SU156715A1

SU156715A1 -

Info

Publication number: SU156715A1
Application number: SU781733A
Authority: SU

Description

При контроле плоскости путем пр мого положени пробного стекла на исследуемую поверхность на эталоне и провер емой детали по вл ютс царапины.When inspecting the plane by direct positioning of the test glass, scratches appear on the test surface on the reference and the part being inspected.

Предлагаемый переносный интерферометр отличаетс от известных тем, что он исключает опасность по влени царапин при наложении эталона на контролируемую деталь, позвол ет вести контроль непосредственно на шпинделе оптического станка и дает повыгненную контрастность интерференционной картины.The proposed portable interferometer differs from the known ones in that it eliminates the risk of scratches when the reference is applied to a test piece, allows control to be carried out directly on the spindle of the optical machine, and gives a traceable contrast of the interference pattern.

Это достигаетс тем, что между эталоном и контролируемой деталью по.мещены прокладки, наклеенные на эталон, а дл освещени применен монохроматический источник света.This is achieved by laying spacers glued to the standard between the standard and the test piece, and a monochromatic light source is used for the illumination.

На чертеже изображена оптическа с.хема интерферометра, котора содержит монохроматический источник света 1, матовое стекло 2, пластинку-отражатель 3 и эталон 4.The drawing shows an optical s.chem of an interferometer that contains a monochromatic light source 1, frosted glass 2, a reflector plate 3 and a standard 4.

В качестве эталона вз то рабочее стекло заданного диаметра, рабоча поверхность которого обработана с точностью до 1 интерференционной полосы (в линейной мере не более 0,03 мк. На поверхности эталона приклеены три пластинки 5 заданной толщины (около 5 мк.).As a reference, a working glass of a given diameter was taken, the working surface of which was processed with an accuracy of 1 interference band (linearly no more than 0.03 microns. Three plates 5 of a given thickness (about 5 microns) are glued on the surface of the standard.

Производственные испытани интерферометра показали, что он удобен в работе и дает четкую, контрастную интерференционную картину .Production tests of the interferometer showed that it is easy to use and gives a clear, contrasting interference pattern.

Предмет изобретени Subject invention

Переносный интерферометр дл контрол плоскостей, работающий по принципу пробного стекла, отличающийс тем, что, с цельюA portable interferometer for controlling planes, operating on the principle of a test glass, characterized in that

предохранени от повреждени эталонной и исследземой поверхностей и повышени контрастности интерференционной картины при осуществлении контрол непосредственно на шпинделе оптического станка; между эталоном и контролируемой деталью помещены прокладки, наклеенные на эталон, а дл освещени применен монохроматический -источник света.protection from damage to the reference and surface-tested surfaces and increasing the contrast of the interference pattern when monitoring directly on the spindle of the optical machine; between the standard and the test piece, there are spacers glued to the standard, and a monochromatic source of light is used for illumination.