SU1618999A1

SU1618999A1 - Устройство контрол отклонени линейных размеров

Info

Publication number: SU1618999A1
Application number: SU894643023A
Authority: SU
Inventors: Валерий Алексеевич Окунев; Олег Петрович Никандров
Original assignee: Предприятие П/Я В-2969
Priority date: 1989-01-30
Filing date: 1989-01-30
Publication date: 1991-01-07

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и имеет целью повышение точности и чувствительности устройства дл контрол отклонени линейных размеров различных объектов, например толщины листового материала. Устройство содержит тестовую структуру в виде конденсатора с двум компланарными электродами 1 и 2 гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической подложке 3. Концевые участки зубцов обоих электродов отогнуты в плоскости, перпендикул рной поверхности подложки, и изогнуты в соответствии с функциональной зависимостью, св зывающей координату Y с отношением ширины b зубца к рассто нию с между ними. Благодар этому усиливаетс напр женность электростатического пол в области краевых участков зубцов обоих электродов, что обуславливает более значительное изменение емкости тестовой структуры в функции отклонени контролируемого параметра объекта. 2 ил.

Description

о

сл

с

I

I I

II

It

j

с

00

о ю ю

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в качестве тестовой структуры дл контрол отклонений линейных размеров различных элементов, например толщины контролиру- емого материала.

Целью изобретени вл етс повышение точности и чувствительности устройства дл контрол отклонени линейных размеров при использовании тестовой структуры емкостного типа.

На фиг. 1 показано схематично конструктивное выполнение устройства дл контрол отклонени линейных размеров; на фиг. 2 - то же, вид сбоку.

Устройство содержит тестовую структуру в виде конденсатора с двум компланарными электродами и 2 гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической подложке 3. Ширина b зубцов электродов тестовой структуры не менее чем в 10 раз меньше рассто ни с между ними, а концевые участки зубцов отогнуты в плоскости, перпендикул рной поверхности подложки 3, и изогнуты по координате Y в соответствии с функциональной зависимостью

(|)2

гдеА 1, 2.3, ...;

b/с - отношение ширины зубца к рассто нию между ними.

Устройство работает следующим образом .

X

±Л

0

5

0 5

0

5

Контролируемый материал (не показан) размещают возле поверхности тестовой структуры, что вызывает изменение электростатического пол , а следовательно, и емкости тестовой структуры в зависимости, например, от толщины этого материала. Благодар тому, что кольцевые участки гребенчатых электродов 1 и 2 отогнуты в перпендикул рной к поверхности подложки3 плоскости и изогнуты в соответствии с заданным математическим выражением в функции параметров гребенчатых электродов емкостной структуры, достигаетс увеличение напр женности электростатического пол в ее краевых зонах, что обуславливает повышение чувствительности и точности измерени отклонени размеров от номинала.

Claims

Формула изобретени Устройство контрол отклонени линейных размеров, содержащее тестовую структуру в виде конденсатора с двум компланарными электродами гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической подложке, отличающеес тем, что, с целью повышени точности и чувствительности , концевые участки зубцов обоих электродов отогнуты в плоскости, перпендикул рной поверхности подложки, и изогнуты в соответствии с функциональной зависимостью координаты Y А b/с2, где А 1, 2, 3, ..., а b/с - отношение ширины b зубца к рассто нию с между ними.

3