SU1638681A2 - Устройство дл измерени параметров МДП-структур - Google Patents
Устройство дл измерени параметров МДП-структур Download PDFInfo
- Publication number
- SU1638681A2 SU1638681A2 SU884435492A SU4435492A SU1638681A2 SU 1638681 A2 SU1638681 A2 SU 1638681A2 SU 884435492 A SU884435492 A SU 884435492A SU 4435492 A SU4435492 A SU 4435492A SU 1638681 A2 SU1638681 A2 SU 1638681A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- input
- comparator
- output
- voltage
- structures
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
f
(61) 1068848
(21)4435492/25
(22)02.06.88
(46) 30.03.91. Бюл. № 12
(72) Б.Г.Титов, В.Г.Стадченко
и В.Н.Харенжев
(53)621.382 (088.8)
(56)Авторское свидетельство СССР № 1068848, кл. G 01 R 31/86, 1984.
(54)УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МДП-СТРУКТУР
(57)Изобретение относитс к области измерительной техники, а именно к устройствам дл контрол параметров полупроводниковых приборов, и может быть использовано при оценке качест- ва технологического процесса в производстве МДП-структур. Цель изобре- тени - расширение функциональных возможностей за счет отбора радиа- ционногтойких МДП-структур. В устройство , содержащее генератор 1 вы
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к устройствам дл контрол параметров полупроводниковых приборов, и может быть использовано при оценке качества технологического процесса в производстве МДП-структур.
Цель изобретени - расширение функциональных возможностей за счет отбора радиационноетонких МДП-структур .
На фиг.1 представлена функциональна схема устройства дл отбора
сокой частоты, клеммы 2 и 3 дл подключени исследуемой МДП-струк- туры, генератор 4 развертывающего напр жени , разделительный конденсатор 5, измерительный резистор 6, усилитель 7, детектор 8, блок 9 регистрации , блоки 10 и 11 пам ти, блок 12 формировани опорного напр жени , комп ратор 13 и дифференциатор 14, введены двухспальный ключ 15, сдвоенный компаратор 16, двух- канальный блок 17 задани эталонных значений и индикатор 18, что обеспечивает отбор радиационноетонких МДП-структур путем измерени их электрофизических параметров в виде напр жений на выходе детектора 8 и дифференциатора 14 и сравнени с эталонными напр жени ми, записанньг ми в двухканальном блоке 17 задани эталонных значений, и позвол ет отказатьс от проведени радиационных испытаний. 2 ил.
радиационноетойких МДП-структур; на фиг.2 - временные диаграммы, по сн ющие работу устройства.
Устройство дл отбора радиационное тойких МДП-структур содержит (фиг.1) генератор 1 высокой частоты, клеммы 2 и 3 дл подключени исследуемой МДП-структуры, генератор 4 развертывающего напр жени , разделительный конденсатор 5, измерительный резистор 6, усилитель 7, детектор 8, блок 9 регистрации, блоки 10 и 11 пам ти, блок 12 формировани опорноSS
(Л
о со оо
05
оо
го
J16
го напр жени , компаратор 13, дифференциатор 14, двухканальный ключ 15, сдвоенный компаратор 16, двухканаль- ный блок 17, задани эталонных значений , индикатор 18 и общую шину (на фиг.1 не обозначена).
Выход генератора 1 высокой частоты соединен с клеммой 2 дл подключени исследуемой МДП структуры, друга клемма 3 дл подключени которой соединена с одним входом блока 11 пам ти, с общей шиной через последовательно соединенные разделительный конденсатор 5 и измерительный резистор 6, а также с входом генератора 4 развертывающего напр жени , выход которого соединен с одним входом блока 10 пам ти. i -iT Ka соединени разделительного кон- денсатора 5 и измерительного резистора 6 подключена к входу усилител 7, выход которого подсоединен через детектор 8 к входу дифференциатора 14 и к другому входу блока 10 пам ти, подключенного одним входом к выходу генератора 4 развертывающего напр жени и выходом - через блок 12 формировани опорного напр жени к одному входу компаратора 13, подсоединенного другим входом к выходу дифференциатора 14 и выходом - к другому входу блока 11 пам ти, выход которого соединен с входом блока 9 регистрации . Дифференциатор 4 подключен выходом к одному входу двухканального ключа 15 и к одному входу первого компаратора сдвоенного компаратора 16 и входом - к другому входу двухканального ключа 15 и к одному входу второго компаратора сдвоенного компаратора 16. Первый и второй выходы двухканального ключа 15 подсоединены к соответствующим управл ющим входам двухканального блока 17 задани эталонных значений, первый и второй выходы которого соединены с другими входами соответственно первого и второго компараторов сдвоенного компаратора 16, подключенного выходной шиной к входу индикатора 18.
На фиг,2 прин ты следующие обозначени : сигнал 19 на выходе генератора 1 высокой частоты; сигнал 20 на выходе генератора 4 развертывающего
напр жени ; сигнал 21 на выходе блока 12 формировани опорного напр жени ; сигнал 22 на выходе детектора 8; сигнал 23 на выходе компаратора 13.
Устройство дл отбора радиацион- нестойких МДП-структур работает следующим образом.
Исследуемую МДП-структуру подключают к клеммам 2 и 3 (фиг.1). В ис ходном состо нии на выходе генератора 4 развертывающего напр жени имеетс напр жение U- (фиг.2, сигнал 20), при котором МДП-структура находитс в режиме обогащени . Высокочастотный сигнал U,s снимаемый с вы5
Q 5 Q
5
0
хода генератора-1 высокой частоты (сигнал 19) и пропорциональный емкости МДП-структуры, проходит через разделительный конденсатор 5, выдел етс на измерительном резисторе 6, усиливаетс усилителем 7 и детектируетс детектором 8. После запуска генератора 4 развертывающего напр жени блок 10 пам ти запоминает напр жение U б,х (сигнал 20) на выходе детектора 8, которое соответствует напр жению на выходе емкости окисла МДП-структуры, а на выходе блока 12 формировани опорного напр жени по вл етс напр жение U (сигнал 21), равное производной вольтфарадной характеристики при напр жении включени . Напр жение (сигнал 22), пропорциональное емкости МДП-структуры, с выхода детектора 8 поступает на дифференциатор 14, дифференцируетс в нем и подаетс на вход компаратора 13. Так как при напр жени х, близких к напр жению включени , производна вольтфарадной характеристики измен етс в большей степени, чем величина емкости, то регистрацию напр жени включени при заданном уровне произ-- водной можно определить с большей точностью. Дл повышени точности измерений задаваемый уровень производной корректируетс в зависимости от величины емкости структуры в режиме обогащени путем изменени опорного напр жени на одном из входов компаратора 13. При равенстве напр жени с выхода блока 12 формировани опорного напр жени и сигнала с выхода дифференциатора 14 на выходе компаратора 13 по вл етс сигнал 23, поступающий на второй вход блока 11 пам ти, который запоминает напр жение , которое было в этот момент на МДП-структуре. Напр жение включени МДП-структуры, зафиксированное блоком 11 пам ти, измер етс блоком 9 регистрации.
э . 1 Кроме того, сигналы с выходов детектора 8 и дифференциатора 14 поступают соответственно на одни входы первого и второго компараторов сдвоенного компаратора 16, на другие входы которого подаютс эталонные сигналы с первого и второго выходов двухканального блока 17 задани эталонных значений, при этом двухканальный ключ 1 5 разомкнут. Результат сравнени выходной шины сдвоенного компаратора
16поступает на вход индикатора 18, в котором осуществл етс индикаци результата.
Запись эталонных значений в блок
17задани эталонных значений произвдитс следующим образом.
К клеммам 2 и 3 подсоедин етс эталонна радиационностойка МДП-ИС и производитс измерение напр жений Uвк и Uon (фиг.2). При этом двухканальный ключ 15 переводитс в замкнутое состо ние, и сигналы с выходов детектора 8 и дифференциатора 14 поступают на первый и второй информационные входы блока 17 задани эталонных значений, где и запоминаютс .
Использование изобретени позво- л ет повысить достоверность отбора
, 0
0
5
0
5
1
Claims (1)
- радиационностойких МДП-структур и сократить затраты на отбор примерно на 34%. Формула изобретениУстройство дл измерени параметров МДП-структур по авт. св. № 1068848, отличающеес тем, что, с целью расширени функциональных возможностей за счет отбора радиационностойких МДП-структур , в него введены дополнительный сдвоенный компаратор, двухканальный блок задани эталонных значений, индикатор и двухканальный ключ, подсоединенный одним входом к выходу дифференциатора и к одному входу первого дополнительного компаратора, другим входом - к входу дифференциатора и к одному входу второго дополнительного компаратора, первым и вторым выходами -- к соответствующим управл ющим входам двухканального блока задани эталонных значений, первый и второй выходы которого соединены с другими входами соответственно первого и второго дополнительных компараторов, выходна шина дополнительного сдвоенного компаратора подключена к входу индикатора.tffQMfi,fys-lOB Ujt+lOA9bt.Ј.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884435492A SU1638681A2 (ru) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | Устройство дл измерени параметров МДП-структур |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884435492A SU1638681A2 (ru) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | Устройство дл измерени параметров МДП-структур |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1068848 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1638681A2 true SU1638681A2 (ru) | 1991-03-30 |
Family
ID=21379228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884435492A SU1638681A2 (ru) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | Устройство дл измерени параметров МДП-структур |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1638681A2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2456627C1 (ru) * | 2011-03-31 | 2012-07-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие федеральный научно-производственный центр "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова" | УСТРОЙСТВО ДЛЯ КУЛОНОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НАНОСТРУКТУР ТРАНЗИСТОРА n-МОП В ТЕХНОЛОГИЯХ КМОП/КНД |
-
1988
- 1988-06-02 SU SU884435492A patent/SU1638681A2/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2456627C1 (ru) * | 2011-03-31 | 2012-07-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие федеральный научно-производственный центр "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова" | УСТРОЙСТВО ДЛЯ КУЛОНОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НАНОСТРУКТУР ТРАНЗИСТОРА n-МОП В ТЕХНОЛОГИЯХ КМОП/КНД |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4825147A (en) | Capacitance measuring method and apparatus | |
| US2618674A (en) | Difference measuring apparatus | |
| US4797603A (en) | Device for measuring the ratio of two low value capacities | |
| US4258315A (en) | Inductance meter | |
| US4599604A (en) | A/D Self-testing circuit | |
| SU1638681A2 (ru) | Устройство дл измерени параметров МДП-структур | |
| US20050099251A1 (en) | Circuit for detecting capacitance change in variable capacitance | |
| GB1383062A (en) | Corrosion ratemeter | |
| JPH0131967Y2 (ru) | ||
| SU1068848A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров МДП структур | |
| JPS59148855A (ja) | 皮表角質層用コンダクタンス測定器 | |
| JP2002107406A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JP3544449B2 (ja) | 低コストのポインティング・スティック回路 | |
| JPH0278912A (ja) | 可変容量形センサシステム | |
| US3857097A (en) | Compensating techniques for sensitive wide band voltmeters | |
| SU919486A1 (ru) | Устройство дл определени генерационного времени жизни неосновных носителей зар да в МДП-конденсаторах | |
| SU805201A1 (ru) | Устройство дл измерени сопротивлени изОл ции элЕКТРичЕСКиХ СЕТЕй | |
| RU2008690C1 (ru) | Способ измерения электрической емкости и индуктивности | |
| SU1132255A1 (ru) | Устройство дл измерени относительной погрешности делителей напр жени | |
| SU1043482A1 (ru) | Емкостной преобразователь перемещений | |
| RU2042954C1 (ru) | Устройство для контроля заданного погонного сопротивления микропровода в стеклянной изоляции | |
| SU883760A1 (ru) | Устройство дл измерени амплитуды измен ющихс во времени сигналов | |
| SU945679A1 (ru) | Устройство дл измерени резонансной частоты изделий | |
| SU678329A1 (ru) | Тензометрическое устройство | |
| SU1247680A1 (ru) | Врем импульсный преобразователь измерител температуры |