JPH05239682A - Electroforming method - Google Patents

Electroforming method

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JPH05239682A
JPH05239682A JP4044367A JP4436792A JPH05239682A JP H05239682 A JPH05239682 A JP H05239682A JP 4044367 A JP4044367 A JP 4044367A JP 4436792 A JP4436792 A JP 4436792A JP H05239682 A JPH05239682 A JP H05239682A
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film
masking
base material
dummy insulating
electroforming method
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雅和 新
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Abstract

PURPOSE:To uniformize the thickness of the molding obtd. by an electroforming method. CONSTITUTION:Dummy insulating films 13 to segment the surface on a base material 11 to be applied with the more uniformized current density on the base material 11 to be formed with a plating film 14 are formed at the time of forming masking films 12 to provide desired figures on the base material 11. After the plating film 14 of the first time is formed, the masking films 12 and the dummy insulating films 13 are removed and second masking films 15 are formed in the regions where the masking films 12 are previously formed. A second plating film 17 is thereafter formed by second time of electropalting.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、エレクトロフォーミ
ング方法に関するもので、特に、エレクトロフォーミン
グによって得られる成形物の厚みの均一化を図るための
改良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electroforming method and, more particularly, to an improvement for achieving uniform thickness of a molded article obtained by electroforming.

【0002】[0002]

【従来の技術】エレクトロフォーミング方法は、絶縁体
により導体上に図形を形成した後、電気めっきを行な
い、その皮膜を剥離して製品を得ようとするものであ
る。このようなエレクトロフォーミング方法によって、
たとえば、スクリーン印刷に用いられるメタルメッシュ
刷版が製造されている。図3には、エレクトロフォーミ
ング方法に含まれる代表的な工程が示されている。
2. Description of the Related Art In the electroforming method, a figure is formed on a conductor with an insulator, electroplating is performed, and the film is peeled off to obtain a product. By such an electroforming method,
For example, metal mesh printing plates used for screen printing are manufactured. FIG. 3 shows typical steps included in the electroforming method.

【0003】まず、図3(1a)および(1b)に示す
ように、導電性の基材1上に、たとえばフォトリソグラ
フィによりパターニングされた電気絶縁性のマスキング
膜2が形成される。次いで、図3(2a)および(2
b)に示すように、マスキング膜2が形成された領域を
除いて、基材1上に電気めっきによりめっき膜3が形成
される。次いで、図3(3a)および(3b)に示すよ
うに、マスキング膜2が除去される。その後、図3(4
a)および(4b)に示すように、めっき膜3が、基材
1から剥離される。このようにして、めっき膜3によ
り、目的とする成形物が得られる。
First, as shown in FIGS. 3A and 3B, an electrically insulating masking film 2 patterned by, for example, photolithography is formed on a conductive substrate 1. Then, in FIG. 3 (2a) and (2
As shown in b), the plating film 3 is formed on the base material 1 by electroplating except the region where the masking film 2 is formed. Next, as shown in FIGS. 3 (3a) and 3 (b), the masking film 2 is removed. Then, as shown in FIG.
As shown in a) and (4b), the plating film 3 is peeled from the base material 1. In this way, the plated film 3 provides the desired molded article.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】図4は、エレクトロフ
ォーミング方法によって得られた製品4の一例を示す断
面図であり、この発明が解決しようとする課題を説明す
るためのものである。
FIG. 4 is a sectional view showing an example of a product 4 obtained by the electroforming method, and is for explaining the problem to be solved by the present invention.

【0005】電気めっきによるめっき析出速度は、電流
密度により決まり、電流密度が大きいほど析出速度は増
す。エレクトロフォーミング方法では、電気絶縁性のマ
スキング膜により図形を形成するため、マスキング膜で
覆われた部分の周辺部では、導電性の面の面積が小さく
なり、電流が集中して、電流密度が大きくなる。よっ
て、図4に示すように、マスキング膜で覆われていた部
分の周辺部では、めっき膜の厚みが厚くなり、製品4
を、均一な厚みとすることができない。
The plating deposition rate by electroplating is determined by the current density, and the higher the current density, the higher the deposition rate. In the electroforming method, since the figure is formed by the electrically insulating masking film, the area of the conductive surface is small in the peripheral portion of the portion covered with the masking film, the current is concentrated, and the current density is increased. Become. Therefore, as shown in FIG. 4, the thickness of the plating film is increased in the peripheral portion of the portion covered with the masking film, and the product 4
Cannot have a uniform thickness.

【0006】それゆえに、この発明の目的は、均一な厚
みの成形物を得ることができるエレクトロフォーミング
方法を提供しようとすることである。
Therefore, it is an object of the present invention to provide an electroforming method capable of obtaining a molded product having a uniform thickness.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明は、導電性の基
材上にパターニングされた電気絶縁性のマスキング膜を
形成し、このマスキング膜が形成された領域を除いて、
基材上に電気めっきによりめっき膜を形成し、次いで、
マスキング膜を除去し、めっき膜を前記基材から剥離す
る、各工程を備える、エレクトロフォーミング方法に向
けられるものであって、上述した技術的課題を解決する
ため、次のような構成を備えることを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a patterned electrically insulating masking film is formed on a conductive base material, and except for a region where the masking film is formed,
A plating film is formed on the base material by electroplating, and then
The present invention is directed to an electroforming method that includes each step of removing a masking film and peeling a plating film from the base material, and has the following configuration in order to solve the above-mentioned technical problem. Is characterized by.

【0008】前記マスキング膜を形成する工程は、めっ
き膜を形成すべき基材上でより均一化された電流密度を
与えるべく基材上の面を区画するダミー絶縁膜を形成す
る工程を含む。また、前記めっき膜を形成する工程は、
前記マスキング膜および前記ダミー絶縁膜が基材上に形
成された状態で実施される。また、前記めっき膜を形成
する工程と前記マスキング膜を除去する工程との間で、
前記ダミー絶縁膜を除去し、次いで、再び電気めっきに
より第2のめっき膜が形成される。
The step of forming the masking film includes the step of forming a dummy insulating film for partitioning the surface of the base material so as to provide a more uniform current density on the base material on which the plating film is to be formed. In addition, the step of forming the plating film,
It is performed with the masking film and the dummy insulating film formed on the base material. Further, between the step of forming the plating film and the step of removing the masking film,
The dummy insulating film is removed, and then a second plated film is formed again by electroplating.

【0009】[0009]

【作用】この発明において、ダミー絶縁膜は、電気めっ
きされるべき基材上の面を区画して、電流密度を上げ、
マスキング膜で覆われた部分の周辺部における電流密度
とほぼ等しくなるようにし、めっきされるべき面での電
流密度のより均一化を図る。
In the present invention, the dummy insulating film partitions the surface on the substrate to be electroplated to increase the current density,
The current density in the peripheral portion of the portion covered with the masking film is made substantially equal, and the current density on the surface to be plated is made more uniform.

【0010】[0010]

【発明の効果】したがって、この発明によれば、めっき
膜の厚みの均一化が図れ、得られた成形物の厚みの均一
化を図ることができる。
Therefore, according to the present invention, the thickness of the plated film can be made uniform, and the thickness of the obtained molded product can be made uniform.

【0011】また、この発明では、ダミー絶縁膜を除去
した後、再び電気めっきにより第2のめっき膜を形成す
ることが行なわれるので、このとき、マスキング膜を新
たに形成すれば、段差のある複雑な形状の成形物を容易
に得ることができる。
Further, according to the present invention, after the dummy insulating film is removed, the second plating film is formed again by electroplating. Therefore, if a new masking film is formed at this time, there is a step. A molded product having a complicated shape can be easily obtained.

【0012】上述したように、ダミー絶縁膜を除去する
場合、溶剤が用いられるので、このダミー絶縁膜ととも
にマスキング膜も同時に除去するのが能率的である。し
たがって、第2のめっき膜を形成するにあたっては、少
なくともマスキング膜が形成されていた領域に再び第2
のマスキング膜が形成される。
As described above, since the solvent is used when removing the dummy insulating film, it is efficient to remove the masking film together with the dummy insulating film. Therefore, when forming the second plating film, the second plating film is formed again on at least the region where the masking film was formed.
A masking film is formed.

【0013】また、上述した第2のマスキング膜を形成
する工程において、めっき膜上に第2のダミー絶縁膜を
形成してもよい。この第2のダミー絶縁膜は、既に除去
されている第1のダミー絶縁膜と同様、電気めっき工程
における電流密度の均一化に寄与する。
In the step of forming the second masking film, the second dummy insulating film may be formed on the plating film. This second dummy insulating film, like the first dummy insulating film that has already been removed, contributes to making the current density uniform in the electroplating process.

【0014】[0014]

【実施例】図1は、この発明の一実施例によるエレクト
ロフォーミング方法に含まれる代表的な工程を示す断面
図である。
1 is a sectional view showing a typical process included in an electroforming method according to an embodiment of the present invention.

【0015】図1(1)に示すように、導電性の基材1
1上に、パターニングされた電気絶縁性のマスキング膜
12が形成される。同時に、後の図1(2)の工程で実
施される電気めっきによってめっき膜を形成すべき基材
11上でより均一化された電流密度を与えるべく、基材
11上の面を区画するダミー絶縁膜13が形成される。
これらマスキング膜12およびダミー絶縁膜13は、た
とえばフォトリソグラフィによってパターニングされ
る。
As shown in FIG. 1 (1), a conductive base material 1
A patterned electrically insulating masking film 12 is formed on the first layer 1. At the same time, a dummy for partitioning the surface of the base material 11 so as to give a more uniform current density on the base material 11 on which a plating film is to be formed by electroplating performed in the step of FIG. The insulating film 13 is formed.
The masking film 12 and the dummy insulating film 13 are patterned by, for example, photolithography.

【0016】次に、図1(2)に示すように、マスキン
グ膜12およびダミー絶縁膜13が形成された領域を除
いて、基材11上に電気めっきによりめっき膜14が形
成される。このとき、ダミー絶縁膜13は、マスキング
膜12で覆われた部分の周辺部の電流密度に匹敵する程
度にダミー絶縁膜13で覆われた部分の周辺部の電流密
度を上げるように作用し、基材11上での電流密度の均
一化を図る。そのため、得られためっき膜14は、ほぼ
均一な厚みを有している。
Next, as shown in FIG. 1B, a plating film 14 is formed on the base material 11 by electroplating except for the region where the masking film 12 and the dummy insulating film 13 are formed. At this time, the dummy insulating film 13 acts to increase the current density in the peripheral portion of the portion covered with the dummy insulating film 13 to an extent comparable to the current density in the peripheral portion of the portion covered with the masking film 12, The current density on the base material 11 is made uniform. Therefore, the obtained plated film 14 has a substantially uniform thickness.

【0017】次に、図1(3)に示すように、ダミー絶
縁膜13が除去される。この工程において、実際には、
マスキング膜12がダミー絶縁膜13とともに除去され
る。したがって、マスキング膜12が形成されていた領
域に再び第2のマスキング膜15が形成される。さら
に、前述したダミー絶縁膜13と同様の機能を果たすよ
うに、めっき膜14上に第2のダミー絶縁膜16が形成
される。これら第2のマスキング膜15およびダミー絶
縁膜16のパターニングは、たとえばフォトリソグラフ
ィによって行なわれる。
Next, as shown in FIG. 1C, the dummy insulating film 13 is removed. In this process,
The masking film 12 is removed together with the dummy insulating film 13. Therefore, the second masking film 15 is formed again in the region where the masking film 12 was formed. Further, the second dummy insulating film 16 is formed on the plating film 14 so as to perform the same function as the dummy insulating film 13 described above. The patterning of these second masking film 15 and dummy insulating film 16 is performed by, for example, photolithography.

【0018】次に、図1(4)に示すように、第2のマ
スキング膜15およびダミー絶縁膜16が形成された領
域を除いて、再び電気めっきにより第2のめっき膜17
が形成される。
Next, as shown in FIG. 1D, the second plating film 17 is formed again by electroplating except for the region where the second masking film 15 and the dummy insulating film 16 are formed.
Is formed.

【0019】次いで、図1(5)に示すように、第2の
マスキング膜15およびダミー絶縁膜16が除去され、
めっき膜14および17が基材11から剥離される。こ
のようにして、所望の成形物がエレクトロフォーミング
方法によって得られる。
Next, as shown in FIG. 1 (5), the second masking film 15 and the dummy insulating film 16 are removed,
The plating films 14 and 17 are separated from the base material 11. In this way, the desired molding is obtained by the electroforming method.

【0020】上述した実施例をわずかに変更することに
より、段差のある複雑な形状の成形物を作製することが
できる。図2には、この変形例によって得られたメタル
メッシュ刷版18が断面図および平面図で示されてい
る。
By slightly modifying the above-mentioned embodiment, it is possible to manufacture a molded product having a stepped shape and a complicated shape. FIG. 2 shows a cross-sectional view and a plan view of the metal mesh printing plate 18 obtained by this modification.

【0021】前述した図1(3)の工程において、第2
のマスキング膜15のパターンを変更することにより、
図2に示したメタルメッシュ刷版18が得られる。すな
わち、図1(3)に示された第2のマスキング膜15の
3つずつが、めっき膜14上で一連に延びるようにこの
マスキング膜を形成すればよい。その後、図1(4)お
よび(5)に示した工程を順次実施することにより、図
2に示したメタルメッシュ刷版18が得られる。
In the process of FIG. 1 (3) described above, the second
By changing the pattern of the masking film 15 of
The metal mesh printing plate 18 shown in FIG. 2 is obtained. That is, this masking film may be formed so that three second masking films 15 shown in FIG. 1C extend in series on the plating film 14. After that, the steps shown in FIGS. 1 (4) and 1 (5) are sequentially performed to obtain the metal mesh printing plate 18 shown in FIG.

【0022】このメタルメッシュ刷版18は、ペースト
またはインクを通すメッシュ部19と印刷図形部20と
の2層からなる。ペーストまたはインクの塗布量は、版
厚に依存するため、均一な印刷を行なうためには、メタ
ルメッシュ刷版全体の厚みが均一でなければならない。
従来の方法によって得られたメタルメッシュ刷版では、
版厚の均一化を図ることができず、そのため印刷厚にば
らつきがあった。この発明によってメタルメッシュ刷版
を作製すると、メッシュ部と印刷図形部とを一体に成形
することができるばかりでなく、版厚を完全に均一化す
ることができるため、印刷厚の精度の高いメタルメッシ
ュ刷版を得ることができる。
The metal mesh printing plate 18 is composed of two layers, that is, a mesh portion 19 through which paste or ink is passed and a printed figure portion 20. The amount of paste or ink applied depends on the plate thickness, and therefore the thickness of the entire metal mesh printing plate must be uniform in order to perform uniform printing.
In the metal mesh printing plate obtained by the conventional method,
Since the plate thickness could not be made uniform, the printing thickness varied. When the metal mesh printing plate is produced according to the present invention, not only the mesh portion and the printed figure portion can be integrally formed, but also the plate thickness can be made completely uniform, so that the metal having a high printing thickness accuracy can be obtained. A mesh printing plate can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例によるエレクトロフォーミ
ング方法に含まれる代表的な工程を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a typical process included in an electroforming method according to an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の他の実施例によって得られたメタル
メッシュ刷版18を示す断面図および平面図である。
FIG. 2 is a sectional view and a plan view showing a metal mesh printing plate 18 obtained according to another embodiment of the present invention.

【図3】従来のエレクトロフォーミング方法に含まれる
代表的な工程を示す断面図および平面図である。
3A and 3B are a cross-sectional view and a plan view showing a typical process included in a conventional electroforming method.

【図4】この発明が解決しようとする課題を説明するた
めのエレクトロフォーミング方法によって得られた製品
4の断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a product 4 obtained by an electroforming method for explaining the problem to be solved by the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基材 12 マスキング膜 13 ダミー絶縁膜 14 めっき膜 15 第2のマスキング膜 16 第2のダミー絶縁膜 17 第2のめっき膜 11 base material 12 masking film 13 dummy insulating film 14 plating film 15 second masking film 16 second dummy insulating film 17 second plating film

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電性の基材上にパターニングされた電
気絶縁性のマスキング膜を形成し、 前記マスキング膜が形成された領域を除いて、前記基材
上に電気めっきによりめっき膜を形成し、次いで、 前記マスキング膜を除去し、 前記めっき膜を前記基材から剥離する、各工程を備え
る、エレクトロフォーミング方法において、 前記マスキング膜を形成する工程は、前記めっき膜を形
成すべき前記基材上でより均一化された電流密度を与え
るべく基材上の面を区画するダミー絶縁膜を形成する工
程を含み、 前記めっき膜を形成する工程は、前記マスキング膜およ
び前記ダミー絶縁膜が前記基材上に形成された状態で実
施され、 前記めっき膜を形成する工程と前記マスキング膜を除去
する工程との間に、前記ダミー絶縁膜を除去する工程、
および、次いで再び電気めっきにより第2のめっき膜を
形成する工程をさらに備えることを特徴とする、エレク
トロフォーミング方法。
1. A patterned electrically insulating masking film is formed on a conductive base material, and a plating film is formed on the base material by electroplating except for a region where the masking film is formed. In the electroforming method, the masking film is then removed, and the plating film is peeled from the base material. In the electroforming method, the step of forming the masking film includes the base material on which the plating film is to be formed. The step of forming a dummy insulating film for partitioning the surface of the base material so as to give a more uniform current density, and Performed in a state of being formed on a material, between the step of forming the plating film and the step of removing the masking film, a step of removing the dummy insulating film,
And an electroforming method further comprising the step of forming a second plating film by electroplating again.
【請求項2】 前記ダミー絶縁膜を除去する工程は、当
該ダミー絶縁膜とともに前記マスキング膜を除去する工
程、および、次いで前記マスキング膜が形成されていた
領域に再び第2のマスキング膜を形成する工程を含む、
請求項1に記載のエレクトロフォーミング方法。
2. The step of removing the dummy insulating film, the step of removing the masking film together with the dummy insulating film, and then forming a second masking film again in the region where the masking film was formed. Including the process
The electroforming method according to claim 1.
【請求項3】 前記第2のマスキング膜を形成する工程
は、前記めっき膜上に第2のダミー絶縁膜を形成する工
程を含む、請求項2に記載のエレクトロフォーミング方
法。
3. The electroforming method according to claim 2, wherein the step of forming the second masking film includes the step of forming a second dummy insulating film on the plating film.
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