SU1036956A1

SU1036956A1 - Vertical turbo-molecular pump

Info

Publication number: SU1036956A1
Application number: SU813287657A
Authority: SU
Inventors: Борис Константинович Бахтерев; Леонид Петрович Печеркин; Валерий Ефимович Балимов
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4857
Priority date: 1981-03-24
Filing date: 1981-03-24
Publication date: 1983-08-23

Abstract

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемс на подп тник, отличающийс тем, что, с целью уменьщени динамической неуравновещенности ротора, подп тник расположен выще центра т жести ротора. сл со О5 со сд сгA VERTICAL TURBOMOLECULAR PUMP, comprising a housing and a rotor with an internal cavity mounted therein, mounted on a flexible rod supported by a sub-core, characterized in that, in order to reduce the dynamic imbalance of the rotor, the sub-shaft is located above the center of the rotor body. SL WITH O5 WITH SD Cr

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике .The invention relates to vacuum technology.

Известен вертикальный турбомолекул рный насос, содержащий корпус, ротор с магнитными подшипниками, причем момент инерции ротора относительно оси врашени больше момента инерции относительно поперечной оси, проход щей через центр т жести ротора 1.A vertical turbomolecular pump is known, comprising a housing, a rotor with magnetic bearings, the rotor inertia moment with respect to the axis of vrash is greater than the moment of inertia with respect to the transverse axis passing through the center of gravity of the rotor 1.

Недостатком такого насоса вл етс большой радиальный размер ротора по сравнению с его высотой, что не позвол ет получить достаточную компрессию.The disadvantage of such a pump is the large radial size of the rotor compared to its height, which does not allow for sufficient compression.

Наиболее близким к изобретению вл етс вертикальный турбомолекул рный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемс на подп тник 2.Closest to the invention is a vertical turbomolecular pump comprising a housing and a rotor with an internal cavity mounted therein mounted on a flexible rod supported on a hinge 2.

Однако в известном насосе не достигаетс динамическа уравновешенность ротора .However, in a known pump, the dynamic balance of the rotor is not achieved.

Целью изобретени вл етс уменьщение динамической неуравновешенности ротора .The aim of the invention is to reduce the dynamic imbalance of the rotor.

Указанна цель достигаетс тем, что в вертикальном турбомолекул рном насосе, содержащем корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемс на подп тник, подп тник расположен выше центра т жести ротора.This goal is achieved by the fact that in a vertical turbomolecular pump comprising a casing and a rotor with an internal cavity mounted on it, mounted on a flexible rod supported on a bolster, the cushion is located above the center of gravity of the rotor.

На фиг. 1 изображен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - узел I на фиг. I.FIG. 1 shows a pump, a longitudinal section; in fig. 2 — node I in FIG. I.

Вертикальный турбомолекул рный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на гибком стержне 3, опирающемс на подп тник 4, расположенный выще центра т жести ротора 2.The vertical turbomolecular pump comprises a housing 1 and a rotor 2 located therein with an internal cavity mounted on a flexible rod 3 supported on a hub 4, located above the center of gravity of the rotor 2.

Подп тник 4 запрессован в стакан 5 демпфера.Subclare 4 is pressed into the glass 5 of the damper.

Демпфер содержит корпус 6, заполненный маслом. Стакан 5 в верхней части снабжен пружинами 7. Станка 5 размещен в корпусе 6 с зазором 8. Ротор 2 приводитс во вращение электродвигателем 9.The damper includes a housing 6 filled with oil. The glass 5 in the upper part is provided with springs 7. The machine 5 is housed in the housing 6 with a gap 8. The rotor 2 is driven in rotation by an electric motor 9.

Работа турбомолекул рного насоса осуществл етс следующим образом.The operation of the turbomolecular pump is as follows.

Ротор 2 раскручиваетс с помощью высокочастотного электродвигател 9. При вращении ротор 2 опираетс поверхностью стержн 3 на подп тник 4. Так как подп тник 4 запрессован в стакан 5 демпфера, то возникающие при вращении ротора 2 высокочастотные и низкочастотные колебани гас тс . При этом пружины 7 в совокупности со стержнем 3 гас т низкочастотные колебани , а зазор 8 - высокочастотные. Величина жесткости пружины 7, а также величина зазора 8 выбираетс в зависимости от следующих факторов: массы ротора; момента инерции ротора относительно осиThe rotor 2 is unwound using a high-frequency electric motor 9. During rotation, the rotor 2 rests on the surface of the rod 3 on the thrust plate 4. Since the thrust 4 is pressed into the bowl 5 of the damper, the high-frequency and low-frequency oscillations occurring during the rotation of the rotor 2. In this case, the springs 7, together with the rod 3, extinguish low-frequency oscillations, and the gap 8 - high-frequency ones. The stiffness of the spring 7, as well as the size of the gap 8, is selected depending on the following factors: the mass of the rotor; the moment of inertia of the rotor relative to the axis

вращени ; момента инерции ротора относительно поперечной оси, проход щей через центр т жести ротора.rotation; the moment of inertia of the rotor relative to the transverse axis passing through the center of the thrust of the rotor.

Благодар расположению центра т жести ротора 2 ниже осевой точки опоры за счет силы собственного веса ротора 2 по вл етс дополнительный стабилизирующий фактор, защищающий роторную систему от сил гидроскопического происхождени .Due to the location of the center of gravity of the rotor 2 below the axial point of support, due to the force of the own weight of the rotor 2, an additional stabilizing factor appears, protecting the rotor system from hydroscopic forces.

Кроме того, осева игольчата опора представл ет собой комбинированный радиально-упорный подщипник скольжени и обеспечивает эффективное демпфирование ротора.In addition, the axial needle bearing is a combined radial-resistant sliding bearing and provides effective rotor damping.

Радиальный размер ротора предлагаемого насоса может находитьс вне зависимости от его высоты, что позвол ет изготавг ливать роторы с оптимальным количеством ступеней, от числа которых зависит величина предельного остаточного давлени , достигаемого с помощью турбомолекул рного насоса.The radial size of the rotor of the proposed pump can be independent of its height, which allows the manufacture of rotors with an optimal number of stages, the number of which depends on the value of the limiting residual pressure achieved using a turbomolecular pump.

Фиг2Fig2

Claims

A VERTICAL TURBOMOLECULAR PUMP containing a housing and a rotor with an internal cavity located therein, mounted on a flexible rod resting on a thrust bearing, characterized in that, in order to reduce dynamic rotor imbalance, the thrust bearing is located above the rotor's center of gravity.

S and „„ 1036956

Z

Figure 1