SU1618538A1 - Arrangement for electromechanical polishing and bringing parts to specified size - Google Patents
Arrangement for electromechanical polishing and bringing parts to specified size Download PDFInfo
- Publication number
- SU1618538A1 SU1618538A1 SU884480092A SU4480092A SU1618538A1 SU 1618538 A1 SU1618538 A1 SU 1618538A1 SU 884480092 A SU884480092 A SU 884480092A SU 4480092 A SU4480092 A SU 4480092A SU 1618538 A1 SU1618538 A1 SU 1618538A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- parts
- gasket
- washer
- interelectrode
- Prior art date
Links
Abstract
Изобретение относитс к электрохимической обработке деталей. Цель изобрете- ни - расширение функциональных возможностей устройства путем взаимозамен емости анодно и катодно обрабатываемых деталей. Детали 14 размещают в гнездах диска-трафарета 13 (анод) и укрепл ют их с помощью кле щего состава. Дисктрафарет 7 (катод) устанавливают на фланец 1 шпиндел 2. На шайбу 6 кладут межэлектродную прокладку 8, обеспечива соприкосновение внутренней поверхности оправы 9 с роликом 10. С помощью патрубка 19 смачивают межэлектродную прокладку раствором электролита. Став т диск-трафарет 13 с детал ми обрабатываемой поверхностью на межэлектродную прокладку и прижимают ее с помощью центра 17, который смещен относительно оси катода. Включают подачу электролита и источник тока 5. Одновременно с анодным формообразованием, при котором ионы переход т в раствор, происходит восстановление перешедших ионов, равномерно осаждающихс на катоде за счет перемещени прокладки в межэлектродном промежутке. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. ел о 00 ел GO 00This invention relates to the electrochemical machining of parts. The purpose of the invention is to expand the functionality of the device by interchangeable anodic and cathodically machined parts. Parts 14 are placed in the slots of the stencil disc 13 (anode) and strengthened with an adhesive composition. Diskgraph 7 (cathode) is installed on the flange 1 of the spindle 2. On the washer 6 put the interelectrode gasket 8, ensuring the contact of the inner surface of the frame 9 with the roller 10. With the help of pipe 19 moistened the interelectrode gasket with electrolyte solution. Place the stencil disc 13 with the parts of the treated surface on the electrode pad and press it with the help of the center 17, which is offset from the axis of the cathode. The electrolyte supply and current source are switched on. Simultaneously with the anodic shaping, in which the ions pass into solution, the transferred ions are restored, which are uniformly deposited on the cathode by moving the strip in the interelectrode gap. 1 hp f-ly, 1 ill. ate about 00 ate GO 00
Description
Изобретение относитс к электрохимической обработке, а именно к конструкци м станков.This invention relates to electrochemical machining, in particular to machine tool structures.
Цель изобретени - расширение функциональных возможностей устройства путем взаимозамен емости анодно и катодно обрабатываемых деталей.The purpose of the invention is to expand the functionality of the device by interchangeable anodic and cathodically machined parts.
На чертеже представлена схема устройства .The drawing shows a diagram of the device.
На фланце 1 катодного шпиндел 2, подключенного через контактное кольцо 3 и щетки 4 к отрицательному полюсу регулируемого источника 5 тока, укреплена шайба 6 из изол ционного материала, на которой со- осно со шпинделем установлен катод, выполненный в виде диска-трафарета 7. На кольцевом бурте шайбы размещена пориста межэлектродна прокладка 8, закрепленна в оправе 9. Оправа установлена асимметрично относительно шпиндел и соприкасаетс с роликом 10, наход щимс на неподвижной оси 11, закрепленной на станине .12. Положительный полюс источника тока соединен с анодно обрабатываемой деталью - полируемыми диском-трафаретом 13 и детал ми 1 посредством щеток 15, контактного кольца 16 и центра 17. Центр присоединен к валу электродвигател 18. Над межэлектродной прокладкой расположен патрубок 19.On the flange 1 of the cathode spindle 2, connected via the slip ring 3 and the brush 4 to the negative pole of the adjustable current source 5, a washer 6 of insulating material is mounted, on which a cathode is mounted in the form of a stencil disc 7. an annular collar of the washer is placed a porous interelectrode gasket 8 fixed in the frame 9. The frame is mounted asymmetrically with respect to the spindle and comes into contact with the roller 10 on the fixed axis 11 fixed on the frame .12. The positive pole of the current source is connected to the anodically processed part - polished stencil disc 13 and parts 1 by means of brushes 15, slip ring 16 and center 17. The center is connected to the motor shaft 18. A nozzle 19 is located above the electrode gap.
Устройство работает следующим образом ..The device works as follows.
Детали 14 размещают в гнездах диска- трафарета 13 и укрепл ют их с помощью кле щего состава. Диск -трафарет 7 устанавливают на фланец 1 шпиндел 2 обрабатываемой поверхностью кверху. На шайбу 6 кладут межэлектродную прокладку 8, обеспечива соприкосновение внутренней поверхности оправы 9 с роликом 10. Кратковременным включением насоса с помощью патрубка 19 смачивают межэлектродную прокладку раствором электролита. Став т диск-трафарет 13 с укреплен ными на нем детал ми 14 обрабатываемой поверхностью на ,межэлектродную прокладку и прижимают его с помощью центра 17. При этом прижимной центр 17 смещен относительно оси катода. Включают подачу электролита на межэлектродную прокладку. С помощью магнитного пускател одновременно включают электродвигатель и привод вращени шпиндел 2. Затем включают источник 5 тока. Одновременно с анодным формообразованием, при котором в раствор переход т ионы анода, производитс катодное формообразование, при котором наход щиес в растворе ионы анода равномерно осаждаютс на поверхность катода, образу слой, достаточный дл последующего его сполировывани на анодном режиме этого устройства. Катодный диск-трафарет и полируемый диск-трафаретParts 14 are placed in the nests of the stencil 13 and strengthened with an adhesive composition. Disk-stencil 7 is installed on the flange 1 of the spindle 2 with the treated surface upwards. On the washer 6 put the interelectrode gasket 8, providing contact between the inner surface of the frame 9 with the roller 10. Briefly turning on the pump using the pipe 19 moisten the electrode electrode gasket with electrolyte solution. Place the stencil disc 13 with the parts 14 on the surface to be treated on to the inter-electrode gasket and press it with the help of center 17. At the same time, the pressing center 17 is offset relative to the cathode axis. Include the flow of electrolyte on the interelectrode gasket. Using a magnetic starter, the motor and the rotation drive of the spindle 2 are simultaneously turned on. Then the current source 5 is turned on. Simultaneously with anodic shaping, in which anode ions are transferred to the solution, cathodic shaping is performed, in which the anode ions in solution are deposited evenly on the cathode surface, forming a layer sufficient for subsequent polishing on the anode mode of this device. Cathodic disc stencil and polished disc stencil
выполн ют из одного и того же металла, в частности из меди, а непрерывное линейное перемещение прокладки в межэлектродном промежутке устран ет вли ние ее структуры на равномерность осаждаемого на катоде сло .They are made of the same metal, in particular copper, and the continuous linear displacement of the strip in the interelectrode gap eliminates the influence of its structure on the uniformity of the layer deposited on the cathode.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884480092A SU1618538A1 (en) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | Arrangement for electromechanical polishing and bringing parts to specified size |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884480092A SU1618538A1 (en) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | Arrangement for electromechanical polishing and bringing parts to specified size |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1618538A1 true SU1618538A1 (en) | 1991-01-07 |
Family
ID=21398155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884480092A SU1618538A1 (en) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | Arrangement for electromechanical polishing and bringing parts to specified size |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1618538A1 (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002075804A2 (en) * | 2001-03-14 | 2002-09-26 | Applied Materials, Inc. | Planarization of substrates using electrochemical mechanical polishing |
US7066800B2 (en) | 2000-02-17 | 2006-06-27 | Applied Materials Inc. | Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing |
US7670468B2 (en) | 2000-02-17 | 2010-03-02 | Applied Materials, Inc. | Contact assembly and method for electrochemical mechanical processing |
US7678245B2 (en) | 2000-02-17 | 2010-03-16 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for electrochemical mechanical processing |
CN102744674A (en) * | 2012-07-26 | 2012-10-24 | 上海宏力半导体制造有限公司 | Chemical-mechanical polishing device |
-
1988
- 1988-09-13 SU SU884480092A patent/SU1618538A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 659343, кл. В 23 Н 5/06, 1976. * |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7066800B2 (en) | 2000-02-17 | 2006-06-27 | Applied Materials Inc. | Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing |
US7670468B2 (en) | 2000-02-17 | 2010-03-02 | Applied Materials, Inc. | Contact assembly and method for electrochemical mechanical processing |
US7678245B2 (en) | 2000-02-17 | 2010-03-16 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for electrochemical mechanical processing |
WO2002075804A2 (en) * | 2001-03-14 | 2002-09-26 | Applied Materials, Inc. | Planarization of substrates using electrochemical mechanical polishing |
WO2002075804A3 (en) * | 2001-03-14 | 2003-06-26 | Applied Materials Inc | Planarization of substrates using electrochemical mechanical polishing |
US6811680B2 (en) | 2001-03-14 | 2004-11-02 | Applied Materials Inc. | Planarization of substrates using electrochemical mechanical polishing |
CN102744674A (en) * | 2012-07-26 | 2012-10-24 | 上海宏力半导体制造有限公司 | Chemical-mechanical polishing device |
CN102744674B (en) * | 2012-07-26 | 2016-10-26 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | Chemical-mechanical grinding device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2002254248A5 (en) | ||
JP2002528649A5 (en) | ||
SU1618538A1 (en) | Arrangement for electromechanical polishing and bringing parts to specified size | |
CN101977770A (en) | Method and device for processing gravure printing cylinders | |
US3616289A (en) | Electroplate honing method | |
CN104630858B (en) | A kind of uniform chromium plating electroplanting device of rotation type axial and circumferential | |
JPH01159175A (en) | Manufacture of extremely thin grinding wheel having hub | |
RU2009805C1 (en) | Device for electrochemical-mechanical polishing and finishing parts | |
US2946731A (en) | Method and apparatus for electrolytic shaping | |
US3637469A (en) | Electroplate honing method | |
JPH05277938A (en) | Mounting type discharge truing and its device | |
JPH06315828A (en) | Beveling method for cut-resistant material | |
JP2599997B2 (en) | Grinding method and grinding wheel | |
JP2950064B2 (en) | Electrolytic dressing type grinding machine | |
SU952501A1 (en) | Apparatus for electrochemical metal deposition and removal processes | |
JPH06720A (en) | Electrolytic composite polishing method for outer surface of cylinder work | |
JPS5822626A (en) | Method of compound super finishing of electrolysis and grinding | |
JPS62124869A (en) | Method for truing and dressing of metal bonded grinding stone | |
SU434141A1 (en) | SUSPENSION FOR GALVANICAL TREATMENT OF HOLLOW PARTS | |
JPS5822627A (en) | Method of compound machining of electrolysis and grinding of cylindrical inner surface | |
JPH01121172A (en) | Grinding attachment equipped with electric discharge forming area for blade edge | |
US3589996A (en) | Optical surface generating apparatus | |
JPS6034227A (en) | Electrolytic abrasive grain polishing method of cylindrical inner face | |
JPH02139125A (en) | Descaling method for steel pipe | |
US5269889A (en) | Electrolytic cleaning and refurbishing of grinding wheels |