SU1629354A1

SU1629354A1 - Устройство дл химической обработки цилиндрических стержней

Info

Publication number: SU1629354A1
Application number: SU884456446A
Authority: SU
Inventors: Юрий Павлович Безсалов; Анатолий Пантелеевич Головатенко; Александр Иосифович Голубов; Наум Израилевич Факторович
Original assignee: Предприятие П/Я А-3135
Priority date: 1988-05-17
Filing date: 1988-05-17
Publication date: 1991-02-23

Abstract

Изобретение относитс к химической обработке изделий цилиндрической формы из твердых и хрупких материалов , преимущественно полупроводниковых . Цель изобретени - повышение качества химической обработки путем обеспечени безударного переноса стержн из ванны в ванну и сокращение времени контакта его поверхности с воздухом. Ванны 1 с роторами радиусом R устанавливают с межцентро-. вым рассто нием 2Rcosb( , причем лопасть 3 каждого ротора последунлцей по ходу технологического процесса ванны 1 установлена на валу 2 с угловым смещением 180&deg;-2Л относительно лопасти 3 ротора предыдущей ванны 1 в сторону, противоположную их вращению . При повороте лопастей 3 по часовой стрелке на 360&deg; первый стержень опускаетс на дно первой ванны 1 и остаетс там, подверга сь химической обработке. В это врем на вернувшуюс в исходное положение лопасть 3 устанавливаетс второй стержень . Пв истечении времени химической обработки лопасти 3 снова поворачиваютс на 360. При этом второй стержень опускаетс на дно первой ванны, а первый стержень подхватываетс лопастью 3 и извлекаетс из первой ванны. При достижении кра ванны происходит встреча вращающихс лопастей 3 первой и второй ванн 1, при этом стержень перекатываетс с лопасти 3 ротора первой ванны 1 на лопасти 3 второй ванны 1. и, продолжа движение на лопасти, опускаетс на дно второй ванны и остаетс там. На лопасть 3 ротора первой ванны 1 устанавливаетс третий стержень. Далее цикл повтор етс . 7 ил. (О (Л сэ КЗ CD СО Сл Јь Фиг1

Description

Изобретение относитс к химической обработке изделий цилиндрической формы из твердых и хрупких материалов , преимущественно полупровод- никовых.

i

Цель изобретени - повышение качества химической обработки путем обеспечени безударного переноса стержн из ванны в панну и сокраще- ни времени контакта его поверхности с воздухом..

На фиг. 1 схематически изображено устройство дл химической обработки цилиндрических стержней в исходном положении , на фиг. 2 - то же, вид сверху на фиг. 3 - момент передачи стержн из ванны в ванну; на фиг.4-7 - процесс прохождени одного стержн через устройство (позиции I, II, III, IV).

Устройство состоит из р да ванн 1, расположенных по ходу технологическог процесса, с установленными на них роторами , состо щими из валов 2 с ло- пастью 3 радиусом R. Ванны с роторами установлены с межцентровым рассто нием А 2RcosT( . Лопасть ротора последующей по ходу процесса ванны установлена на валу с угловым смеще- нием 180 - 2 оЈ относительно лопасти ротора предыдущей ванны в сторону, противоположную их вращению, где о(

arctg- - угол наклона лопасти перг

вой ванны к горизонтали в исходном

положении; К - коэффициент трени качени стержн по лопасти| г - минимальный радиус обрабатываемых стержне Валы 2 соединены при помощи шестерен 4 и 5 цепной передачи 6 с обгщм приводом 7 вращени .

Устройство работает следующим образом .

Привод 7 вращени валов 2 рабо- тает периодически,поворачива валы на угол 360°. Подлежащий обработке стержень (заготовка) устанавливаетс на наход щуюс в исходном положении лопасть 3 (фиг.4), и включаетс привод вращени установки.

При повороте лопастей по часовой стрелке на 360° первый стержень опускаетс на дно первой ванны и остаетс там, подверга сь химической обра- ботке. В это врем на вернувшуюс в исходное положение лопасть 3 устанав- „,ливаетс второй стержень (фиг.5). По истечении времени химической обработки лопасти снова поворачиваютс на 360 . При этом второй стержень опу- скааетс на дно первой ванны, а пер- вый ст.ержень подхватываетс лопастью и извлекаетс из первой ванны. При достижении кра ванны происходит встреча вращающихс лопастей первой и второй ванн (фиг.З), при этом стержень перекатываетс с лопасти ротора первой ванны на лопасть ротора второй ванны и, продолжа движение, на лопасти опускаетс на дно второй ванны и остаетс там (фиг.6). На лопасть ротора первой ванны устанавливаетс третий стержень.

При следующем цикле третий стержень опускаетс на дно первой ванны, второй стержень перемещаетс на дно второй ванны, а первый стержр ь подхватываетс лопастью ротора второй ванны и извлекаетс из ванны дл последующей обработки (фиг.7) и т.д.

В момент встречи (фиг.З) лопасти предыдущей и последующих ванн образуют желоб, в котором располагаетс обрабатываемый стержень. При этом лопасти , образующие желоб, должны составл ть с горизонталью угол Ос , который бы обеспечил скатывание обрабатываемых стержней с лопасти под действием собственного веса. Продолжа вращение, лопасть ротора предыдущей ванны, поднимаетс вверх и сталкивает обрабатываемый стержень на опускающуюс вниз лопасть ротора последующей ванны. При этом стержень быстро и плавно, без ударов перемещаетс из ванны в ванну,т.е.достигаетс положительный эффект.

Предлагаемое устройство позвол ет повысить качество химической обработки изделий путем безударного переноса стержней из ванны в ванну и сокращени времени контакта его поверхности с воздухдом.

Claims

Формула изобретени .

Устройство дл химической обработки цилиндрических стержней, содержащее р д ванн с цилиндрической поверхностью дна, установленных по ,ходу технологического процесса, с соосно установленными на них роторами, отличающеес тем, что, с целью повышени качества химической обработки путем обеспечени безударного переноса стержн из ванны в ванну и сокращени времени контакта его поверхности с воздухом, роторы выполнены в виде валов с лопастью радиусом R, равным радиусу цилиндрической поверхности дна, и установлены с межосевым рассто нием 2Rcoso(, при этом лопасть ротора последующей по ходу процесса

9354

ванны установлена на валу с угловым смещением Р.оС относительно лопасти ротора предыдущей ванны, где 0(- угол наклона лопасти ротора пер вой ванны к горизонтали в исходном -положении.

Направление вращени лопаток

Фю.2

Фиг.5

Занна

Редактор Н. Яцола

Составитель Ю.Болобан Техред Л.Олийнык

Заказ 412

Тираж 552

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Стержень (заготобка)

Ванна пербо

Фие.7

Корректор А.Осауленко

Подписное