SU1634994A1 - Устройство дл измерени перемещений - Google Patents
Устройство дл измерени перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1634994A1 SU1634994A1 SU884497773A SU4497773A SU1634994A1 SU 1634994 A1 SU1634994 A1 SU 1634994A1 SU 884497773 A SU884497773 A SU 884497773A SU 4497773 A SU4497773 A SU 4497773A SU 1634994 A1 SU1634994 A1 SU 1634994A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring
- cells
- raster
- focons
- amplifiers
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени больших перемещений, в частности дл измерени перемещени длинно- винтовых прецизионных передач. Цель изобретени - повышение помехозащищенности и дистанционного измерени -достигаетс за счет направленности излучени в измерительных каналах. Свет источника 1 света проходит через перекрытые области растров 3 и 4, фоконы 5, 6 и собираетс нэ фотоприёмниках 7 и 8. Опорный растр 3 содержит чейки с чередующимис треугольниками и квадратными окнами, образующие совместно с чейками измерительного растра 4, фоконами 5, 6 и фотоприемниками 7 и 8 два параллельных измерительных канала, за счет несимметричного расположени чеек опорного растра 3 в измеритепьных каналах формы сигналов с усилителей имеют обратные формы по отношению друг к другу. Соотношение максимумов и минимумов сигналов с усилителей определ ет грубую шкалу отсчета , а количество импульсов в сумматоре - точную шкалу отсчета. 4 ил. сл с Os со 4 О О 4
Description
Фиг.1
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени больших перемещений, в частности дл измерени перемещени длинно- винтовых прецизионных передач.
Цель изобретени - повышение помехозащищенности и обеспечение возможности дистанционного измерени достигаетс за счет направленности излучени в измерительных каналах.
На фиг. 1 представлено устройство дл измерени перемещений без электронного блока, вид сверху; на фиг. 2 - то же, вид сбоку; па фиг. 3 - перекрытие опорного и измерительного растров; на фиг. 4 - электрические сигналы на выходах фотоприемни- коо и на выходе сумматора.
Устройство состоит из последовательно установленных источника 1 света, цилиндрической линзы 2, двух параллельных измерительных каналов, образованных двум р дами чеек опорного растра 3 с чередующимис треугольными и квадратными окнами , дпум чейками с квадратными окнами измерительного растра 4, фоконами 5 и 6 и фотоприемниками 7 и 8, и электронного блока, содержащего усилители 9 и 10, сумматор 11, фильтры 12 и 13, измеритель 14 уровн , счетчики 15 и 16 и регистратор 17. Ячейки растров выполнены в виде набора плоских пластин, установленных параллельно оптической оси.
Устройство работает следующим образом .
Опорный и измерительный растры 3 и 4 устанавливают так, что их окна перекрывают друг друга (фиг. 3), при этом измеритель- ный растр 4 жестко св зан с контролируемым объектом, а опорный растр 3 вместе с источником 1 света и линзой 2 укреплены на неподвижном основании . Измерительный растр 4, перемеща сь вдоль опорного растра 3, перекрывает окна чеек. Спет источника 1 проходит через перекрытые области растров 3 и 4, а также фоконы 5 и б собираетс на фотоприемниках 7 и 8. Величина электрического сигнала
с фотоприемников пропорциональна площади перекрыти чеек растров. Сигнал с фотоприемников 7 и 8 усиливаетс в усилител х 9 и 10. Форма сигналов при движении
растра 4 показана на фиг. 4. Формы сигналов с различных усилителей имеют обратные формы по отношению друг к другу. После сумматора 11 сигнал имеет вид периодических импульсов одинаковой амплитуды (фиг. 4). Сигнал с усилителей 9 и 10 также поступает на вход фильтров 12 и 13, где отфильтровываютс высокие частоты, а в счетчиках 15 и 16 подсчитываютс максимумы и минимумы огибающих. Соотношение
максимумов и минимумов позвол ет построить шкалу с грубым отсчетом, В промежутках между грубыми отсчетами измерение рассто ний производитс по импульсам в сумматоре 11. Эти импульсы напр жени получаютс в результате взаимного перекрыти зазоров и пластин чеек растров. Ширина нулевого и максимального напр жени зависит от толщины пластин и соотношени между толщиной
пластины и рассто нием между пластинами .
Claims (1)
- Формула изобретени Устройство дл измерени перемещений , содержащее последовательно установленные источник света, опорный и измерительный растры, фотоприемник и электронный блок обработки, отличающеес тем, что, с целью повышени помехозащищенности и обеспечени возможности дистанционного измерени , оно снабжено вторым фотоприемником и двум фоконами, опорный растр выполнен в виде двух р дов чеек с чередующимис треугольными и квадратными окнами, измерительный растр выполнен в виде двух чеек с квадратными окнами, установленными так, что р ды чеек опорного растра, чейки измерительного растра, фоконы и фотоприемники образуют попарно два измерительныхканала, а все чейки выполнены в виде набора плоских пластин, установленных параллельно оптической оси,/////////////77f///////////// /Ч Ч X X X XX X Чх Уч ч х s4VSЈ±rfej
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884497773A SU1634994A1 (ru) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | Устройство дл измерени перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884497773A SU1634994A1 (ru) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | Устройство дл измерени перемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1634994A1 true SU1634994A1 (ru) | 1991-03-15 |
Family
ID=21405733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884497773A SU1634994A1 (ru) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | Устройство дл измерени перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1634994A1 (ru) |
-
1988
- 1988-10-25 SU SU884497773A patent/SU1634994A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Преснухин Л. Н. и др. Муаровые растровые датчики положени и их применение. - М.: Машиностроение, 1969, с. 168-169. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4782229A (en) | Photoelectric displacement measuring device for obtaining harmonic free signals | |
JPH0125010B2 (ru) | ||
WO2015078301A1 (zh) | 一种基于交变光场的时栅直线位移传感器 | |
US4961643A (en) | Method of and apparatus for measuring speed | |
CN107402061A (zh) | 谐振式扫描镜幅值测量系统及方法 | |
SU1634994A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
CN108895988A (zh) | 一种基于交变光场整周封闭的角位移测量系统 | |
SU1613957A1 (ru) | Устройство дл измерени скорости и длины прот женного объекта | |
JPS587345Y2 (ja) | 放射線測定装置 | |
JPH0516080B2 (ru) | ||
JPH0216964B2 (ru) | ||
RU2736736C1 (ru) | Датчик аэрометрических давлений | |
SU1384948A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
SU1188535A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени линейных и угловых перемещений | |
SU1651167A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещени | |
SU1144032A1 (ru) | Устройство дл измерени частотно-контрастной характеристики фотоприемников | |
SU382917A1 (ru) | Компаратор для линейного измерения концевых | |
RU2073196C1 (ru) | Измерительный фотоэлектрический микроскоп | |
CN206440239U (zh) | 一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置 | |
SU1418618A1 (ru) | Измеритель скорости | |
SU785644A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл измерени геометрических размеров объектов | |
SU1458701A1 (ru) | Способ измерения диаметра отверстий | |
SU1534309A1 (ru) | Измеритель фазы пространственной гармоники оптического волнового процесса с заданным периодом колебаний в реальном масштабе времени | |
SU956978A1 (ru) | Способ измерени рассто ни до поверхностей и устройство дл его осуществлени | |
RU95115737A (ru) | Способ лазерного измерения вектора скорости |