SU1571306A1 - Turbomolecular vacuum pump - Google Patents

Turbomolecular vacuum pump Download PDF

Info

Publication number
SU1571306A1
SU1571306A1 SU884413854A SU4413854A SU1571306A1 SU 1571306 A1 SU1571306 A1 SU 1571306A1 SU 884413854 A SU884413854 A SU 884413854A SU 4413854 A SU4413854 A SU 4413854A SU 1571306 A1 SU1571306 A1 SU 1571306A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
parallel
pump
atmosphere
vacuum pump
ball
Prior art date
Application number
SU884413854A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Валентин Герасимович Шугаев
Борис Дмитриевич Жлукто
Александр Иванович Кузнецов
Валерий Тимофеевич Выскуб
Валерий Ефимович Балимов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1614
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1614 filed Critical Предприятие П/Я А-1614
Priority to SU884413854A priority Critical patent/SU1571306A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1571306A1 publication Critical patent/SU1571306A1/en

Links

Landscapes

  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной технике и позвол ет повысить надежность насоса при аварийном прорыве атмосферы. Рабочие лопатки (Л) 3 закреплены на центральном диске (Д) 6 полого ротора (Р) 2 параллельно оси насоса, образу  две параллельные ступени откачки. Р 2 опираетс  на гибкий стержень (С) 4, нижний конец которого расположен в отверстии шарика, закрепленного в эластичной манжете, установленной на подп тнике. При прорыве атмосферы как со стороны всасывани  насоса, так и со стороны нагнетани  наличие параллельных ступеней откачки обеспечивает уравновешивание сил, действующих на Д 6 и Л 3. В результате возможно лишь небольшое перемещение С 4 в отверстии шарика без дополнительных осевых усилий на опоры. 2 ил.The invention relates to vacuum technology and makes it possible to increase the reliability of a pump during an emergency breakthrough of the atmosphere. Working blades (L) 3 are fixed on the central disk (D) 6 of the hollow rotor (P) 2 parallel to the pump axis, forming two parallel pumping stages. P 2 rests on a flexible rod (C) 4, the lower end of which is located in the opening of a ball fixed in an elastic cuff mounted on a bolster. When the atmosphere breaks through both from the suction side of the pump and from the discharge side, the presence of parallel pumping stages balances the forces acting on D 6 and L 3. As a result, only a small movement of C 4 in the ball opening is possible without additional axial forces on the supports. 2 Il.

Description

Фиг. ZFIG. Z

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий вертикальный корпус и расположенный в нем по оси полый ротор с рабочими лопатками, установленный на гибком стержне, опирающемся на подпятник, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности при аварийном прорыве атмосферы, ротор снабжен центральным диском, рабочие лопатки установлены на нем параллельно оси с образованием параллельных ступеней откачки, Подпятник снабжен эластичной манжетой и укрепленным в ней шариком с диаметральным отверстием, а нижний конец гибкого стержня расположен в отверстии.A turbomolecular vacuum pump containing a vertical housing and a hollow rotor with rotor blades located in it, mounted on a flexible rod resting on a thrust bearing, characterized in that, in order to increase reliability during an emergency breakthrough of the atmosphere, the rotor is equipped with a central disk, the rotor blades are installed on it parallel to the axis with the formation of parallel pumping steps, the thrust bearing is equipped with an elastic cuff and a ball with a diametrical hole fixed therein, and the lower end of the flexible rod is located in the hole. Фиг. 2FIG. 2
SU884413854A 1988-04-19 1988-04-19 Turbomolecular vacuum pump SU1571306A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884413854A SU1571306A1 (en) 1988-04-19 1988-04-19 Turbomolecular vacuum pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884413854A SU1571306A1 (en) 1988-04-19 1988-04-19 Turbomolecular vacuum pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1571306A1 true SU1571306A1 (en) 1990-06-15

Family

ID=21370180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884413854A SU1571306A1 (en) 1988-04-19 1988-04-19 Turbomolecular vacuum pump

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1571306A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003076810A1 (en) * 2002-03-14 2003-09-18 Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH Turbomolecular pump with a high-vacuum sided circular suction surface

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003076810A1 (en) * 2002-03-14 2003-09-18 Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH Turbomolecular pump with a high-vacuum sided circular suction surface

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE50104205D1 (en) TURBO RADIAL FAN
KR870700121A (en) Wing section pump
SU1571306A1 (en) Turbomolecular vacuum pump
US4137014A (en) Two speed compressor with rotor support structure
JPH01240791A (en) Turbo molecular pump
US5080562A (en) Annular rolling rotor motor compressor with dual wipers
SU1036957A1 (en) Bearing-support of centrifugal pump
RU1770612C (en) Turbomolecular vacuum pump
SU823638A1 (en) Vacuum mechanical pump
SU1504371A1 (en) Bearing assembly of centrifugal pump
SU1036956A1 (en) Vertical turbo-molecular pump
SU1590563A1 (en) Rotor of turbomachine
SU1129419A1 (en) Centrifugal compressor
SU1448111A1 (en) Molecular vacuum pump
SU1141218A1 (en) Centrifugal compressor
SU1087688A1 (en) Piston-pump vacuum pump
SU1138543A1 (en) Centrifugal pump
JPS6429695A (en) Turbo molecular pump
SU1560813A1 (en) Vertical turbomolecular pump
JPH03294694A (en) Molecular turbopump
SU1587225A1 (en) Two-stage vacuum pump
SU1273614A1 (en) Centrifugal turbomachine
KR100208186B1 (en) Bearing construction of small turbo-compressor
SU992837A1 (en) Turbomolecular vacuum pump
SU881369A1 (en) Sealed vertical pump set