SU1672213A1 - Способ контрол плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации - Google Patents
Способ контрол плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации Download PDFInfo
- Publication number
- SU1672213A1 SU1672213A1 SU884472184A SU4472184A SU1672213A1 SU 1672213 A1 SU1672213 A1 SU 1672213A1 SU 884472184 A SU884472184 A SU 884472184A SU 4472184 A SU4472184 A SU 4472184A SU 1672213 A1 SU1672213 A1 SU 1672213A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plate
- radiation
- interferogram
- spectrum
- signal
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике. Цель изобретени - расширение функциональных возможностей путем обеспечени контрол одновременно с коррекцией формы контролируемой пластины. В способе формируют интерферограмму контролируемой пластины, преобразуют ее в электрический сигнал и механически воздействуют на пластину в точках, соответствующих временам уширени спектра электрического сигнала до достижени шириной спектра минимальной величины. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к контрольно- измерительной технике и может быть использовано дл контрол отклонени поверхности твердотельных пластин.
Цель изобретени - расширение функци- ональных возможностей за счет обеспечени контрол одновременное коррекцией формы контролируемой пластины.
На чертеже представлена блок-схема устройства , реализующего предлагаемый спо- соб.
Устройство состоит из оптически св занных лазера 1, светоделител 2 и объектива 3, предназначенного дл оптической св зи с контролируемой пластиной, отража- тел 4, оптически св занного с лазером 1 через первую грань светоделител 2 и расположенного под углом а к направлению распространени лучей от лазера 1, последо- вательно соединенных растрового фото- электрического преобразовател 5, аналого-цифрового преобразовател 6, блока 7 цифровой обработки и графического диспле 8, телевизионного диспле 9, вход которого подключен к выходу преобразова- тел 5, плоского столика 10 с системой 11 вакуумного присоса контролируемой пластины , матричного блока 12 с п иглами с приводами, предназначенными дл механического воздействи на контролируемую пластину, столик 10 выполнен с п отверсти ми , в которые вставлены иглы блока 12, блока 13 питани , выход которого подключен к входу питани блока 12, вход управлени блока 12 подключен к второму выходу блока 7, и источника 14 потока модифицирующего излучени , предназначенного дл модификации контролируемой пластины. Преобразователь 5 оптически св зан с отражателем 4 и объективом 3 и расположен так, что направление сканировани его растра параллельно плоскости, проход щей через направлени распространени лучей от объектива 3 и отражател 4.
Способ реализуетс следующим образом .
Источником 14 модифицируетс пластина 15. С помощью лазера 1, светоделител 2, объектива 3 и отражател 4 в плоскости преобразовател 5 формируетс интерфе- рограмма пластины 15, форма которой отСоставитель М Техред М Морг
Редактор Т.Иванова
Claims (1)
- клон етс от плоской под действием модифицирующего излучени . Интерферограм- ма сканируетс с помощью преобразовател 5 и контролируетс с помощью диспле д. Сигнал с преобразовател 5 оцифровываетс в преобразователе 6. При идеально плоской форме поверхности пластины 15 интерферограмма пластины представл ет собой систему полос с синусоидальным профилем, следовательно, с выхода преобразовател 5 снимаетс синусоидальный сигнал. Отклонение формы поверхности пластины 15 от плоскости приводит, к искажению системы полос, что приводит к уширению спектра сигнала на выходе преобразовател 6. В блоке 7 вычисл ют координаты точек, соответствующих уширению спектра сигнала с преобразовател 5. По сигналам с блока 7 блок 12 осуществл ет механическое воздействие на пластину 15 до достижени минимальной ширины спектра сигнала с преобразовател 5. Формула изобретени Способ контрол плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации, заключающийс в облучении контролируемой пластины когерентным излучением, формировании опорного когерентного пучка, распростран ющегос наклонно к направлению распространени излучени , рассе нного контролируемой пластиной, формировании интерферограммы контролируемой пластины путем смещени излучени опорного пучка и излучени , отраженного контролируемой пластиной, и преобразовании интерферограммы в электрический сигнал путем ее сканировани , о т л и ч а ю щ и и с тем, что, с целью расширени функциональных возможностей путем обеспечени контрол одновременно с коррекцией формы контролируемой пластины, сканирование интерферограммы осуществл ют в направлени х, пар ллельных плоскости, проход щей через пр мые, параллельные направлени м распространени опорного пучка и излучени , рассе нного контролируемой пластиной, и осуществл ют механическое воздействие на контролируемую пластину в точках , соответствующих временам уширени спектра электрического сигнала до достижени шириной спектра минимальной величины .Корректор О.Кундрик
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884472184A SU1672213A1 (ru) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | Способ контрол плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884472184A SU1672213A1 (ru) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | Способ контрол плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1672213A1 true SU1672213A1 (ru) | 1991-08-23 |
Family
ID=21394744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884472184A SU1672213A1 (ru) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | Способ контрол плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1672213A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5293214A (en) * | 1991-12-06 | 1994-03-08 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for performing thin film layer thickness metrology by deforming a thin film layer into a reflective condenser |
-
1988
- 1988-07-05 SU SU884472184A patent/SU1672213A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1364865, кл. G01 В 11/24, 1986. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5293214A (en) * | 1991-12-06 | 1994-03-08 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for performing thin film layer thickness metrology by deforming a thin film layer into a reflective condenser |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ATE14246T1 (de) | Optisch-mechanischer abtastmechanismus. | |
EP0036298B1 (en) | Improvements in or relating to colour selective filters | |
EP0263143A1 (en) | HIGH RESOLUTION OPTICAL SCANNER. | |
SU1672213A1 (ru) | Способ контрол плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации | |
US5453835A (en) | Multichannel acousto-optic correlator for time delay computation | |
US4035070A (en) | Apparatus and method for optical generation of a structured charge-discharge pattern on a photoreceptor | |
DE3471529D1 (en) | Method and appliance for the acoustic control of the adjustment of optical devices | |
JPS5687818A (en) | Reflex type position detector | |
SU1198441A1 (ru) | Способ автоматической фокусировки оптической системы | |
JPS6440812A (en) | Optical low-pass filter | |
JPS56140768A (en) | Optical device for multibeam scanning | |
SU1167757A1 (ru) | Способ передачи оптического изображени и система дл его осуществлени | |
SU1675718A1 (ru) | Способ контрол фокусировки телескопической системы | |
JPS5539022A (en) | Optical thickness meter | |
SU545931A1 (ru) | Акустооптический спектроанализатор | |
SU1647249A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл измерени профил и толщины изделий сложной формы | |
JPS5494053A (en) | Light spot scanner | |
SU1032443A1 (ru) | Устройство дл ввода изображени | |
SU1436707A1 (ru) | Акустический цифровой перемножитель | |
SU951173A1 (ru) | Акустооптический спектроанализатор | |
SU1317335A2 (ru) | Фотоэлектрический дефектоскоп | |
SU838633A1 (ru) | Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА | |
SU566398A1 (ru) | Устройство дл передачи и воспроизведени строки оптического изображени | |
SU666976A1 (ru) | Акусто-оптический способ формировани и обработки радиосигналов | |
SU1250978A1 (ru) | Акустооптический анализатор спектра |