SU1522047A1 - Способ измерени температуры поверхности электропроводных тел - Google Patents
Способ измерени температуры поверхности электропроводных тел Download PDFInfo
- Publication number
- SU1522047A1 SU1522047A1 SU874293817A SU4293817A SU1522047A1 SU 1522047 A1 SU1522047 A1 SU 1522047A1 SU 874293817 A SU874293817 A SU 874293817A SU 4293817 A SU4293817 A SU 4293817A SU 1522047 A1 SU1522047 A1 SU 1522047A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- temperature
- medium
- dielectric
- controlled
- voltage
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к бесконтактным способам измерени температуры поверхности нагретых тел и позвол ет повысить экономичность и точность измерений. Предложенный способ предусматривает размещение вблизи контролируемой поверхности 3 измерительного электрода, отделенного от поверхности 3 слоем диэлектрика. К электроду 1 и поверхности 3 прикладывают высокое переменное напр жение от источника 4. В промежутке между поверхностью диэлектрика 2 и контролируемой поверхностью 3 создают однородное электрическое поле, напр женность которого увеличивают до возникновени пробо среды в указанном промежутке. По величине приложенного напр жени , при котором наступает указанный пробой, определ ют измер емую температуру контролируемой поверхности. Температура среды в промежутке между контролируемой поверхностью 3 и поверхностью диэлектрика 2 и температура последней не должны превышать измер емой температуры поверхности 3. 1 ил.
Description
С
/
J
©
4
У///////////////7//////////////у
f
f5
20
25
Изобретение относитс к термометрии и может быть исполь:зовано в системах технологического контрол дл бесконтактного измерени температуры поверхности электропроводных тел.
Цель изобретени повьшение экономичности способа.за счет уменьшени износа измерительного электрода, и снижени рабочих напр )1Гений и токов и Q повышение точности измерений.
На чертеже приведена обща схема устройства дл реализации предложенного способа.
Устройство содержит измерительный (вспомогательный) электрод 1, диэлектрический барьер 2, контролируемую поверхность 3, источник высокого переменного напр жени , 4, регул тор 5 напр жени и измеритель 6 высокого напр жени .
Предложенньй способ осуществл етс следующим образом.
Измерительный электрод 1 отдел етс от разр дного промежутка диэлектрическим барьером 2. На электрод 1 подаетс переменное напр жение, которое повышают до возникновени незавершенного стримерного пробо ме сду контролируемой поверхностью 3 и поверхностью барьера 2, обращенной к контролируемой поверхности. Указанный пробой вл етс незавершенным потому, что капал пробо , начинающийс на контролируемой поверхности 3, не достигает электрода 1, а прерываетс барьером 2 и заканчиваетс на его поверхности , обращенной к контролируемой поверхности 3. В момент возникновени пробо фиксируетс напр жение начала разр да UH.P и по нему с помощью градуировочной кривой U.n f(T) определ етс температура Т контролируемой поверхности. Согласно предла- гаемому способу необходимым вл етс условие однородности электрического пол в разр дном промежутке между барьером 2 и контролируемой поверхностью 3, Требуема однородность электрического пол достигаетс ром формы электрода 1 и барьера 2, типом материала, толщиной, специаль15220474
ной обработкой барьера 2 и т.д. Однородность пол обеспечивает развитие стримера до перекрыти им всего промежутка между поверхностью 3 и Варье- ром 2 после зарождени его в наиболее гор чей зоне разр дного промежутка, т.е. на контролируемой поверхности 3. Тем самым обеспечиваетс однозначность св зи напр жени начала незавершенного стримерного разр да с температурой контролируемой поверхности при неизменном давлении газовой среды в разр дном промежутке.
Температура поверхности диэлектрического барьера 2 и среды в разр дном промежутке не должна превышать температуру контролируемой поверхности . В противном случае тер етс однозначность св зи и„п f(T).
30
35
40
45
50
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ измерени температуры поверхности электропроводных тел, за- ключающийс в том, что вблизи контролируемой поверхности на фиксированном рассто нии от нее размещают измерительный электрод, прикладывают к ним электрическое напр жение, создава при этом однородное электрическое поле, напр женность которого повышают до возникновени электрического пробо среды, и в момент пробо среды измер ют приложенное напр жение , по величине которого определ ют измер емую температуру, о т л и- чающийс тем, что, с целью повьшени экономичности и точности, измерительный электрод до. подачи напр жени отдел ют от среды и контролируемой поверхности слоем диэлектрика , к электроду и контролируемой поверхности прикладывают переменное напр жение , а однородное электрическое поле создают в промежутке между диэлектриком и контролируемой поверхностью , при.этом температура поверхности диэлектрика и среды в промежутке между диэлектриком и контролируемой поверхностью не должна превьпнать температуру контролируемой поверхности.505050Формула изобретениСпособ измерени температуры поверхности электропроводных тел, за- ключающийс в том, что вблизи контролируемой поверхности на фиксированном рассто нии от нее размещают измерительный электрод, прикладывают к ним электрическое напр жение, создава при этом однородное электрическое поле, напр женность которого повышают до возникновени электрического пробо среды, и в момент пробо среды измер ют приложенное напр жение , по величине которого определ ют измер емую температуру, о т л и- чающийс тем, что, с целью повьшени экономичности и точности, измерительный электрод до. подачи напр жени отдел ют от среды и контролируемой поверхности слоем диэлектрика , к электроду и контролируемой поверхности прикладывают переменное напр жение , а однородное электрическое поле создают в промежутке между диэлектриком и контролируемой поверхностью , при.этом температура поверхности диэлектрика и среды в промежутке между диэлектриком и контролируемой поверхностью не должна превьпнать температуру контролируемой поверхности.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874293817A SU1522047A1 (ru) | 1987-08-04 | 1987-08-04 | Способ измерени температуры поверхности электропроводных тел |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874293817A SU1522047A1 (ru) | 1987-08-04 | 1987-08-04 | Способ измерени температуры поверхности электропроводных тел |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1522047A1 true SU1522047A1 (ru) | 1989-11-15 |
Family
ID=21323085
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874293817A SU1522047A1 (ru) | 1987-08-04 | 1987-08-04 | Способ измерени температуры поверхности электропроводных тел |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1522047A1 (ru) |
-
1987
- 1987-08-04 SU SU874293817A patent/SU1522047A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 498515, кл. G 01 К 7/40, 1976. Авторское свидетельство СССР № 1377620, кл. G 01 К 7/40, 1986. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5872694A (en) | Method and apparatus for determining wafer warpage for optimized electrostatic chuck clamping voltage | |
US4286215A (en) | Method and apparatus for the contactless monitoring carrier lifetime in semiconductor materials | |
KR19990087819A (ko) | 플라즈마 처리장치 | |
DE3474853D1 (en) | Apparatus and process for the dynamic contactless measuring of small distances | |
CN109239434B (zh) | 表面电位在线监测的测量装置 | |
US2859407A (en) | Method and device for measuring semiconductor parameters | |
SU1522047A1 (ru) | Способ измерени температуры поверхности электропроводных тел | |
US3075902A (en) | Jet-electrolytic etching and measuring method | |
JP3353391B2 (ja) | 荷電粒子ビーム照射装置 | |
SU1013836A1 (ru) | Способ определени релаксационных переходов в полимерных материалах | |
SU1312464A1 (ru) | Способ прецизионного измерени контактной разности потенциалов при помощи статического конденсатора | |
SU834486A1 (ru) | Способ обнаружени поверхностныхдЕфЕКТОВ B элЕКТРОпРОВОдНыХ издЕли Х | |
CN111238669B (zh) | 用于半导体射频处理装置的温度测量方法 | |
JPS57108264A (en) | Operating method for electrostatic adsorbing device | |
SU1320728A1 (ru) | Вихретоковое устройство дл контрол изделий с ограниченным доступом к зоне контрол | |
SU1326914A1 (ru) | Устройство дл измерени гидростатического давлени | |
SU1377620A1 (ru) | Способ измерени температуры электропроводной поверхности | |
SU426252A1 (ru) | Способ определения электрической прочности магнитоуправляемых контактов | |
SU1317275A1 (ru) | Способ контрол геометрических параметров диэлектрических объектов | |
SU1232936A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени рассто ний | |
SU1569593A1 (ru) | Способ определени температуры поверхности электропроводного тела | |
SU1396030A1 (ru) | Устройство дл измерени диэлектрических параметров твердых электроизол ционных материалов | |
SU1531031A1 (ru) | Способ измерени поверхностной плотности зар да электрета | |
SU808834A1 (ru) | Способ измерени шероховатостипОВЕРХНОСТи | |
JPS578464A (en) | Layer short circuit detecting device of electric winding |