SU1688113A1

SU1688113A1 - A method of manufacturing jet-type recording heads

Info

Publication number: SU1688113A1
Application number: SU894708694A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Афанасьевич Аксенов; Юрий Сергеевич Гусар; Борис Николаевич Дунаев; Тамара Анатольевна Щекина; Сергей Иванович Юношев
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4149
Priority date: 1989-06-21
Filing date: 1989-06-21
Publication date: 1991-10-30

Abstract

Изобретение относитс к приборостроению , а именно к способам изготовлени струйных пишущих головок. Цель изобретени - упрощение процесса изготовлени . Дл достижени цели пластину 3 с соплами изготавливают из бронзовой фольги, в которой первым процессом фотолитографии формируют сквозные и глухие отверсти 4 и 5 соответственно, вторым процессом фотолитографии формируют маску, через которую , осажда медь, получают выступы и нанос т защитное покрытие. Полученную заготовку совмещают и склеивают с подложкой , в которой выполнены резистивные нагревательные элементы. 8 ил.This invention relates to instrumentation engineering, in particular to methods for producing inkjet writing heads. The purpose of the invention is to simplify the manufacturing process. To achieve the goal, the nozzle plate 3 is made of bronze foil, in which the first photolithography process forms through and blind holes 4 and 5, respectively, and the second photolithographic process forms a mask, through which, copper is deposited, protrusions are obtained and a protective coating is applied. The resulting workpiece is combined and glued to the substrate, in which resistive heating elements are made. 8 il.

Description

Изобретение относитс к приборостро-. ению, а именно к способам изготовлени элементов конструкции регистрирующих устройств .The invention relates to instrument-making. , in particular, to the methods of manufacturing the structural elements of the recording devices.

Цель изобретени - повышение производительности и ускорение процесса изготовлени .The purpose of the invention is to increase productivity and speed up the manufacturing process.

На фиг. 1 показана записывающа головка , общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг. 1; на фиг. 4 -8 - последовательность изготовлени многофункциональной пластины.FIG. 1 shows a recording head, a general view; in fig. 2 shows section A-A in FIG. one; in fig. 3 is a view B in FIG. one; in fig. 4-8 is a sequence for making a multifunctional plate.

При изготовлении подложек 1 с рези- стивными нагревательными элементами 2 используетс ситалова пластина, на которую напыл ют тонкие пленки резистивного и проводникового материала. Методом фотолитографии формируют нагревательные элементы (резисторы) и проводники.In the manufacture of substrates 1 with resistive heating elements 2, a base plate is used, on which thin films of resistive and conductive material are deposited. The photolithography method forms heating elements (resistors) and conductors.

При изготовлении многофункциональной пластины 3 заготовку вырезают из бронзовой фольги, обезжиривают венскойIn the manufacture of multi-functional plate 3, the workpiece is cut out of bronze foil, degreased from Vienna

известью, декапируют в 10%-ном растворе сол ной кислоты и нанос т фоторезист на обе стороны заготовки методом окунани . Экспонирование осуществл ют через совмещенный пакет шаблонов (двухстороннее совмещение и экспонирование). После про влени засвеченного сло фоторезиста и термического задубливани производ т травление бронзовой фольги в селективном травителе. По окончании травлени снимают фоторезист. На полученной заготовке со сквозными отверсти ми 4 и глухими отверсти ми 5 после проведени повторной очистки провод т вторую фотолитографию, дл чего нанос т с двух сторон фоторезист и попеременно совмещают и экспонируют фоторезистивную маску 6 под коллектор 7 и выступы 8 на всех модул х групповой обработки . После формировани фоторезистив- ной маски 6 провод т гальваническое наращивание меди, получа при этом коллектор 7 и выступы 8. Затем фоторезистlime, decapitate in a 10% solution of hydrochloric acid and photoresist is applied to both sides of the workpiece by dipping. Exposure is carried out through a combined package of templates (two-sided combination and exposure). After the photo-resist layer is exposed and thermally biased, a bronze foil is etched in a selective etchant. At the end of the etching remove the photoresist. After the repeated cleaning, a second photolithography is carried out on the obtained billet with through holes 4 and blind holes 5, for which a photoresist is applied on both sides and alternately combines and exposes photoresistive mask 6 under collector 7 and protrusions 8 on all modules of group processing . After forming the photoresist mask 6, copper electroplating is carried out, thereby obtaining a collector 7 and protrusions 8. Then the photoresist

соwith

сwith

оabout

00 0000 00

OJOj

Claims

protective nickel plating 9 is removed and applied. The multifunctional plates 3 checked under the microscope are combined and glued to the substrate 1. The invention of the method for preparing an inkjet-type recording head, in which the substrate is made with resistive heating elements and a multi-functional plate from the workpiece, followed by their connection with each other. what with the purpose

increasing the productivity and speeding up the manufacturing process; the plate blank is made of bronze foil; photolithography is used to form through and blind holes in the blank, then a photoresistive mask is formed by repeated photolithography, by which copper tabs are formed by electroplating, after which the photoresistive mask is formed and the protective electroplating of nickel on the entire surface of the multifunctional plate.

srig

In id

No

fig3

FIG H

Fi.5

Fig.c

FIG. d