SU1636895A1 - Electron microscope stage - Google Patents

Electron microscope stage Download PDF

Info

Publication number
SU1636895A1
SU1636895A1 SU874350218A SU4350218A SU1636895A1 SU 1636895 A1 SU1636895 A1 SU 1636895A1 SU 874350218 A SU874350218 A SU 874350218A SU 4350218 A SU4350218 A SU 4350218A SU 1636895 A1 SU1636895 A1 SU 1636895A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
carriage
potentiometric
cover
rigid
accuracy
Prior art date
Application number
SU874350218A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Карлен Ваганович Авакян
Владимир Михайлович Арутюнян
Фердинанд Вазгенович Гаспарян
Вартан Шагенович Марукян
Original Assignee
Ереванский государственный университет
Предприятие П/Я А-7636
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ереванский государственный университет, Предприятие П/Я А-7636 filed Critical Ереванский государственный университет
Priority to SU874350218A priority Critical patent/SU1636895A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1636895A1 publication Critical patent/SU1636895A1/en

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к технике электронной микроскопии. Цель изобретени  - упрощение .конструкции и увеличение точности индикации положени  каретки. Предметный столик содержит основание 1 с установленными на нем обмоткой 3 и коллектором 4 потенциометрического преобразовател  линейных перемещений. В крышку 5 установлена каретка 6 с пластинами 7, образующими движок 8 потенциометрического преобразовател  линейных переме77 Ю щений. Винт 9 и каретка 6 образуют винтовую пару. На каретке 6 закреплен металло- стекл нный столик 16 с металлической пр моугольной установочной плоскостью 17 и выводами 18. Предметный столик установлен с помощью жестких выводов 2 и 19 на жесткой печатной плате 20. При повороте головки винта 9 осуществл етс  линейное перемещение каретки 6 и вместе с ней и столика 16, при этом одновременно с потенциометрического преобразовател  считываетс  информаци  о величине линейного перемещени  столика. При проведении измерений электрофизических характеристик исследуемый объект закрепл ют под установочной плоскостью 17 посредством соединени  выводов объекта с выводами 18 столика. Точность позиционировани  образца по отношению к пучку электронов повышаетс  за счет жесткого соединени-  каретки и столика. 2 ил. WJ7 со С 15 72 о CJ сь 00 Ю елThis invention relates to electron microscopy. The purpose of the invention is to simplify the design and increase the accuracy of the carriage position indication. The stage contains a base 1 with winding 3 installed on it and a collector 4 of a potentiometric linear displacement transducer. A cover 6 is installed in the cover 5 with plates 7 forming the engine 8 of a potentiometric linear displacement transducer. Screw 9 and carriage 6 form a screw pair. The carriage 6 is fixed to a metal-glass table 16 with a metal rectangular mounting plane 17 and terminals 18. The object table is mounted using rigid leads 2 and 19 on a rigid printed circuit board 20. When turning the screw head 9, the carriage 6 moves linearly and with it and table 16, while simultaneously with the potentiometric converter information is read on the magnitude of the linear movement of the table. When measuring the electrophysical characteristics, the object under investigation is fixed under the mounting plane 17 by connecting the conclusions of the object with the terminals 18 of the table. The accuracy of the positioning of the sample with respect to the electron beam is increased due to the rigid connection between the carriage and the table. 2 Il. WJ7 from C 15 72 about CJ camp 00 Yu ate

Description

X/VyW К ХААА/У ХУуУ XA/V М . Х/УХ Л/УУ X АДЛ ., X / VyW K HAAA / U HUUU XA / V M. X / UH L / UU X ADL.,

5 five

2020

6 13 1 7 8 Ч 36 13 1 7 8 H 3

5 Фиг.15 figure 1

Изобретение относитс  к технике электронной микроскопии и может использоватьс  дл  индикации положений скольз щего столика в электронном микроскопе при проведении измерений электрофизических характеристик полупроводников , полупроводниковых приборов различного назначени  и диэлектриков при воздействии электронных пучков.The invention relates to an electron microscopy technique and can be used to indicate the positions of a sliding table in an electron microscope when measuring the electrical characteristics of semiconductors, semiconductor devices for various purposes and dielectrics when exposed to electron beams.

Цель изобретени  - упрощение конструкции и увеличение точности индикации положени  каретки за счет выполнени  каретки заодно с движком потенциометриче- ского преобразовател  линейного перемещени , что позвол ет исключить из конструкции механизм перемещени  движка , который  вл етс  дополнительным источником погрешности.The purpose of the invention is to simplify the design and increase the accuracy of the carriage position indication by performing the carriage at the same time as the potentiometric linear displacement transducer engine, which eliminates the engine displacement mechanism from the design, which is an additional source of error.

На фиг. 1 представлен предметный столик , продольный разрез; на фиг,2 - то же, поперечный разрез.FIG. 1 shows a stage, a longitudinal section; fig 2 is the same cross section.

Предметный столик содержит основание 1 с двум  парами жестких выводов 2, к которым присоединены концы обмотки 3 и выводы коллектора 4 потенциометрическо- го преобразовател  линейных перемещений столика.The stage contains a base 1 with two pairs of rigid terminals 2, to which are attached the ends of the winding 3 and the terminals of the collector 4 of the potentiometric transducer of the linear displacements of the table.

В металлическую крышку 5 установлена каретка 6 с Двум  парами контактных пластинок 7, жестко соединенных между собой и образующих движок 8 потенциометриче- ского преобразовател  линейных перемещений . Удлиненной формы боковые и верхн   стенки крышки 5  вл ютс  пр молинейными направл ющими дл  каретки 6. В сквозное отверстие на боковой стенке крышки 5 продет винт 9 с кольцевой резиновой прокладкой 10, смазанной высоковакуумным маслом и установленной в канавке на головке 11 винта. Винт 9 завинчен в сквозное резьбовое отверстие на торце каретки 6 и установлен стержнем 12 в отверстие на другой боковой стенке крышки 5. В отверстие на верхней стенке крышки 5 вдоль второй канавки на головке 11 винта установлен штифт 13.In the metal cover 5, a carriage 6 is installed with Two pairs of contact plates 7, rigidly interconnected and forming a slider 8 of a potentiometric linear displacement transducer. The elongated shape of the side and top walls of the lid 5 are straight guides for the carriage 6. In the through hole on the side wall of the lid 5 pass a screw 9 with an annular rubber gasket 10, lubricated with high-vacuum oil and installed in the groove on the screw head 11. The screw 9 is screwed into the through-threaded hole at the end of the carriage 6 and mounted with a rod 12 into the hole on the other side wall of the cover 5. A pin 13 is installed into the hole on the top wall of the cover 5 along the second groove on the screw head 11.

В выполненные на торце каретки 6 два .сквозных отверсти  продеты и соединены жестко с движком посредством аралдитной смолы два отрезка проволоки 14, четыре конца которых выведены через щель 15, выполненную на верхней стенке крышки 5, и изогнуты. На четырех концах проволоки установлен и соединен с ними посредством припо  металлостекл нный столик 16 с металлической пр моугольной установочной плоскостью 17, монолитной со столиком, и выводами 18, расположенными вдоль длинных сторон пр моугольной установочной плоскости 17 параллельно пр молинейнымThe two through-holes made at the end of the carriage 6 are threaded and rigidly connected to the engine by means of araldite resin two pieces of wire 14, the four ends of which are led out through a slot 15, made on the top wall of the cover 5, and are bent. At the four ends of the wire, a metal-glass table 16 with a metal rectangular mounting plane 17, which is monolithic with the small table, and leads 18 located along the long sides of the rectangular mounting plane 17 parallel to the straight line is installed and connected to them.

направл ющим каретки 6. Столик 16 подсоединен к одному из выводов 18 отрезком проволоки посредством припо . Боковые стенки удлиненной формы крышки 5 снабжены двум  жесткими выводами 19, монолитными с крышкой. Основание 1 установлено в крышку 5, и они соединены между собой посредством аралдитной смолы так, что контактные пластинки 7 контак0 тируют с витками обмотки 3 и коллектором 4. Преобразователь со столиком 16 установлен выводами 2 и 19 в отверсти  на жесткой печатной плате 20, и выводы соединены с токовводами на плате посредством припо .guides the carriage 6. The little table 16 is connected to one of the leads 18 by a wire segment by means of solder. The side walls of the elongated shape of the cover 5 is equipped with two rigid leads 19, monolithic with a cover. The base 1 is installed in the cover 5, and they are interconnected by means of an araldite resin so that the contact plates 7 contact the turns of the winding 3 and the collector 4. The converter with the table 16 is installed with the terminals 2 and 19 in the holes on the rigid printed circuit board 20, and the terminals connected to the current leads on the board by means of solder.

5 Столик работает следующим образом.5 The table works as follows.

При повороте головки 11 винта винт 9, заключенный между боковыми стенками крышки 5, штифтом 13 завинчиваетс  в сквозном резьбовом отверстии на торце ка0 ретки 6 и перемещает столик 16 и движок 8 с двум  парами контактных пластинок 7. Пр молинейное перемещение контактов 7 по виткам обмотки 3 и по коллектору 4, а также столика 16 строго пропорциональноWhen the screw head 11 is rotated, a screw 9 enclosed between the side walls of the cover 5 is screwed in by a pin 13 in the through-threaded hole at the end of the carriage 6 and moves the table 16 and the slider 8 with two pairs of contact plates 7. The linear movement of the contacts 7 along the turns of the winding 3 and on the collector 4, as well as table 16 is strictly proportional

5 изменению сопротивлени  преобразовател .5 change the resistance of the converter.

При проведении измерений электрофизических характеристик исследуемый объект закрепл ют над установочнойWhen conducting measurements of the electrophysical characteristics of the object under study is fixed above the installation

0 плоскостью 17 посредством соединени  выводов объекта с выводами 18 столика припоем , а противоположные концы выводов 18 подключают к задающей и измерительной радиоэлектронной аппаратуре, задают0 by plane 17 by connecting the terminals of the object with the pins 18 of the table with solder, and the opposite ends of the pins 18 are connected to the master and measuring electronic equipment, set

5 на пр моугольной двухкоординатной системе экрана монитора координаты посредством просмотра в оптический микроскоп исследуемого объекта, размещенного на установочной плоскости 17, и п тна от пучка5 on the rectangular two-coordinate system of the monitor screen of the coordinate by viewing in the optical microscope the object under study, placed on the setting plane 17, and spot from the beam

0 электронов, падающего на объект перпендикул рно к установочной плоскости 17.0 electrons incident on an object perpendicular to the setup plane 17.

Заземл ют столик 16 и крышку 5 дл  отвода статического зар да при случайном попадании электронного пучка на столик 16,Grounding the table 16 and the cover 5 for removing static charge when an electron beam is accidentally hit the table 16,

5 установочную плоскость 17 или крышку 5 и возникновении на них электрических токов и электрических полей, которые отклон ют электронный пучок, воздействующий на исследуемый объект, и  вл ютс  источниками5 the setting plane 17 or the cover 5 and the occurrence of electric currents and electric fields on them which the electron beam deflecting the object under study deflects and are sources

0 наводок, привод  к искажению результатов измерений.0 interference, resulting in distorted measurement results.

Предлагаема  конструкци  столика позвол ет повысить точность позиционировани  образца по отношению к пучкуThe proposed stage design improves the accuracy of sample positioning with respect to the beam.

5 электронов и автоматически зафиксировать координаты с помощью преобразовател  линейных перемещений.5 electrons and automatically fix the coordinates using a linear displacement transducer.

Claims (1)

Формула изобретени  Предметный столик электронного микроскопа , содержащий основание, установленную в нем на направл ющих каретку, соединенную с держателем образца и движком потенциометрического преобразовани  линейных перемещений каретки, выполненным в виде пр молинейного каркаса с обмоткой, коллектора и контактных элементов, закрепленных на движке, и механизм перемещени  каретки, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  конструкции и увеличени  точности индикации положени  каретки, соединение каретки с движком выполнено жестким, а держатель образца снабжен пр моугольной металлической установочной пластиной и двум  р дами электрических выводов, размещенных вдоль ее длинных сторон на изол торах.The invention contains an electron microscope stage containing a base, a carriage mounted thereon on guides, connected to a sample holder and a potentiometric conversion engine for linear movements of a carriage made in the form of a straight frame with a winding, a collector and contact elements mounted on the engine, and a mechanism movement of the carriage, characterized in that, in order to simplify the design and increase the accuracy of indicating the position of the carriage, the connection of the carriage to the slider is rigid The sample holder is provided with a rectangular metal mounting plate and two rows of electrical leads placed along its long sides on insulators. 16sixteen 20 z 1920 z 19 Фиг. 2.FIG. 2 1818 17 1517 15 1one
SU874350218A 1987-12-28 1987-12-28 Electron microscope stage SU1636895A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874350218A SU1636895A1 (en) 1987-12-28 1987-12-28 Electron microscope stage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874350218A SU1636895A1 (en) 1987-12-28 1987-12-28 Electron microscope stage

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1636895A1 true SU1636895A1 (en) 1991-03-23

Family

ID=21344972

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874350218A SU1636895A1 (en) 1987-12-28 1987-12-28 Electron microscope stage

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1636895A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент FR № 2282150, кл. Н01 С 9/02, 1974. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3911361A (en) Coaxial array space transformer
US3731191A (en) Micro-miniature probe assembly
JP2656744B2 (en) Open-frame portal probe detection system
EP0174017B1 (en) Improvements relating to capacitive devices for measuring the diameter of a dielectric fibre
DK165857C (en) MEASURING VALUE DIOMETER
Antler et al. Effect of fretting on the contact resistance of palladium
JPH0921828A (en) Vertical actuation type probe card
US4476433A (en) Electronic test fixture
SU1636895A1 (en) Electron microscope stage
US4812745A (en) Probe for testing electronic components
US6496013B1 (en) Device for testing circuit boards
CN209991931U (en) Hole surface copper integrated thickness measuring device
KR920022440A (en) Inspection device of semiconductor device
CN113358936A (en) Resistance measuring device for conductive adhesive tape in shielding cover
JPS6236139Y2 (en)
JPS62298781A (en) Handler for measuring device characteristic
JPS6336281Y2 (en)
CN217846376U (en) Inductance and resistance test equipment for electronic element
TWI788963B (en) Circuit board testing equipment
CN213633513U (en) Crystal test mounting base
JPH0658956A (en) Variable pitch probe for inspecting/testing circuit board
JP2634060B2 (en) Probe device
US3184858A (en) Height gage
KR900001985B1 (en) Semiconductor device measuring apparatus
SU1764525A3 (en) Binder plate for electric current chemical source