SU1527535A1 - Устройство дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптических деталей - Google Patents
Устройство дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптических деталей Download PDFInfo
- Publication number
- SU1527535A1 SU1527535A1 SU884368791A SU4368791A SU1527535A1 SU 1527535 A1 SU1527535 A1 SU 1527535A1 SU 884368791 A SU884368791 A SU 884368791A SU 4368791 A SU4368791 A SU 4368791A SU 1527535 A1 SU1527535 A1 SU 1527535A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirror
- chamber
- compensator
- optical element
- camera
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к оптико-механическим устройствам и предназначено дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптич.деталей преимущественно астрономических зеркал, в том числе уникальных. Целью изобретени вл етс повышение точности и производительности контрол . Устройство содержит вакуумную камеру 1 с иллюминатором 2 и люком в нижней части, а также интерферометр, состо щий из лазерного коллиматора 3, светоделител 4 и регистратора 5 интерференционной картины, размещенных вне камеры, и оптического элемента 6 с плоской эталонной поверхностью, компенсатора 7 и плоского зеркала 8 с отражающей поверхностью В, размещенной внутри камеры. Через люк камеры в нее устанавливают приспособление 10 дл закреплени контролируемого зеркала 11. С помощью плоского зеркала 8 обеспечиваетс возможность устранени комы. Размещение клина 6 с эталонной поверхностью в совокупности с другими признаками позвол ет повысить точность контрол . 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
1
(21)(
(22)28.01.88
(46) 07.12.89. Бюл. fJ 5 (72) В.А.Горшков, О.Н.Фомин и Е.Г.Волков (53) 535.818 (088.8) (56) Пур ев Д.Т., Горшков В.А. и др. Исследование качества рабочей поверхности параболического ситаллового астрономического зеркала. - ОМП, 1982, № 8, с.7-9.
Авторское свидетельство СССР ГГ. , кл. С 01 М 11/00, 1984.
. 2 ,
(5) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ бОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ
(57) Изобретение относитс к оптико- механическим устройствам и предназначено дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптич. деталей, преимущественно астрономических зеркал, в том числе уникальных. Целью изобретени вл етс повышение точности и производительности контрол . Устройство содержит вакуумную камеру 1 с иллюминатором 2 и люком в нижней части,
/--..-гз.
|.-Л I
I i (--v5
,
1
(Л
ел ю
-ч|
ел
со ел
31
а также интерферометр, состо щий из лазерного коллиматора 3, светоделите л + и регистратора 5 интерференцион ной картины, размещенных вне камеры, и оптического элемента 6 с плоской эталонной поверхностью, компенсатора 7 и плоского зеркала 8 с отражающей поверхностью В, размещенной внутри камеры. Через люк камеры в нее уста275354
навливают приспособление 10 дл закреплени контролируемого зеркала 11. С помощью плоского зеркала 8 обеспечиваетс возможность устранени комы, Размещение клина 6 с эталонной поверхностью в совокупности с другими признаками позвол ет повысить точность контрол . 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
10 ,
Изобретение относитс к оптико- механическим устройствам и может быть использовано дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптических деталей, например, в производстве астрономических зеркал.
Целью изобретени вл етс повышение точности и производительности контрол ,
На чертеже изображена принципиальна схема устройства дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптических деталей.
Устройство содержит вакуумную камеру 1 с иллюминатором 2 на ее боковой поверхности и интерферометр, сое- то щий из лазерного коллиматора 3,- светоделител i и регистратора 5 интерференционной картины, размещенных вне камеры 1 , и оптического элемента 6 с плоской эталонной поверхностью В, компенсатора 7 и плоского зеркала 8 с отражающей поверхностью Б, размещенных внутри камеры 1. Люк 9 в нижней части камеры 1 обеспечивает возможность размещени в ней приспо- соблени 10, предназначенного дл закреплени контролируемой детали 11 Плоское зеркало 8 расположено над приспособлением 10, обращено к нему своей отражающей поверхностью Б и ориентируетс под углом (например, под углом 45°) к оптической оси контролируемого зеркала 11,
Компенсатор 7 выполнен с нулевой апертурой (синус его переднего апер- турного угла равен нулю) и ориентирован так, что его задний параксиальны фокус F расположен на отражающей поверхности Б плоского зеркала 8. Иллюминатор 2 и оптический элемент 6 вы- полнены в виде клиньев из одинакового материала (оптического стекла с
одинаковыми показател ми преломлени
и с одинаковыми преломл ющими углами . На эталонную поверхность В оптического элемента 6 нане- сено светоделительное покрытие с коэффициентом пропускани , определ емым зависимостью
1
XV
г
где р - коэффициент отражени контролируемого зеркала 11.
Оптический элемент 6 установлен между иллюминатором 2 и компенсатором 7 и ориентирован так, что главные сечени клиньев взаимно перпендикул рны , а эталонна поверхность В обращена к компенсатору 7 и установлена перпендикул рно его оптической оси.
Оптический элемент 6 установлен с возможностью независимых наклонов вокруг двух взаимно перпендикул рных осей, кажда из которых лежит в плоскости его эталонной поверхности В и перпендикул рна оптической оси компенсатора 7. Плоское зеркало 8 также установлено с возможностью независимых наклонов вокруг двух взаимно перпендикул рных осей, лежащих в плоскости его отражающей поверхности Б и пересекающихс в точке F.
Оптические элементы интерферометра расположенные внутри камеры 1 (оптический элемент 6, компенсатор 7 и плоское зеркало 8), установлены с возможностью совместного перемещени (перестановки) в направлении ее вертикальной оси, а оптические элементы интерферометра, расположенные вне камеры 1 (лазерный коллиматор 3, светоделитель 4 и регистратор 5), установлены с возможностью совместного перемещени (перестановки) в ток ike
направлении. Допускаетс вариант выполнени стенда, когда лазерный коллиматор 3 установлен неподвижно, а возможность совместного перемещени (перестановки) обеспечена лишь в отношении светоделител и регистратора 5, а также в отношении оптических элементов интерферометра, расположенных внутри камеры.
В другом варианте выполнени устройства (показано пунктиром) иллюминатор 2 расположен на торце верхней части камеры 1, лазерный коллиматор 3, светоделитель 4 и регистратор 5 установлены неподвижно выше камеры 1 над иллюминатором 2, а внутрь камеры 1 дополнительно введено диагональное зеркало, которое установлено с возможностью перемещени (перестановки) в направлении вертикальной оси камеры 1 совместно с расположенными внутри нее остальными оптическими элементами интерферометра.
Устройство работает следующим .образом .
Приспособление 10 с закрепленным в нем контролируемым зеркалом 11 загружают в камеру 1 через люк 9 и устанавливают в ее нижней части, после чего камера 1 вакуумируетс . Оптичес- кйй элемент 6, компенсатор 7 и плоское зеркало 8 перемещают совместно в направлении вертикальной оси камеры 1 в положение, при котором центр кривизны контролируемого зеркала 11 совмещаетс с задним параксиальным фокусом FP компенсатора 7 на отражающей поверхности Б плоского зеркала 8, а лазерный коллиматор 3, светоделитель и регистратор 5 перемещают в направлении вертикальной оси камеры 1 в положение, при котором плоский волновой фронт, сформированный лазерным коллиматором 3 и отраженный от светоделител 4, проходит иллюминатор 2, оптический элемент 6 и поступает в компенсатор 7 в направлении его оптической оси. При этом часть плоского волнового фронта отражаетс от эталонной поверхности В оптического элемента 6 и представл ет собой опорный волновой фронт, а часть плоского волнового фронта, прошедша оптический элемент 6, преобразуетс компесатором 7 в асферический волновой фронт требуемой формы, направл етс отражающей поверхностью Б плоского зеркала 8 на контролируемое зер
0
5
кало 11 и представл ет собой рабочий волновой фронт. Контроль за совмещением центра кривизны при вершине контролируемого зеркала 11 с задним параксиальным фокусом компенсатора 7 осуществл ют сначала по совмещению автоколлимационных бликов от контролируемого зеркала 11 и эталонной поверхности В оптического элемента 6 на экране, установленном в фокусе объектива регистратора 5 (не показан ) , а затем непосредственно по интерференционной картине через визуальный канал регистратора 5 (не показан ) . Далее осуществл ют настройку интерферометра на требуемый вид интерференционной картины с помощью наклонов оптического элемента 6, а
0 устранение комы (центрировку рабочего волнового фронта по отношению контролируемого зеркала 11) выполн ют с помощью наклонов плоского зеркала 8. Получаема интерференционна картина,
5 содержаща информацию о погрешност х фромы контролируемого зеркала 11, фиксируетс на фотопленку регистратором 5.
Выполнение оптического элемента 6
в виде клина обеспечивает исключение из ПОЛЯ зрени регистратора 5 паразитного блика (а следовательно, и паразитных интерференционных картин) от поверхности, противоположно 1 эталонной поверхности В, а выполнение иллюминатора 2 в виде клина с таким же преломл ющим углом 6 и из того же оптического материала и ориентаци оптического элемента 6 в положение, при котором главные сечени клиньев взаимно перпендикул рны, обеспечивает компенсацию геометрических искажений выходного зрачка интерферометра (изображени контролируемого зеркала 11), обусловленных прохождением плоского волнового фронта через клин. Наличие на эталонной поверхности В светоделительного покрыти с коэффи5
0
5
50
циентом пропускани зависимостью
определ емым
1 Г
Р
где f - коэффициент отражени кон- тролируемого зеркала 11, обеспечивает уравнивание интенсивностей интерфери- 1рующих волновых фронтов, а следовательно , высокий контраст регистрируемой интерференционной картины. Раз
715
мощение оптического элемента 6 внутри камеры 1 исключает вли ние на результат контрол зеркала 11 погрешностей изготовлени всех оптических элементов интерферометра, расположенных в пр мом ходе лучей до эталонной поверхности В, в том числе иллюминатора 2 и светоделител А.
Работа устройства в варианте его выполнени с расположением иллюминатора 2 на торце верхней части камеры 1 аналогична рассмотренной за исключением того, что в процессе совмещени центра кривизны при вершине контролируемого зеркала 11 с задним параксиальным фокусом компенсатора 7 лазерный коллиматор 3, светоделитель k и регистратор 5 остаютс неподвижными , а элементы интерферометра, расположенные внутри камеры 1, перемещаютс а направлении вертикальной оси камеры 1 совместно с дополнительным диагональным зеркалом.
Claims (2)
- Формула изобретени1, Устройство дл контрол формы поверхности крупногабаритных деталей, преимущественно особоточных астро- зеркал, содержащее вакуумную камеру с иллюминатором, установленное в к а- мере приспособление дл закреплени контролируемого зеркала и интерферометр , содержащий лазерный коллиматор, светоделитель и регистратор, размещенный вне камеры, компенсатор, раз8мещенныи в камере, и эталонное плоское зеркало, отличающеес тем, что, с целью повышени точности и производительности контрол , оно снабжено плоским зеркалом, размещенным перед приспособлением, при этом задний фокус компенсатора совмещен с отражающей поверхностью зеркала, которое установлено под углом к оптической оси контролируемого зеркала, иллюминатор и оптический элемент выполнены в виде клиньев из одинакового материала с равными преломл ющими углами, а оптический элемент установлен в камере между иллюминатором и компенсатором, при этом главные сечени клиньев взаимно перпендикул рны, а эталонна поверхность оптического элемента обращена к компенсатору и установлена перпендикул рно его оптической оси.
- 2. Устройство по п.1, о т л и ч а - ю щ е е с тем, что, с целью повышени точности контрол за счет получени одинаковой энергии в обоих пучках , на эталонной поверхности оптического элемента выполнено светоделитель- ное покрытие с коэффициентом пропус, определ емым соотношением 1 -35где р - коэффициент отражени контролируемого зеркала.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884368791A SU1527535A1 (ru) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | Устройство дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптических деталей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884368791A SU1527535A1 (ru) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | Устройство дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптических деталей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1527535A1 true SU1527535A1 (ru) | 1989-12-07 |
Family
ID=21351776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884368791A SU1527535A1 (ru) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | Устройство дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптических деталей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1527535A1 (ru) |
-
1988
- 1988-01-28 SU SU884368791A patent/SU1527535A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100225923B1 (ko) | 이상 회절 간섭계 | |
TW579436B (en) | Interferometer, beam-combining unit and manipulator system | |
US5064286A (en) | Optical alignment system utilizing alignment spot produced by image inverter | |
US5563706A (en) | Interferometric surface profiler with an alignment optical member | |
JP2003535324A (ja) | 波面検出のための方法及び装置 | |
JPS6117921A (ja) | 実時間波頭解析修正装置 | |
CN110793755A (zh) | 反射长焦望远镜装调中测量焦距的刀口装置与测量方法 | |
US4762417A (en) | Fringe scanning point diffraction interferometer by polarization | |
SU1527535A1 (ru) | Устройство дл контрол формы поверхности крупногабаритных оптических деталей | |
US3844660A (en) | Method and apparatus for aligning an interferometer mirror | |
US6738189B1 (en) | Microscope for measuring an object from a plurality of angular positions | |
JPH02149814A (ja) | 走査式光学装置のモニター機構 | |
Yoder Jr | Non-image-forming optical components | |
JP3340824B2 (ja) | 全反射プリズムを含む光学系 | |
US20230236085A1 (en) | Non Rotating Lens Centering Device | |
SU1268948A1 (ru) | Устройство дл контрол угловых параметров плоскопараллельных пластин | |
CN211696888U (zh) | 反射长焦望远镜装调中测量焦距的刀口装置 | |
US3610764A (en) | Automatic leveling telescope including a reversible two-sided pendulum mirror and a focusing prism | |
SU1114910A1 (ru) | Стенд контрол оптики | |
SU1610248A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических деталей | |
SU848999A1 (ru) | Интерферометр дл контрол изменени АбЕРРАций лиНз и зЕРКАл пРи зАКРЕплЕНиииХ B ОпРАВы | |
RU2018792C1 (ru) | Способ юстировки интерферометра фабри - перо и устройство для его осуществления | |
KR0177091B1 (ko) | 근적외선 광학계의 정렬장치 및 방법 | |
JP3283575B2 (ja) | ファイバー端面測定装置 | |
JP3155569B2 (ja) | 分散分布測定方法 |