SU160829A1

SU160829A1 -

Info

Publication number: SU160829A1
Application number: SU785811A
Authority: SU

Description

В насто щее врем при выращивании нитевидных монокристаллов металлов и полунроводников из паровой фазы путем термического разложени их галоидов в качестве компонента-растворител используют в основном йод.

Согласно предлагаемому способу, который отличаетс тем, что выращивание монокристаллов германи производ т при температуре исходного вещества 850-900°С и температуре зоны кристаллизации , а выращивание монокристаллов кремни - при температуре исходного вещества 1150°С и температуре во кы кристаллизации 850-900С°, - в качестве компонента-растворител используют бром, давление паров которого при температуре процесса составл ет 3-4 атм.

В результате в качестве основного продукта получают нитевидные монокристаллы германи и кремни диаметром 1-20 мк с высокой стененью совершенства структуры.

Осуществление способа. Навески исходного германи или кремни и брома помещают в ббльщую часть кварцевой ампулы с перет жкой . Затем ампулу опускают в жидкий азот, откачивают до давлени мм рт. ст. и отпаивают. Запа пную ампулу помещают в двухзопную печь так, что часть ампулы с навесками выдерживаетс при температуре дл кремни и 850-900°С дл германи . Давление паров компонента-растворител при этих температурах составл ет 3-4 атм. Другой конец ампулы поддерживаетс при

температуре 850-ЭОО С дл кремни п 600°С дл германи .

В результате создаваемого- перепада температур .между част ми ампулы в холодном конце ее из паровой фазы выпадает сначала слой поликристаллического осадка, состо щего из многих мелких монокристаллов, а затем на этом слое, как на подложке, вырастают как отдельные монокристаллы, так и сростки и кисти нитевидных монокристаллов. Вследствие концентрации примесей в поликристаллическом слое выращенные нитевидные монокристаллы более чисты, чем исходное вещество . Они имеют чистую, ровную поверхность и значительную механическую прочность.

Предмет изобретени

Способ выращивани нитевидных монокристаллов германи и кремни из паровой фазы с использованием галоида в качестве компонента-растворител , отличающийс тем, что, с целью получени нитевидных монокристаллов германи и кремни диаметром 1 - 20 мк, выращивание монокристаллов германи производ т при температуре исходного вещества 850-900 С и температуре зоны кристаллизации 600°, а выращивание монокристаллов кремни - при температуре исходного вещества и температуре зоны кристаллизации 850-900°С, причем в качестве компонента-растворител используют бром, давление паров которого при температуре процесса составл ет 3-4 атм.