CN206440281U
(zh )
2017-08-25
微机械检测结构和mems传感器设备
JPH04269659A
(ja )
1992-09-25
環状質量部材を用いた加速度計
DE2442525A1
(de )
1975-10-02
Messgroessenumformer zur erzeugung elektrischer signale in abhaengigkeit vom andruck und von der bewegungsrichtung eines stiftes, insbesondere eines schreibstiftes
GB659869A
(en )
1951-10-31
Improvements in or relating to electro-mechanical transducers employing dielectric elements
CN106093605A
(zh )
2016-11-09
一种扭转式电场传感器
DE102010029630A1
(de )
2011-12-08
Drehratensensor
CN110455656A
(zh )
2019-11-15
精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构及检测方法
Tong et al.
1998
In-plane vibration of circular arches with variable cross-sections
SU155549A1
(enExample )
RU2172967C1
(ru )
2001-08-27
Гравитационный вариометр
JP2004340716A
(ja )
2004-12-02
加速度センサ
JP4210694B2
(ja )
2009-01-21
マイクロメカニカルモーションセンサ
JP2007171059A
(ja )
2007-07-05
センサ装置
CN114113679A
(zh )
2022-03-01
用于检测振动的宽带宽mems加速度计
CN2397473Y
(zh )
2000-09-20
栅型结构电容式微机械谐振陀螺
CN112798821B
(zh )
2021-10-08
一种双轴压电式加速度计
DE19740244A1
(de )
1998-02-26
Beschleunigungs-unempfindlicher, planarer Differenzdruck-Sensor in Mikrotechnik
RU2822976C1
(ru )
2024-07-16
Пьезоактюатор изгибного типа
CN1042991A
(zh )
1990-06-13
振动法和传递函数法结合的试桩技术
CN223204934U
(zh )
2025-08-08
一种压电/压阻式mems陀螺仪
CN223204933U
(zh )
2025-08-08
一种压电/压阻式mems陀螺仪
SU213387A1
(ru )
Многокомпонентный электротензометрическиидинамометр
JPH0760093B2
(ja )
1995-06-28
振動ジャイロ
JPH04162784A
(ja )
1992-06-08
屈曲変位型アクチュエータ
WO2020190232A1
(en )
2020-09-24
A piezoelectric material