SU1539512A1 - Способ контрол толщины покрыти - Google Patents

Способ контрол толщины покрыти Download PDF

Info

Publication number
SU1539512A1
SU1539512A1 SU874334829A SU4334829A SU1539512A1 SU 1539512 A1 SU1539512 A1 SU 1539512A1 SU 874334829 A SU874334829 A SU 874334829A SU 4334829 A SU4334829 A SU 4334829A SU 1539512 A1 SU1539512 A1 SU 1539512A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
thickness
emulsion
coating
fluoroplastic
layer
Prior art date
Application number
SU874334829A
Other languages
English (en)
Inventor
Иван Дмитриевич Пупышев
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4132
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4132 filed Critical Предприятие П/Я Г-4132
Priority to SU874334829A priority Critical patent/SU1539512A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1539512A1 publication Critical patent/SU1539512A1/ru

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и имеет целью повышение точности контрол  толщины диэлектрического покрыти  на полиимидной пленке за счет контрол  его толщины в виде сло  водной эмульсии этого покрыти  до его отверждени . Полиимидна  пленка 2 с паковки 1 через вал 4 прот гиваетс  через ванну 3 с водной эмульсией фторопласта и поступает в камеру 5 сушки и спекани , где происходит отверждение покрыти , и далее наматываетс  на паковку 6. Водна  эмульси  фторопластового покрыти  на участке после ванны постепенно стекает с поверхности пленки, образу  слой эмульсии посто нной толщины. На участке со стабилизированной толщиной сло  эмульсии размещают измерительный конденсатор 7, по изменению емкости которого суд т о толщине сло  эмульсии. Дл  определени  положени  участка стабилизированного сло  эмульсии измерительный конденсатор перемещают вдоль пленки до положени , в котором его емкость становитс  посто нной. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

К) 30 40 50 60 70 %,( Фю.5

Claims (2)

  1. Формула изобретения
    1. Способ контроля толщины покрытия, заключающийся в том, что участок покрытия помещают в поле измерительного конденсатора, измеряют его емкость и по ее изменению судят о толщине покрытия, о тличающийс я тем, что, с целью повышения точности контроля в процессе нанесения ' фторопластового покрытия на полиимидЦ ную пленку путем ее смачивания водной эмульсией фторопласта,· измерение емкости осуществляют на участке стека- ния водной эмульсии фторопласта с поверхности пленки в месте, где толщина эмульсии становится постоянной.
    I
  2. 2. Способ поп.1, отличающийся тем, что определение места с постоянной толщиной слоя водной эмульсии фторопласта осуществляют путем перемещения измерительного конденсатора по длине полиимидной пленки до ние оказывает вода в слое водной эмуль- положения, в котором величина его емсии, обладающая большой диэлектричес- кости становится постоянной.
SU874334829A 1987-10-14 1987-10-14 Способ контрол толщины покрыти SU1539512A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874334829A SU1539512A1 (ru) 1987-10-14 1987-10-14 Способ контрол толщины покрыти

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874334829A SU1539512A1 (ru) 1987-10-14 1987-10-14 Способ контрол толщины покрыти

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1539512A1 true SU1539512A1 (ru) 1990-01-30

Family

ID=21338833

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874334829A SU1539512A1 (ru) 1987-10-14 1987-10-14 Способ контрол толщины покрыти

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1539512A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР W 1128114, кл. G 01 В 11/06, 1983. Валитов А.М.-З., Шилов Г.И. Приборы и методы контрол толщины покрытий. Л.: Машиностроение, 1970, с.112, рис.97. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7842350B2 (en) Method and apparatus for coating a photosensitive material
JP2002504269A (ja) 高効率フォトレジストコーティング
SU1539512A1 (ru) Способ контрол толщины покрыти
NO904399D0 (no) Rakel for dosering av sjiktbelegg paa papir - eller kartonbaner.
AU2002328270B2 (en) Apparatus and method for in SITU measuring of evaporation from a surface
FI912260A (fi) Foerfarande och anordning foer belaeggning av roerligt underlag
KR20190095303A (ko) 도장 건조 장치 및 도장 건조 방법
JPS5359455A (en) Radiation measuring apparatus
JPS5229792A (en) Method of determining adhesion of films
US4850299A (en) Semiconductor wafer coating apparatus with angular oscillation means
SU1308882A2 (ru) Способ определени прочности сцеплени покрыти с подложкой
JP2001126975A (ja) 基板塗布装置
RU1796887C (ru) Способ контрол толщины фторопластового покрыти
SU1052938A2 (ru) Способ определени смачиваемости поверхности твердых тел
JP3247779B2 (ja) 塗料の塗装方法
Yada et al. Formation of a positive photoresist thin film by spin coating: Influence of atmospheric humidity
JPH025270B2 (ru)
JPS55154454A (en) Flow type ion selective electrode and analytical apparatus
RU2112919C1 (ru) Индукционный датчик контроля толщины металлических покрытий
SU1089489A1 (ru) Способ определени прочности сцеплени покрыти с подложкой
KR910018089A (ko) 금속표면의 감광액 도포방법 및 장치
JPS5539627A (en) Automatic device for measuring specific resistance distribution of semiconductor
ATE240792T1 (de) Verfahren zum reinigen einer strukturellen oberfläche
JPS5794932A (en) Coating device for lubricant
JPS5323538A (en) Pattern semi-steady point detection unit