SU1562754A1

SU1562754A1 - Method of determining strength of dielectric films

Info

Publication number: SU1562754A1
Application number: SU884468025A
Authority: SU
Inventors: Вячеслав Иванович Анисимов; Александр Васильевич Кислецов; Владислав Владимирович Колокольчиков; Александр Серафимович Подкопаев
Original assignee: Предприятие П/Я А-3503
Priority date: 1988-07-29
Filing date: 1988-07-29
Publication date: 1990-05-07

Abstract

Изобретение относитс к испытательной технике, а именно к определению свойств материалов. Целью изобретени вл етс повышение точности за счет определени изменений электрических свойств диэлектрической пленки. Поставленна цель достигаетс тем, что помещают диэлектрическую пленку на электропроводную подложку, вдавливают в пленку индентор, измер ют силу вдавливани и изменение тангенса угла диэлектрических потерь пленки, а прочность пленки определ ют по силе вдавливани в момент скачкообразного увеличени тангенса угла потерь. 2 ил.The invention relates to a testing technique, namely the determination of the properties of materials. The aim of the invention is to improve the accuracy by determining changes in the electrical properties of the dielectric film. This goal is achieved by placing a dielectric film on an electrically conductive substrate, pressing an indenter into the film, measuring the pressing force and changing the tangent of the dielectric loss angle of the film, and the film strength is determined by the pressing force at the moment of abrupt increase in the loss tangent angle. 2 Il.

Description

Изобретение относитс к испытательной технике, а именно к определению свойств материалов.The invention relates to a testing technique, namely the determination of the properties of materials.

Целью изобретени вл етс повышение точности за счет определени изменений электрических свойств диэлектрической пленки.The aim of the invention is to improve accuracy by determining changes in the electrical properties of the dielectric film.

На фиг.1 представлена схема устройства дл определени прочности пленок; на фиг.2 - зависимость изменени тангенса угла диэлектрических потерь от нагрузки.Figure 1 shows a diagram of a device for determining the strength of films; 2 shows the dependence of the change in dielectric loss tangent on load.

Устройство состоит из твердомера 1 с индентором 2, соединенного с двигателем 3 и датчиком 4 усилий. Электродвигатель 3 управл етс от источника 5 тока, а сигнал с датчика 4 поступает на регистратор 6. Основание 7 твердомера 1 вл етс электропровод ным и служит дл размещени на нем диэлектрической пленки 8, Инден- тор 2 пленки 8 и основание 7 образуют конденсатор и св заны с измерителемThe device consists of a hardness tester 1 with an indenter 2 connected to the engine 3 and the sensor 4 efforts. The motor 3 is controlled from the current source 5, and the signal from the sensor 4 is fed to the recorder 6. The base 7 of the hardness tester 1 is electrically conductive and serves to place the dielectric film 8 on it, the Indenter 2 of the film 8 and the base 7 form a capacitor and with meter

9 тангенса угла диэлектрических потерь пленки 8 tgfl.9 tangent dielectric loss film 8 tgfl.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Пленка 8 устанавливаетс на основании 7 твердомера 1 , При включении электродвигател 3 индентор опускаетс до касани с пленкой 8. Нагрузка на него возрастает и измер етс с помощью датчика 4 регистратором 6. Одновременно измерителем 9 фиксируетс изменение tg 0.The film 8 is mounted on the base 7 of the hardness tester 1. When the motor 3 is turned on, the indenter is lowered until it touches the film 8. The load on it increases and is measured by the sensor 4 by the recorder 6. At the same time, the meter 9 records the change in tg 0.

Способ осуществл ют следующим образом .The method is carried out as follows.

Помещают диэлектрическую пленку на электропроводную подложку, вдавливают в пленку индентор и измер ют при этом силу вдавливани индентора в пленку и тангенс угла диэлектрических потерь пленки, стро т кривую зависимости tgS от нагрузки F, а прочность пленки оп-; редел ют по усилию вдавливани в момент скачкообразного увеличени tgO.The dielectric film is placed on an electrically conductive substrate, the indenter is pressed into the film and the indentation force of the indenter into the film and the dielectric loss tangent of the film are measured, the curve of tgS versus the load F is plotted, and the strength of the film is determined; determined by the force of indentation at the time of the sudden increase in tgO.

(Л(L

0,16 0,11 О,0В0.16 0.11 O, 0V

0№0№

Claims

SUMMARY OF THE INVENTION A method for determining the strength of dielectric films, which consists in placing the film on an electrically conductive substrate, pressing the indenter into the film, measuring the indentation force, which determines the strength, characterized in that, in order to improve accuracy, they measure the indenter during indentation ·, The tangent of the dielectric loss angle in the film, with its jump-like increase, the indentation force is recorded and strength is determined with it.

Figure 2