SU1622230A1

SU1622230A1 - Holder for interoperatio storage of laminated articles

Info

Publication number: SU1622230A1
Application number: SU884456201A
Authority: SU
Inventors: Иван Васильевич Кириченко
Original assignee: Воронежский Политехнический Институт
Priority date: 1988-07-06
Filing date: 1988-07-06
Publication date: 1991-01-23

Abstract

Изобретение касаетс транспортировки пластинчатых изделии электронной техники и может быть использовано, в частности, в транспортировке особо чистых пластин. Целью изобретени вл етс повышение качества упаковки за счет предотвращени загр знени поверхности изделий. Кассета содержит крышку 6, ,оопус 1 с коническим бП дном, заполненным инертной жидкостью 3, и снабжена мембраной 4 и по меньшей мере одной дополнительной со сквозным отверстием в центральной части 9, установленной выпуклой мембраной в корпус 1, кассеты, а мембрана выполнена выпуклой с коническим дном и установлена выпуклой стороной в крышку 6. Кассета может быть снабжена дополнительно переходным модулем 12, имеющим две чашеобразные поверхности 13, 14, и две воронкообразные мембраны 15, 18. Крышка 6 может быть выполнена с чашеобразной поверхностью, обращенной к выпуклой мембране, в которой может быть выполнено сквозное отверстие центральной части. Мембрана можег быть жестко закреплена в крышке 6 с образованием герметичной полости дл инертной жидкости. 4 з.п. ф-лы, 5 ил. С сThe invention relates to the transport of plate electronic products and can be used, in particular, in the transport of very clean plates. The aim of the invention is to improve the quality of packaging by preventing contamination of the surface of products. The cassette contains a cover 6,, oopus 1 with a conical BP bottom filled with an inert liquid 3, and provided with a membrane 4 and at least one additional hole with a through hole in the central part 9 installed by a convex membrane in the housing 1, the cassette, and the membrane is convex a conical bottom and is installed with a convex side in the lid 6. The cassette can be equipped additionally with a transition module 12 having two cup-shaped surfaces 13, 14 and two funnel-shaped membranes 15, 18. The lid 6 can be made with a cup-shaped surface Tew facing the convex diaphragm, wherein the through hole of the central portion can be performed. The membrane can be rigidly fixed in the lid 6 to form an airtight cavity for the inert liquid. 4 hp f-ly, 5 ill. C s

Description

Изобретение относитс к транспортировке пластинчатых изделий электронной техники, в частности к транспортировке особо чистых пластин, интегральных микросхем и трэспортировки их в кассетах.The invention relates to the transport of electronic plate products, in particular to the transport of extremely clean plates, integrated circuits and their transport in cassettes.

Цель изобретени - повышение качества упаковки за счет предотвращени загр знени поверхности пластинчатых изделий. На фиг.1 показана кассета дл межоперационного хранени и транспортировки пластинчатых изделий, общий вид, поперечный разрез; на фиг.2 -многоместна кассета, общий вид, поперечный разрез; на фиг.З - варианты закреплени пластинчатых изделий; на фиг.4 - вариант креплени пластины с профильной кромкой; на фиг.5 - вариант кассеты с вогнутыми мембранами.The purpose of the invention is to improve the quality of packaging by preventing contamination of the surface of plate products. Figure 1 shows a cassette for interoperable storage and transport of plate products, general view, cross section; Fig.2 is a multi-cassette, general view, cross section; Fig. 3 shows the options for fixing plate products; 4 shows a variant of mounting a plate with a profile edge; figure 5 is a variant of the cassette with concave membranes.

Кассета содержит корпус 1 с коническим дном 2, заполненным инертной жидкостью 3, выпуклую мембрану 4, в которой может быть выполнено отверстие 5, соединенную с корпусом 1 широкой частью крышку 6 с чашеобразной поверхностью 7 и герметично соединенную с крышкой дополнительную мембрану 8 с отверстием 9 в центральной части. Герметическа полость может быть образована внешней поверхностью мембраны и поверхностью крышки, в полости находитс инертна жидкость 10, Пластина 11 укладываетс на нижнюю мембрану и закрываетс крышкой 6 с помощью сопр женных цилиндрических поверхностей . Выпукла мембрана А выполнена с коническим дном и установлена выпуклой стороной в крышку 6, а дополнительна мембрана 3 -пновлена выпуклой стороной в корпус кассеты. Мембраны 4 и 8изготавливают из инертных поотношению к пластине 11 материалов, например фто ропласта, полипропилена, винилпласта и др. В качестве инертной жидкости могут быть использованы как простые жидкие вещества , таг. и рмстворы, обладающие хорошей смачиваемостью и адгезией с пылевиднь ми частицами и одновременно инертными по пгношению к пластине. К таким жидкост м могут быть отнесены, например , вода и водные растворы спиртов. Кассета можег быть оснащена переходным модулем 12, остановленным между корпусом 1 и крышкой 6 с помощью соответствующих посадочных мест. Переходный модуль может иметь две нижнюю 13 и верхнюю 14 чашеобразные поверхности и оснащен двум воронкообразными мембранами. В нижней части модул закреплена воронкообразна мембрана 15, образующа с чашеобразной поверхностью 13 кольцевую герметичную полость 16, в которую введена инертна жидкость 17, ВThe cassette includes a housing 1 with a conical bottom 2 filled with an inert liquid 3, a convex membrane 4 in which an opening 5 can be made, which is connected to the housing 1 by a wide part of a cover 6 with a cup-shaped surface 7 and hermetically connected to the cover 8 central part. The hermetic cavity can be formed by the outer surface of the membrane and the surface of the lid, in the cavity there is inert liquid 10, the Plate 11 is laid on the lower membrane and closed by the lid 6 with the help of conjugated cylindrical surfaces. The convex membrane A is made with a conical bottom and is installed with the convex side in the cover 6, and the additional membrane 3 is replaced with the convex side in the cassette case. The membranes 4 and 8 are made of materials that are inert to the plate 11, for example, fluoroplast, polypropylene, vinyl layer, etc. As an inert liquid, they can be used as simple liquid substances, a tag. and solutions with good wettability and adhesion with dust particles and at the same time inert to contact with the plate. Such liquids can include, for example, water and aqueous solutions of alcohols. The cassette can be equipped with a transition module 12, stopped between the housing 1 and the cover 6 with the help of appropriate seats. The transition module can have two lower 13 and upper 14 cup-shaped surfaces and is equipped with two funnel-shaped membranes. In the lower part of the module, a funnel-shaped membrane 15 is fixed, forming with the cup-shaped surface 13 an annular hermetic cavity 16 into which an inert liquid 17 is introduced, B

верхней части переходного модул закреплена мембрана 18, образующа с поверхностью 14 кольцевую герметичную полость 19, в которую введена инертна жидкостьThe upper part of the transition module is fixed to the membrane 18, which forms with the surface 14 an annular hermetic cavity 19 into which an inert liquid is introduced

20. Крышка 6 может быть выполнена с чашеобразной поверхностью 21.20. The lid 6 may be provided with a cup-shaped surface 21.

При необходимости размещени большего количества особочистых пластин на переходной модуль 12 устанавливаетс другIf it is necessary to place more high-purity plates on the transition module 12, it is established each

0 на друга такое количество аналогичных модулей , которое позвол ет загрузить в кассету всю партию пластин. Пластина, расположенна в верхнем модуле, закрываетс крышкой 6 с мембраной 8. Выгрузка0 on the other is such a number of similar modules that allows the entire batch of plates to be loaded into the cassette. The plate, located in the upper module, is closed by a cover 6 with a membrane 8. Discharge

5 пластин из многоместной кассеты осуществл етс сн тием крышки и переходных модулей, которые могут быть пронумерованы дл автоматической загрузки и выгрузки, например, с помощью робота.5 plates from the multi-cassette are removed by removing the cover and transition modules, which can be numbered for automatic loading and unloading, for example, using a robot.

0 Пластины могут быть закреплены как с пр моугольной , так и с профильной кромками. Загр знени тем больше, чем больше разница в твердости материалов диафрагм и пластины и чем больше удельные давлени 0 Plates can be fixed with both rectangular and profiled edges. The greater the difference in hardness of the materials of the diaphragms and the plate, the greater the specific pressures are.

5 в местах контакта. Уменьшение удельного давлени на пластину достигаетс увеличением контактной площади поверхностей. Концентраци инертной жидкости в центральной части корпуса 1 и ламинарное дви0 жение жидкости по чашеобразной поверхности обеспечиваютс при наклонах кассеты по врем транспортировки пластины 11. Конструкци мембраны 4 и дополнительной мембраны 8 выбираетс исход их5 in places of contact. The reduction of the specific pressure on the plate is achieved by increasing the contact area of the surfaces. The concentration of the inert liquid in the central part of the housing 1 and the laminar movement of the liquid over the cup-shaped surface are provided when the cassette is tilted during transport of the plate 11. The design of the membrane 4 and the additional membrane 8 is selected as the outcome

5 условий транспортировки, требований по скорости и степени очистки атмосферы внутри кассеты, требовани герметичности в местах соединени ее с корпусом 1 и крышкой 6, а также исход из формы пласти0 ны 11. котора может быть круглой, например кремниева подложка, квадратной или пр моугольной, например стекл нный фотошаблон и др. Чем хуже услови транспортировки , чем больше угол наклона кассет при5 transportation conditions, requirements for speed and degree of purification of the atmosphere inside the cassette, requirements for tightness at the points of its connection with the housing 1 and the lid 6, and also based on the shape of the plastic 11, which may be round, for example, a silicon substrate, square or rectangular, for example, glass photomask, etc. The worse the transportation conditions, the greater the angle of the cassettes when

5 транспортировке, тем меньше должен быть угол раскрыти воронкообразных мембран.5, the smaller the opening angle of the funnel membranes should be.

Требовани по скорости и степени очистки внутренней атмосферы определ ют размеры сквозных отверстий 5 и 9 в мемб0 ранах 4 и 8. Чем больше размеры отверстий, тем быстрее очищаетс атмосфера кассеты от пылевидных частиц, наход щихс в объеме кассеты. Однако увеличение отверсти в мембране одновременно увеличивает ве5 ро тность попадани частиц, капель инертной жидкости на поверхность особочистрй пластины, что не всегда допустимо. Требование обеспечени герметичности в местах соединени мембран 4 и 8 с корпусом 1 и крышкой 6 выполн етс чисто, напримерThe requirements for the speed and degree of purification of the internal atmosphere determine the dimensions of the through holes 5 and 9 in the membranes 4 and 8. The larger the sizes of the holes, the faster the atmosphere of the cartridge from dust particles in the volume of the cartridge is cleared. However, an increase in the hole in the membrane at the same time increases the probability of particles, inert liquid droplets on the surface of an extremely clean plate, which is not always permissible. The requirement to ensure tightness at the junctions of the membranes 4 and 8 with the housing 1 and the lid 6 is clean, for example

плотной или прессовой посадкой, резьбовым или байонетным соединением и др.tight or press fit, threaded or bayonet connection, etc.

Из всего многообрази форм воронкообразных мембран, удовлетвор ющих перечисленным услови м, наиболее эффективны усеченный конус и полусфера. Дл квадратных пластин возможна мембрана в виде усеченной пирамиды. Однако наличие углов , даже закругленных ухудшает аэродинамические свойства герметичных полостей и снижает эффективность очистки атмосферы .Of the various forms of funnel-shaped membranes that satisfy the listed conditions, the truncated cone and hemisphere are most effective. For square plates, a truncated pyramid membrane is possible. However, the presence of corners, even rounded, impairs the aerodynamic properties of hermetic cavities and reduces the cleaning efficiency of the atmosphere.

Мембраны А и 8 могут быть выполнены в виде усеченных конусов. Мембраны могут быть жестко установлены в корпусе, однако така конструкци значительно затрудн ет отмывку кассеты, смену жидкости и снижает производительность труда. Поэтому наиболее эффективной вл етс свободна посадка мембран в свои посадочные гнезда. В качестве индиферентной жидкости могут быть использованы жидкие простые и сложные вещества и их растворы, имеющие хорошие смачивающие свойства по отношению к пылевидным частицам, сравнительно невысокую упругость паров, высокую степень чистоты, равную или превышающую степень чистоты материала хранимой пластины.Membranes A and 8 can be made in the form of truncated cones. The membranes can be rigidly mounted in the housing, however, this design makes it very difficult to wash the cassette, change the liquid and reduce labor productivity. Therefore, the most effective is the free fit of the membranes in their landing nests. As an indifferent liquid, simple and complex liquid substances and their solutions with good wetting properties with respect to dust particles, relatively low vapor pressure, high purity equal to or greater than the purity of the material of the stored plate can be used.

Перед началом эксплуатации кассета разбираетс на детали и тща гельно отмываетс от загр знений пленочных и пылевидных , вклюиа очистку поверхностей от примесей на молекул рном и атомарном уровне путем кип чени деталей последовательно в перекисно-аммиачном и перекис- но-кислотном растворах. После отмывки и сушки на коническое дно корпуса вводитьс пипеткой дозированное количество индифферентной жидкости. Дозировка определ етс предварительно по перекрытию кра жидкости окна отверсти 5 в мембране 4. При этом жидкость не должна касатьс мембраны как в спокойном положении, так и при небольших наклонах, возможных во врем межоперационной внутрицеховой транспортировки.Before operating, the cassette is disassembled into parts and is thoroughly washed off of film and dust contaminants, including cleaning surfaces from impurities at the molecular and atomic level by boiling the parts sequentially in peroxide-ammonia and peroxide-acid solutions. After washing and drying, a metered amount of an indifferent liquid is pipetted into the conical bottom of the housing. The dosage is determined preliminarily by overlapping the liquid edge of the window of the opening 5 in the membrane 4. At the same time, the liquid should not touch the membrane both in a calm position and at slight inclinations possible during inter-operational intrashop transportation.

После введени жидкости 3 в корпус 1 пинцетом устанавливаетс мембрана 4 выпуклой стороной к жидкости 3. На мембрану укладываетс пластина 11, например кремниева , рабочей поверхностью вниз, а на пластину - мембрана 8. Если пластина одна, то кассету закрывают крышкой б и став т в пылезащитный шкаф до начала следующей технологической операции. При наличии партии пластин на корпус 1 устанавливают модуль 12 и повтор ют загрузку его точно в такой же последовательности, как дл первой пластины Операции повтор ют до загрузки последней пластины и закрывают кассету крышкой. Далее кассета с партией пластин транспортируетс дл межоперационного хранени или пр мо на следую5 щую операцию.After inserting the liquid 3 into the housing 1 with a pair of tweezers, the membrane 4 is installed with a convex side to the liquid 3. A membrane 11, for example silicon, is laid down with a working surface downwards, and a membrane 8 is laid onto the plate. Dust box before the next manufacturing operation. If there is a batch of plates on the housing 1, the module 12 is installed and the loading is repeated in exactly the same sequence as for the first plate. The operations are repeated until the last plate is loaded and the cassette is closed with a lid. Next, a cassette with a batch of plates is transported for interoperational storage or directly for the next operation.

Эффективность кассеты заключаетс в том, что рабоча поверхность особочистой пластины замыкаетс объемом атмосферы кассеты, ограниченным вогнутой поверхно10 стью мембраны, со всеми попавшими в него пылеоидными частицами. Наличие окна в мембране, выход щего на зеркало жидкости , призодит к тому, что пылевидные частицы после миграции в замкнутом обьемеThe effectiveness of the cassette lies in the fact that the working surface of the high purity plate is closed by the volume of the cassette's atmosphere, limited by the concave surface of the membrane, with all dust particles in it. The presence of a window in the membrane that goes to the mirror of the liquid, leads to the fact that dust particles after migration in a closed volume

5 улавливаютс зеркалом жидкости и посто нно удерживаютс ею. Замкнутый обьем при этом очищаетс . Даже имевшиес на поверхности пластины пылевидные частицы после хранени улавливаютс жидко0 стью - наблюдаетс дополнительна очистка рабочей поверхности пластины. Кассета может быть использована до тех пор, пока поверхность жидкости и весь ее обьем достигнут состо ни насыщени . Та5 ким образом, отмывку кассеты можно производить после хранени большого количества пластин,5 are trapped by the mirror of the fluid and held permanently by it. The closed volume is then cleaned. Even on the surface of the plate, dust particles are stored by the liquid after storage - additional cleaning of the working surface of the plate is observed. The cassette can be used as long as the surface of the liquid and its entire volume reaches a saturation state. In this way, the cassette can be washed after storing a large number of plates,

Claims

Invention Formula

0 1. A cassette for interoperative storage of plate products, comprising a housing with a conical bottom, a lid and a membrane, characterized in that, in order to improve the quality of the package by preventing contamination of the surface of the products, the membrane is made convex with a conical bottom and is installed with a convex side in the cover, while the cassette is provided with at least one additional convex membrane with a hole in the central part, installed with the convex side in the cassette case, the bottom of the case being tapered and filled with inert liquid.

five

2. A cassette according to claim 1, characterized in that it is additionally equipped with a transition module having two cup-shaped surfaces and equipped with two funnel-shaped membranes.

0 3. A cassette according to claim 1, wherein the lid is made with a cup-shaped surface facing the convex surface of the membrane.

4. The cassette according to claim 1, characterized in 5 in that the through-made is made in the membrane

hole in the central part.

5. A cassette according to claim 1, characterized in that the membrane is rigidly fixed in the lid with the formation of a sealed cavity for an inert liquid.

Yu

eight

Fig.Z

77,

FIG. 4 /////// 1 ///// 77/7,

77