SU1654142A1 - Затвор дл емкостей с жидкими средами - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к химии, в частности к устройствам дл  хранени  и транспортировки жидких химических сред примен емых в технологических процессах микроэлектроники Цель изобретени  - обеспечение безопасности работы с агрес- сивными средами Корпус затвора имеет боковую резьбовую поверхность 20 и днище, содержащее три диска 2, 3, 1, установленные один под другим В промежуточном диске 3 смонтированы обратный клапан 4 дл  выдачи жидкости и обратный клапан 5 дл  заправки жидкости В корпусе установлен воздушный фильтр 12, а под обратным клапаном 4 дл  выдачи жидкости смонтирована трубка 13 дл  перемещени  по ней жидкости 2 ил

Description

Изобретение относится к химии, в частности к устройствам для хранения и транспортировки жидких химических сред, применяемых в технологических процессах микроэлектроники, что обуславливает весьма жесткие требования к чистоте этих сред.

Целью изобретения является обеспечение безопасности работы с агрессивными средами.

На фиг.1 изображен затвор, общий вид; на фиг.2 -разрез А-А на фиг.1.

Затвор содержит корпус, имеющий днище, содержащее три’ диска 1-3, установленные один под другим. В промежуточном диске 3 смонтированы обратный клапан 4 для выдачи жидкости и обратный клапан 5 для заправки жидкости, для чего в диске 3 (выполнены ступенчатые отверстия 6 и 7, а также отверстия 8-11.

В корпусе смонтирован воздушный фильтр 12.

Под обратным клапаном 4 установлена трубка 13 для перемещения по ней жидкости из емкости 14. В диске 4 выполнены отверстия 15 и 16, соосные с отверстиями 8 и 9, а в промежуточном диске - паз 17, соединенный с отверстием 11. Затвор имеет штуцера 18 и 19, а корпус затвора имеет боковую резьбовую поверхность 20.

Затвор работает следующим образом.

При заполнении емкости 14 через штуцер 19, подключенный к нагнетательному трубопроводу, поступает жидкая среда, которая движется по пазу 17 и, обтекая обратный клапан 5, далее движется через отверстия 10, 9 и 16 в полость емкости. При заполнении емкости 14 воздух выходит наружу через отверстия 15 и 8, и воздушный фильтр 12. При опорожнении емкости под ; воздействием разрежения, создаваемого насосом, обратный клапан 4 поднимается и пропускает жидкость, поступающую к нему по трубке 13, к штуцеру 18. При этом воздух снаружи поступает в емкость через воздушный фильтр 12, компенсируя образующееся снижение давления. Жидкая химическая среда может храниться и транспортироваться после расстыковки с соединительными трубопроводами, вместо которых при длительном хранении могут быть установлены заглушки.

Благодаря наличию воздушного фильтра и обратных клапанов химическая среда надежно защищена от загрязнения инородными включениями. вносимыми воздушным потоком, что особенно важно для предварительно очищенных сред, применяемых в технологических процессах микроэлектроники. Затвор обеспечивает безопасность при работе с агрессивными средами, поскольку емкости наполняются и опорожняются без контакта человека с этими средами, с одновременным сохранением чистоты этих сред.

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Затвор для емкостей с жидкими средами, содержащий корпус, имеющий днище и боковую резьбовую поверхность, смонтированные в нем обратный клапан для выдачи жидкости и воздушный фильтр, отличающийся тем, что, с целью обеспечения безопасности работы с агрессивными средами, он снабжен размещенным в корпусе обратным клапаном для заправки жидкости и трубкой для перемещения жидкости, смонтированной под обратным клапаном выдачи жидкости, при этом днище корпуса содержит три установленных один под другим диска, а оба клапана смонтированы в промежуточном диске.