Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by В.А. КуликовfiledCriticalВ.А. Куликов
Priority to SU4660591/10ApriorityCriticalpatent/SU1663999A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1663999A1publicationCriticalpatent/SU1663999A1/ru
Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation
(AREA)
Analysing Materials By The Use Of Radiation
(AREA)
Abstract
Изобретение относится к измерительной технике, к мерам для калибровки увеличения и систем позиционирования оптических и электронных микроскопов. Цель изобретения - повышение точности аттестации и проверки микроскопов путем точного определения периода металлических полос меры. Мера состоит из подложки, на которой сформирована система параллельных металлических полос с контактными площадками. В данной системе возбуждают поверхностную акустическую волну, определяют амплитудно - частотную характеристику меры (АЧХ), из данной АЧХ находят период Λ параллельных металлических полос. 3 ил.
SU4660591/10A1989-03-101989-03-10Мера для поверки увеличения и систем позиционирования микроскопов
SU1663999A1
(ru)
Procedimento per la realizzazione di strutture metrologiche particolarmente per l'analisi dell'accuratezza di strumenti di misura di allineamento su substrati processati.
Procede et montage pour la mesure de l'affaiblissement et notamment pour la determination de la distorsion d'affaiblissement et/ou de la distorsion de temps de propagation de groupe d'un objet de mesure