SU165481A1 - SEMI-AUTOMATIC VACUUM INSTALLATION FOR - Google Patents
SEMI-AUTOMATIC VACUUM INSTALLATION FORInfo
- Publication number
- SU165481A1 SU165481A1 SU841116A SU841116A SU165481A1 SU 165481 A1 SU165481 A1 SU 165481A1 SU 841116 A SU841116 A SU 841116A SU 841116 A SU841116 A SU 841116A SU 165481 A1 SU165481 A1 SU 165481A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- chamber
- order
- semi
- separated
- individual
- Prior art date
Links
- 238000009434 installation Methods 0.000 title claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic Effects 0.000 description 1
- 230000033764 rhythmic process Effects 0.000 description 1
Description
Известные вакуумные установки (печи) дл проведени термических процессов периодического действи имеют низкую производительность , отличаютс длительностью цикла, что исключает возможность непрерывного ведени процесса. В карусельных и шлюзовых установках непрерывного действи обильное выделение газов при нагреве изделий не позвол ет интенсифицировать процесс нагрева без ухудшени вакуума во всей рабочей системе, т. е. в последующих стади х процесса.The known vacuum units (furnaces) for carrying out thermal processes of periodic action have low productivity, they are characterized by cycle time, which excludes the possibility of continuous process management. In the carousel and sluice installations of continuous action, abundant evolution of gases during heating of products does not allow intensifying the heating process without deteriorating the vacuum in the whole working system, i.e., in subsequent stages of the process.
В предлагаемой полуавтоматической вакуумной установке часть технологических камер разобщена от базовой камеры.In the proposed semi-automatic vacuum installation, part of the process chambers are separated from the base chamber.
Дл интенсификации процессов нагрева при термообработке и удалени газов при обезгаживании технологическа камера нагрева снабжена индивидуальным откачным постом и отделена от базовой камеры с помощью дискового затвора карусели, на которой установлена кассета с обрабатываемыми издели ми.In order to intensify the heating processes during heat treatment and remove gases during degassing, the technological heating chamber is equipped with an individual pumping station and is separated from the base chamber by means of a rotary valve on which the cassette with processed products is installed.
Технологическа камера охлаждени также снабжена индивидуальным откачным постом и выполнена разобщенной от базовой камеры , в которую ввод т инертный или восстановительный газ дл интенсификации процесса охлаждени .The cooling process chamber is also provided with an individual exhaust post and is separated from the base chamber, into which an inert or reducing gas is introduced to intensify the cooling process.
лены механизмы поднайма дисковых затворов, содержащие поворотно-подъемные рычаги с индивидуальными приводами.Lena mechanisms of subdirection of disk valves, containing tilt and lift levers with individual drives.
Предлагаемый полуавтомат представлен наThe proposed semiautomatic device is presented on
чертеже в двух проекци х.drawing in two projections.
Он представл ет собой вакуумную установку карусельно-шлюзового типа, например 8позиционную , и состоит из базовой вакуумной камеры /, на верхней части которой расположены по окружности технологические камеры 2 и 3, шлюзовой камеры 4 и внутривакуумной карусели 5 с кассетами б дл обрабатываемых изделий. Карусель совершает возвратно-поступательное и вращательное движени от приводного механизма 7. Частьтехнологических камер и шлюзова камера разобщаютс от базовой камеры дисковыми затворами 8 при подъеме карусели дл ввода обрабатываемых изделий в технологическиеIt is a vacuum installation of a carousel-lock type, for example, 8-position, and consists of a base vacuum chamber /, on the upper part of which technological chambers 2 and 3 are located, a lock chamber 4 and an internal vacuum carousel 5 with cassettes b for processed products. The carousel performs reciprocating and rotational movements from the drive mechanism 7. Part of the technological chambers and the sluice chamber are uncoupled from the base camera by disk locks 8 when raising the carousel to enter the processed products into
камеры 2, 3 и шлюзовую камеру 4. Базова , шлюзова и часть технологических камер, разобщенных от базовой камеры, снаб.Кены откачными постами 9 и 10. Разобщение технологических камер от базовой обеспечиваетс механизмами ноджима дисковых затворов, установленными в базовой камере и содержащими поворотно-подъемные рычаги //, действующие от индивидуа.чьных приводов 12. Полуавтомат снабжен электрической частьюchambers 2, 3 and a lock chamber 4. The base, gateway and part of the process chambers, which are separated from the base chamber, provide the Kens with pumping stations 9 and 10. The separation of the process chambers from the base chamber is provided by gate valves installed in the base chamber and containing rotary lifting levers //, acting on individual drives 12. Semiautomatic device is equipped with an electrical part
ми вакуумной системы, контрол и поддержани температуры обрабатываемых изделий .mi vacuum system, control and maintain the temperature of the processed products.
После перезар дки (разгрузки и загрузки обрабатываемых изделий) шлюзовой камеры, Б ней создаетс разрежение; карусель опускаетс после соответствующей выдержки (ритма) изделий в технологических камерах, затем они переход т в базовую камеру, а карусель поворачиваетс на один шаг и снова поднимаетс . При этом издели перемещаютс и последовательно попадают во все технологические камеры нагрева, выдержки, охлаждени и снова возвращаютс в щлюзовую камеру дл перезар дки.After recharging (unloading and loading the processed products) of the lock chamber, a vacuum is created in it; the carousel is lowered after a corresponding shutter speed (rhythm) of the products in the process chambers, then they are transferred to the base camera, and the carousel turns one step and rises again. In this case, the products are moved and successively get into all technological chambers of heating, holding, cooling, and again return to the lock chamber for recharging.
Благодар разобщению технологических камер нагрева и охлаждению от базовой камеры в камере нагрева обильные газовыделени удал ютс собственной откачной системой , а в камере охлаждени осуществл етс эффективное охлаждение изделий при впуске инертного или восстановительного газа с последующим его удалением перед отделением карусели.Due to the separation of the technological chambers of heating and cooling from the base chamber in the heating chamber, abundant gassing is removed by its own evacuation system, and in the cooling chamber, products are effectively cooled when the inert or reducing gas is admitted and then removed before the carousel is removed.
Предмет изобретени Subject invention
Claims (3)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU165481A1 true SU165481A1 (en) |
Family
ID=
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2606105C2 (en) * | 2011-09-19 | 2017-01-10 | Эрликон Серфиз Солюшнз Аг, Пфеффикон | Items vacuum treatment device and method |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2606105C2 (en) * | 2011-09-19 | 2017-01-10 | Эрликон Серфиз Солюшнз Аг, Пфеффикон | Items vacuum treatment device and method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR890002837B1 (en) | Continuous sputtering apparatus | |
| US4567938A (en) | Method and apparatus for controlling thermal transfer in a cyclic vacuum processing system | |
| JPH01225311A (en) | Vapor growth apparatus | |
| JP4422803B2 (en) | System for loading, processing and unloading substrates arranged on a carrier | |
| JP3916490B2 (en) | Hot isostatic pressing apparatus and hot isostatic pressing method | |
| KR100614348B1 (en) | A vacuum processing system having improved substrate heating and cooling | |
| JP4204253B2 (en) | Hot isostatic press | |
| JP2005325428A (en) | Vacuum treatment device and method for producing optical disk | |
| GB2158288A (en) | Controlling thermal transfer | |
| SU165481A1 (en) | SEMI-AUTOMATIC VACUUM INSTALLATION FOR | |
| US3845808A (en) | Apparatus for casting directionally solidified articles | |
| CN103173734A (en) | PVD (physical vapor deposition) equipment and process control method and device | |
| CN113584272B (en) | Heat treatment quenching device and method | |
| JPH0613326A (en) | Heat treating method | |
| JP2909481B2 (en) | Processing method of object to be processed in vertical processing apparatus | |
| CN114197056A (en) | Semiconductor material annealing device and annealing method | |
| KR101150772B1 (en) | Semiconductor heat treatment method and semiconductor heat treatment apparatus | |
| JP3092267U (en) | Reactor with movable lid and aluminum nitride production equipment | |
| JPH11147706A (en) | Purification treatment furnace of graphite material | |
| JP2005015820A (en) | Sputtering apparatus | |
| JPH05283500A (en) | Multi-chamber type vacuum treatment | |
| JP4022619B2 (en) | Annealing treatment, apparatus and system | |
| JP2628264B2 (en) | Heat treatment equipment | |
| JPH0756864B2 (en) | Epitaxy vapor phase growth equipment | |
| JPH09184685A (en) | In-line type vacuum heat treatment furnace |