SU1672213A1 - Способ контрол плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике. Цель изобретени  - расширение функциональных возможностей путем обеспечени  контрол  одновременно с коррекцией формы контролируемой пластины. В способе формируют интерферограмму контролируемой пластины, преобразуют ее в электрический сигнал и механически воздействуют на пластину в точках, соответствующих временам уширени  спектра электрического сигнала до достижени  шириной спектра минимальной величины. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к контрольно- измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  отклонени  поверхности твердотельных пластин.

Цель изобретени  - расширение функци- ональных возможностей за счет обеспечени  контрол  одновременное коррекцией формы контролируемой пластины.

На чертеже представлена блок-схема устройства , реализующего предлагаемый спо- соб.

Устройство состоит из оптически св занных лазера 1, светоделител  2 и объектива 3, предназначенного дл  оптической св зи с контролируемой пластиной, отража- тел  4, оптически св занного с лазером 1 через первую грань светоделител  2 и расположенного под углом а к направлению распространени  лучей от лазера 1, последо- вательно соединенных растрового фото- электрического преобразовател  5, аналого-цифрового преобразовател  6, блока 7 цифровой обработки и графического диспле  8, телевизионного диспле  9, вход которого подключен к выходу преобразова- тел  5, плоского столика 10 с системой 11 вакуумного присоса контролируемой пластины , матричного блока 12 с п иглами с приводами, предназначенными дл  механического воздействи  на контролируемую пластину, столик 10 выполнен с п отверсти ми , в которые вставлены иглы блока 12, блока 13 питани , выход которого подключен к входу питани  блока 12, вход управлени  блока 12 подключен к второму выходу блока 7, и источника 14 потока модифицирующего излучени , предназначенного дл  модификации контролируемой пластины. Преобразователь 5 оптически св зан с отражателем 4 и объективом 3 и расположен так, что направление сканировани  его растра параллельно плоскости, проход щей через направлени  распространени  лучей от объектива 3 и отражател  4.

Способ реализуетс  следующим образом .

Источником 14 модифицируетс  пластина 15. С помощью лазера 1, светоделител  2, объектива 3 и отражател  4 в плоскости преобразовател  5 формируетс  интерфе- рограмма пластины 15, форма которой отСоставитель М Техред М Морг

Редактор Т.Иванова

Claims (1)

1. клон етс  от плоской под действием модифицирующего излучени . Интерферограм- ма сканируетс  с помощью преобразовател  5 и контролируетс  с помощью диспле  д. Сигнал с преобразовател  5 оцифровываетс  в преобразователе 6. При идеально плоской форме поверхности пластины 15 интерферограмма пластины представл ет собой систему полос с синусоидальным профилем, следовательно, с выхода преобразовател  5 снимаетс  синусоидальный сигнал. Отклонение формы поверхности пластины 15 от плоскости приводит, к искажению системы полос, что приводит к уширению спектра сигнала на выходе преобразовател  6. В блоке 7 вычисл ют координаты точек, соответствующих уширению спектра сигнала с преобразовател  5. По сигналам с блока 7 блок 12 осуществл ет механическое воздействие на пластину 15 до достижени  минимальной ширины спектра сигнала с преобразовател  5. Формула изобретени  Способ контрол  плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации, заключающийс  в облучении контролируемой пластины когерентным излучением, формировании опорного когерентного пучка, распростран ющегос  наклонно к направлению распространени  излучени , рассе нного контролируемой пластиной, формировании интерферограммы контролируемой пластины путем смещени  излучени  опорного пучка и излучени , отраженного контролируемой пластиной, и преобразовании интерферограммы в электрический сигнал путем ее сканировани , о т л и ч а ю щ и и с   тем, что, с целью расширени  функциональных возможностей путем обеспечени  контрол  одновременно с коррекцией формы контролируемой пластины, сканирование интерферограммы осуществл ют в направлени х, пар ллельных плоскости, проход щей через пр мые, параллельные направлени м распространени  опорного пучка и излучени , рассе нного контролируемой пластиной, и осуществл ют механическое воздействие на контролируемую пластину в точках , соответствующих временам уширени  спектра электрического сигнала до достижени  шириной спектра минимальной величины .

   Корректор О.Кундрик