SU1635166A1 - Регул тор давлени газа - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к автоматике, в частности к регул торам давлени , и может быть использовано в системах газонапуска дл  регулировани  давлени  технологических сред при производстве изделий электронной техники.

Цель изобретени  - расширение об- ласти применени  регул тора за счет расширени  диапазона регулировани .

На чертеже представлен регул тор давлени .

Регул тор содержит корпус 1 с входной 2 и выходной 3 полост ми, регулирующий орган, затвор 4 которого расположен со стороны входной полости и жестко св зан со штоком 5, чувствительный элемент 6 с жестким центром 7, цилиндрическую пружину 8 сжати , регулируемую пружину 9, пружину 10, днище выходной полости 11. Между жестким центром 7 и штоком 5 имеетс  зазор .

0

СП

О5 О

Регул тор работает следующим образом .

В статическом положении (вакуумна  откачка отсутствует) затвор 4, поджа- . тый пружиной 10, закрыт, чувствительный элемент 6 имеет выпуклость в сторону атмосферы (наружу), обусловленную действием цилиндрической пружины 8 сжати . При вакуумной откачке на чувствительный элемент 6 начинает действовать давление атмосферы, в результате чего он начинает прогибатьс  внутрь выходной полости 3 в -пределах зазора между штоком 5 и жестким центром 7. В этом состо нии затвор 4 закрыт (что обеспечиваетс  пружиной 10), а атмосферное давление на чувствительный элемент 6 полностью компенсируетс  пружиной 8 сжати . Жесткость цилиндрической пружины 8 сжати  выбираетс  из соотношени 

Р(Л

f. P

от

P (S) - усилие на цилиндрической пружине сжати  при сжатии ее на величину ра , кг: f - площадь чувствительного

элемента, см1; Р..... - атмосферное давление,

.  

кг/см.

При поджатии регулируемой пружины 9 дл  открыти  регул тора при напуске газа в вакуумную технологическую камеру шток 5, непосредственно воздей- стлу  (зазор отсутствует) на затвор

Q 4 (при этом пружина 10 сжимаетс ), открывает его на заданную величину, обеспечива  необходимый расход газа. В этом положении чувствительный элемент имеет некоторый прогиб внутрь

5 полости 3. Возможные колебани  давлени  в полости 3 компенсируютс  коле- ни ми чувствительного элемента 6 и регулируемой пружины 9. При этом чувствительный элемент 6 через шток

0 5 автоматически управл ет затвором 4, измен   расход газа в сторону увеличени  или уменьшени . Жесткости пружин 10 и 8 дл  работы регул тора в области давлений ниже атмосферного

рассчитываютс  аналитически.

Регул тор давлени  позвол ет осуществл ть устойчивый напуск газа и автоматическое поддержание давлени  Р вакуумной технологической камере, рас

0 шир   область его применени .

Редактор А.Долинич

Техред Л.ОЛийнык

Заказ 756Тираж 469Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

Корректор С. Черни

Claims (1)

1. РЕГУЛЯТОР ДАВЛЕНИЯ ГАЗА, содержащий корпус,между входной и выходной полостями которого установлен регулирующий орган, затвор которого расположен со стороны входной полости и жестко связан со штоком, в выходной полости установлен чувствительный элемент с жестким центром, связанный с узлом задания, причем между днищем выходной полости и чувствительным элементом соосно регулирующему органу установлена цилиндрическая пружина