SU1539512A1 - Способ контрол толщины покрыти - Google Patents
Способ контрол толщины покрыти Download PDFInfo
- Publication number
- SU1539512A1 SU1539512A1 SU874334829A SU4334829A SU1539512A1 SU 1539512 A1 SU1539512 A1 SU 1539512A1 SU 874334829 A SU874334829 A SU 874334829A SU 4334829 A SU4334829 A SU 4334829A SU 1539512 A1 SU1539512 A1 SU 1539512A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- thickness
- emulsion
- coating
- fluoroplastic
- layer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и имеет целью повышение точности контрол толщины диэлектрического покрыти на полиимидной пленке за счет контрол его толщины в виде сло водной эмульсии этого покрыти до его отверждени . Полиимидна пленка 2 с паковки 1 через вал 4 прот гиваетс через ванну 3 с водной эмульсией фторопласта и поступает в камеру 5 сушки и спекани , где происходит отверждение покрыти , и далее наматываетс на паковку 6. Водна эмульси фторопластового покрыти на участке после ванны постепенно стекает с поверхности пленки, образу слой эмульсии посто нной толщины. На участке со стабилизированной толщиной сло эмульсии размещают измерительный конденсатор 7, по изменению емкости которого суд т о толщине сло эмульсии. Дл определени положени участка стабилизированного сло эмульсии измерительный конденсатор перемещают вдоль пленки до положени , в котором его емкость становитс посто нной. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
К) 30 40 50 60 70 %,( Фю.5
Claims (2)
- Формула изобретения1. Способ контроля толщины покрытия, заключающийся в том, что участок покрытия помещают в поле измерительного конденсатора, измеряют его емкость и по ее изменению судят о толщине покрытия, о тличающийс я тем, что, с целью повышения точности контроля в процессе нанесения ' фторопластового покрытия на полиимидЦ ную пленку путем ее смачивания водной эмульсией фторопласта,· измерение емкости осуществляют на участке стека- ния водной эмульсии фторопласта с поверхности пленки в месте, где толщина эмульсии становится постоянной.I
- 2. Способ поп.1, отличающийся тем, что определение места с постоянной толщиной слоя водной эмульсии фторопласта осуществляют путем перемещения измерительного конденсатора по длине полиимидной пленки до ние оказывает вода в слое водной эмуль- положения, в котором величина его емсии, обладающая большой диэлектричес- кости становится постоянной.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874334829A SU1539512A1 (ru) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | Способ контрол толщины покрыти |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874334829A SU1539512A1 (ru) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | Способ контрол толщины покрыти |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1539512A1 true SU1539512A1 (ru) | 1990-01-30 |
Family
ID=21338833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874334829A SU1539512A1 (ru) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | Способ контрол толщины покрыти |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1539512A1 (ru) |
-
1987
- 1987-10-14 SU SU874334829A patent/SU1539512A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР W 1128114, кл. G 01 В 11/06, 1983. Валитов А.М.-З., Шилов Г.И. Приборы и методы контрол толщины покрытий. Л.: Машиностроение, 1970, с.112, рис.97. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7842350B2 (en) | Method and apparatus for coating a photosensitive material | |
JP2002504269A (ja) | 高効率フォトレジストコーティング | |
SU1539512A1 (ru) | Способ контрол толщины покрыти | |
NO904399D0 (no) | Rakel for dosering av sjiktbelegg paa papir - eller kartonbaner. | |
AU2002328270B2 (en) | Apparatus and method for in SITU measuring of evaporation from a surface | |
FI912260A (fi) | Foerfarande och anordning foer belaeggning av roerligt underlag | |
KR20190095303A (ko) | 도장 건조 장치 및 도장 건조 방법 | |
JPS5359455A (en) | Radiation measuring apparatus | |
JPS5229792A (en) | Method of determining adhesion of films | |
US4850299A (en) | Semiconductor wafer coating apparatus with angular oscillation means | |
SU1308882A2 (ru) | Способ определени прочности сцеплени покрыти с подложкой | |
JP2001126975A (ja) | 基板塗布装置 | |
RU1796887C (ru) | Способ контрол толщины фторопластового покрыти | |
SU1052938A2 (ru) | Способ определени смачиваемости поверхности твердых тел | |
JP3247779B2 (ja) | 塗料の塗装方法 | |
Yada et al. | Formation of a positive photoresist thin film by spin coating: Influence of atmospheric humidity | |
JPH025270B2 (ru) | ||
JPS55154454A (en) | Flow type ion selective electrode and analytical apparatus | |
RU2112919C1 (ru) | Индукционный датчик контроля толщины металлических покрытий | |
SU1089489A1 (ru) | Способ определени прочности сцеплени покрыти с подложкой | |
KR910018089A (ko) | 금속표면의 감광액 도포방법 및 장치 | |
JPS5539627A (en) | Automatic device for measuring specific resistance distribution of semiconductor | |
ATE240792T1 (de) | Verfahren zum reinigen einer strukturellen oberfläche | |
JPS5794932A (en) | Coating device for lubricant | |
JPS5323538A (en) | Pattern semi-steady point detection unit |