SU1684591A1 - Измеритель толщины диэлектрических покрытий - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, предназначено дл  измерени  толщины и качества диэлектрических покрытий на металлических издели х и может найти применение в гибком автоматизированном производстве электрофорезного покрыти . Цель изобретени  - повышение точности и информативности измерений. В измерителе толщины покрыти , содержащем измерительный мост с емкостным датчиком , уравновешивание моста производитс  автоматически по двум параметрам - реактивной и активной составл ющим , сигналы уравновешивани  формируютс  в двух независимых каналах. Использование уравновешенного моста повышает точность измерени , а раздельное измерение активной и реактивной составл ющих информационного сигнала позвол ет регистрировать толщину покрыти  и его качество (плотность, упаковки структурными элементами). 1 ил. сл с

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может найти применение в гибком автоматизированном производстве электрофорезного покрыти .

Целью изобретени   вл етс  повышение информативности и точности измерени  толщины покрыти . На чертеже показана блок-схема предлагаемого измерител .

Измеритель толщины диэлектрического покрыти  содержит измерительный мост 1 с емкостным датчиком, соединенный с выходом генератора 2 переменного напр жени , компаратор 3, каналы автоматического регулировани  активной и реактивной составл ющих покрыти , каждый из которых содержит последовательно соединенные

компаратор 4(5), реверсивный счетчик 6(7) и цифроаналоговый преобразователь 8(9), фазовращатель 10, элементы 11 и 12 нормированного гистерезиса. Генератор 2 выходом параллельно соединен с измерительным мостом 1, фазовращателем 10 и компаратором 5. Элементы 11 и 12 нормированного гистерезиса входами соединены с выходом компаратора 3, а выходами - соответственно с входами реверсивных счетчиков б и 7.

Измеритель работает следующим образом .

Измерительный мост 1 зэпитываетс  от генератора 2 переменного напр жени  со стабильной амплитудой. Сигнал с моста поступает на компаратор 3, который формирует пр моугольные сигналы направлени 

о

00 -N СЛ

ю

счета UHC, поступающие на входы Направление счета реверсивных счетчиков б и 7. На счетные входы этих счетчиков поступают соответственно импульсы 1Лч1 и 1)тм2 через компараторы А и 5 от генератора 2, причем импульсы Отч1 сдвинуты по фазе на 90° фазовращателем 10. Реверсивные счетчики 6 и 7 срабатывают в каждом периоде в моменты прихода запускающего фронта импульса на счетные входы счетчиков 6 и 7. При этом направление изменени  их состо ний определ етс  тем, каков в этот момент логический уровень напр жени  UHc, что зависит от направлени  отклонени  измерительной цепи от равновеси . Реверсивный счетчик 7 реагирует на активную составл ющую, а реверсивный счетчик 6 - на реактивную составл ющую сигнала неравновеси . Выходные сигналы реверсивных счетчиков (коды Мвых.1 и Мвых.2),  вл ющиес  носител ми информации о значении измер емой емкости и проводимости соответственно, управл ют цифроаналоговыми преобразовател ми 9 и 10. На их выходах формируютс  уравновешивающие измерительный мост переменные напр жени  Uypi и Uyp2. По достижении состо ни  равновеси  реверсивные счетчики совершают непрерывные колебани  по двум соседним состо ни м. Вследствие этого и выходные параметры колеблютс  по двум соседним дискретным значени м, лежащим по обе стороны от равновесных значений измер емых параметров . Элементы 11 и 12 исключают неустойчивость путем введени  в схему нормированного гистерезиса величиной 1-1,4 шага дискретности. Двоичные коды Ывых.1 и Мвых.2 поступают на устройства индикации, которые отображают текущие значени  реактивной и активной составл ющих сигнала неравновеси .

Уравновешивание измерительного моста провод т по двум составл ющим - реактивной и активной. Уравновешивающие сигналы формируютс  в двух независимых каналах одновременно, что позвол ет не только более точно измерить толщину покрыти , но и получить информацию о качестве покрыти , так как активна  составл юща  сигнала неравновеси  характеризует плотность упаковки структурных элементов покрыти .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Измеритель толщины диэлектрических покрытий, содержащий генератор переменкого напр жени  и соединенный с ним измерительный мост с емкостным датчиком, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности и информативности измерений, он снабжен двум  каналами автематического регулировани  реактивной и активной составл ющих покрыти , каждый из которых содержит последовательно соединенные компаратор, реверсивный счетчик и цифроаналоговый преобразователь,

   фазовращателем, двум  элементами нормированного гистерезиса и третьим компара- .тором, выход генератора переменного напр жени  соединен с входом компаратора канала автоматического регулировани 

   активной составл ющей покрыти  и через фазовращатель с входом компаратора канала автоматического регулировани  реактивной составл ющей покрыти , выход третьего компаратора соединен с входом.

   Направление счета реверсивных счетчиков и входами элементов нормированного гистерезиса, выход каждого из которых соединен с третьим входом соответствующего реверсивного счетчика, а выход цифроаналогового преобразовател  каждого канала автоматического регулировани  соединен с соответствующим входом измерительного моста.