соответствует сигналу на негерметичность издели , Т - врем .
Установка состоит из вакуумной камеры 1, в которой размещено испытуемое изделие 2, и пневмопульта 3. Вакуумна камера 1 откачиваетс вакуумным насосом 4. к которому подключены компенсируемый 5 и некомпенсируемый 6 течеискатели. Последние соединены вакуумным трубопроводом 7 и электрической цепью 8. Течеискатель 5 настраиваетс на регистрацию пробного газа . Течеискатель 6 настраиваетс на регистрацию одного из компонентов остаточного газа вакуумной системы, близкого по молекул рной массе к молекул рной массе пробного газа.
Данное условие объ сн етс тем, что стабильность работы откачных вакуумных насосов зависит от молекул рной массы компонента остаточного газа вакуумной системы (см. табл.).
С Ю
СО 4
В таблице представлено отношение величины фоновой флюктуации выходного сигнала течеискател Да ф к величине фона
Оф.
Данные получены экспериментальным путем и в определенной мере характеризуют современный уровень развити масс- спектрометрического метода контрол герметичности.
Если компенсируемый течеискатель 5 настраиваетс на регистрацию пробного газа гели , то некомпенсируемый течеискатель 6 следует настраивать на регистрацию водорода. Если в качестве пробного газа используетс аргон с м.ч, 40, то некомпенсируемый течеискатель настраиваетс на углекислый газ с м.ч. 44.
Стабильность откачки газов с близким молекул рным весом одинакова, следовательно , флюктуации течеискателей, настроенных на различные газы, будут типичны, Вместе с тем процессы газовыделени пробного газа и других компонентов подобны между собой (фиг. 2 и 3). Произвед компенсацию сигнала компенсируемого течеискател 5 сигналом некомпенсируемого течеискател 6, гасим флюктуации и нестабильности первого. Вместе с тем сигнал, вызванный утечкой пробного газа, не может быть скомпенсирован, поскольку такой вид изменени потока газа не регистрируетс некомпенсируемым течеискателем 6.
Способ контрол герметичности изделий осуществл етс следующим образом.
Изделие 2 размещают в вакуумной камере 1. Камеру 1 и изделие 2 обезгаживают. Компенсируемый течеискатель 5 настраивают на регистрацию пробного газа гели , а некомпенсируемый течеискатель 6 - на регистрацию водорода.
Измен чувствительность течеискателей , подбирают услови , при которых величина фонового сигнала и нестабильность двух течеискателей близки между собой.
Компенсируют выходной сигнал компенсируемого течеискател 5 выходным сигналом некомпенсируемого течеискател 6. При этом гас тс флюктуации сигнала
компенсируемого течеискател 5. Подают пробный газ в изделие 2, Если изделие 2 негерметично, то по витс сигнал, который не может быть скомпенсирован сигналом некомпенсируемого течеискател 6. По величине данного сигнала суд т о негерметичности издели .
Чувствительность способа повышаетс , так как производитс гашение как высокочастотных случайных флюктуации течеискател , так и монотонно измен ющейс нестабильности, св занной с уменьшением газоотдачи издели . Кроме того, простота системы по сравнению с известными обеспечивает дополнительное повышение чувствительности и технологичности способа.
Реализаци способа в производстве позвол ет значительно сократить длительность испытаний (не менее чем на 5-6 ч) изделий с большими потоками газовыделени и большими фоновыми потоками пробного газа, сократить его расход, уменьшить трудоемкость испытаний.
Claims (1)
- Формула изобретени Способ контрол герметичности изделий в вакуумной камере, заключающийс в том, что некомпенсируемым течеискателем измер ют фоновый поток газа, фоновым сигналом некомпенсируемого течеискател гас т фоновый сигнал компенсируемого течеискател , измер ющего суммарный поток пробного газа из вакуумной камеры, и по результирующему сигналу компенсируемого течеискател суд т о герметичности издели , отличающийс тем, что, с цельюповышени чувствительности, измерение фонового потока газа осуществл ют путем регистрации компонента остаточного газа вакуумной камеры с молекул рной массой, близкой к молекул рной массе пробного газа.X8/11ИЯ91
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894733198A SU1693411A1 (ru) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | Способ контрол герметичности изделий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894733198A SU1693411A1 (ru) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | Способ контрол герметичности изделий |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1693411A1 true SU1693411A1 (ru) | 1991-11-23 |
Family
ID=21467757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU894733198A SU1693411A1 (ru) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | Способ контрол герметичности изделий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1693411A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6286362B1 (en) * | 1999-03-31 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | Dual mode leak detector |
-
1989
- 1989-06-14 SU SU894733198A patent/SU1693411A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 1565214, кл. G 01 М 3/02, 1987. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6286362B1 (en) * | 1999-03-31 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | Dual mode leak detector |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1047204A (ru) | ||
| US5661229A (en) | Test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind | |
| EP2340427B1 (en) | Calibration systems and methods for tracer gas leak detection | |
| US5900537A (en) | Test gas leakage detector | |
| DE3767670D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur auffindung von lecks mittels eines spuergases. | |
| KR970701488A (ko) | 고압 방전 램프를 점화하고 동작시키는 방법 및 그 방법을 수행하기 위한 회로(method for igniting and operating a high-pressure discharge lamp and a circuit for performing the method) | |
| JPS6287825A (ja) | ガス漏れ検知のための方法及び装置 | |
| JPH0298643A (ja) | トレーサガスによる試験容器の漏れ試験方法 | |
| SU1693411A1 (ru) | Способ контрол герметичности изделий | |
| US5786529A (en) | Search gas detector with vacuum pump and process for operating such a search gas detector | |
| KR100347637B1 (ko) | 기체분석및틈새탐색용장치 | |
| US4021727A (en) | Method of an device for non-destructive pressure measurement of fluorescent lamps | |
| Kobata et al. | Square-wave pressure generator using a novel rotating valve | |
| AU5556398A (en) | Method and device for nondestructively testing fluid-filled containers for leak tightness | |
| Uhl et al. | Gas leak detection by diode laser absorption spectrometry | |
| RU2728322C1 (ru) | Способ контроля герметичности изделий и устройство для его осуществления | |
| SU1670447A1 (ru) | Способ испытани на герметичность изделий | |
| SU1420423A1 (ru) | Способ испытани изделий на герметичность | |
| JPH06201501A (ja) | 圧力測定装置 | |
| EP0165342A1 (en) | Apparatus for detecting leaks in pressurized objects and containers | |
| SU1565215A1 (ru) | Способ масс-спектрометрического контрол герметичности изделий | |
| RU99118574A (ru) | Способ контроля герметичности отсека космического аппарата, устройство для его осуществления и способ испытания устройства для осуществления контроля герметичности отсека космического аппарата | |
| RU2194260C2 (ru) | Способ испытаний изделий на герметичность | |
| SU1187224A1 (ru) | Способ контрол качества диэлектрических покрытий проводников | |
| SU1160821A1 (ru) | Автоматический газоанализатор |