Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by В.А. КуликовfiledCriticalВ.А. Куликов
Priority to SU4660591/10ApriorityCriticalpatent/SU1663999A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1663999A1publicationCriticalpatent/SU1663999A1/ru
Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation
(AREA)
Analysing Materials By The Use Of Radiation
(AREA)
Abstract
Изобретение относится к измерительной технике, к мерам для калибровки увеличения и систем позиционирования оптических и электронных микроскопов. Цель изобретения - повышение точности аттестации и проверки микроскопов путем точного определения периода металлических полос меры. Мера состоит из подложки, на которой сформирована система параллельных металлических полос с контактными площадками. В данной системе возбуждают поверхностную акустическую волну, определяют амплитудно - частотную характеристику меры (АЧХ), из данной АЧХ находят период Λ параллельных металлических полос. 3 ил.
SU4660591/10A1989-03-101989-03-10Мера для поверки увеличения и систем позиционирования микроскопов
SU1663999A1
(ru)
Procede et montage pour la mesure de l'affaiblissement et notamment pour la determination de la distorsion d'affaiblissement et/ou de la distorsion de temps de propagation de groupe d'un objet de mesure