SU1516916A1 - Устройство дл рентгеновского фазового анализа - Google Patents
Устройство дл рентгеновского фазового анализа Download PDFInfo
- Publication number
- SU1516916A1 SU1516916A1 SU874351124A SU4351124A SU1516916A1 SU 1516916 A1 SU1516916 A1 SU 1516916A1 SU 874351124 A SU874351124 A SU 874351124A SU 4351124 A SU4351124 A SU 4351124A SU 1516916 A1 SU1516916 A1 SU 1516916A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ray
- monochromator
- focus
- anode
- intersect
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к рентгеновскому приборостроению и может использоватьс дл фазового анализа материалов. Цель изобретени - повышение чувствительности при сохранении возможности применени дл исследовани различных по размерам образцов и изделий. Дл этого параллельно аноду 2 рентгеновской трубки 1 встроен монохроматор 4 с отверстием 5 дл прохождени электронов. Сформированные монохроматором 4 пучки падают на образец 10 и эталон 12, а диафрагированные ими пучки регистрируютс позиционно-чувствительным детектором 16 в соответствии с двум симметричными схемами фокусировки по Зееману-Болину. Соответствующие фокусирующие окружности 18 и 19 пересекаютс в мнимом фокусе F1 оптической системы, образованной фокусом F анода 2 и монохроматором 4, и пересекают рабочую поверхность детектора 16. 1 ил.
Description
151
Изобретение относитс к области рентгеновского приборостроени и кюжет использоватьс дл фазового анализа материалов,
Цель изобретени - повышение чувствительности при сохранении возможности применени дп исследовани различных по размерам образцов и изделий.
На чертеже показана схема устройства дл рентгеновского фазового анализа.«
Устройство содержит рентгеновскую трубку 1 с анодом 2,- катодом 3, встроенным между Н1|ми монохромато- ром 4 с отверстием 5 дл прохода эле тронного пучка на анод 2, расположенным параллельно аноду 2 и симметрично относительно электронного пучка, и двум выходными окнами 6 и 7, р до с которыми установлены шторки 8 и 9 дл экранировани рентгеновского излучени , проход щего через окна 6 и 7 непосредственно от фокуса F анода 2. Образец 10 установлен на держателе 11, а эталон 12 - на держателе 13 с возможностью перемещени посредством приводов 14 и 15. Держатели И и 13 снабжены, как обычно, базовыми поверхност ми. Позидионно- чувствительный детектор 16, к которому подключен блок 17 обработки, установлен на пути дифрагированного образцом 10 и эталоном 12 излуче- ни . При этом образец 10, позицион- но-чувствительный детектор 16 и мнимый фокус F оптической системы, образованной фокусом F анода 2 рентгновской трубки 1 и монохроматором 4, расположены на фокусирующей окружности 18, а эталон 12, детектор 16 и мнимый фокус F - на фокусирующей окружности 19, реализуют две симметричные схемы фокусировки по Зееману- Болину. Устройство может содержать также защитный корпус 20,
Устройство дл рентгеновского фазового анализа работает следующим образом.
Рентгеновское излучение из фокуса F анрда 2 рентгеновской трубки монохроматизируетс мохроматором 4 и в виде двух монохроматических пучков выходит через окна 6 и 7, падает на эталон 12 и образец 10, дифрагируетс на них и направл етс на пози днонно-чувствительный детектор 16, сигналы которого обрабатываютс блок
17. Посредством Приводов 15 и 14 эталон 12 и образец 10 можно настроить на другие углы дифракции.
Использование двух симметричн||К схем фокусировки по Зееману-Болину дл образца 10 и эталона 12 позвол ет повысить чувствительность фазового анализа вследствие более высокой светосилы устройства. При этом такое размещение элементов устройства позвол ет сохранить его компактность и возможность исследовани образцов весьма различных размеров или производить исследовани непосредственно на издели х вследствие возможности приставлени устройства к изделию или большераз«- мерному образцу в соответствии с базовой поверхностью, выполненной в устройстве. Предлагаемое устройство может использоватьс , например, при контроле остаточного аустенита в стал х.
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл рентгеновского фазового анализа, содержащее рент геновскую трубку, средство формировани двух пучков рентгеновского излучени , держатель образца или средство креплени устройства на издели с базовой плоскостью на пути одного пучка рентгеновского излучени держатель эталона с базовой плоскост на пути другого пучка рентгеновского излучени , позиционно-чувствительный детектор на пути дифрагированного излучени ,отличающеес тем, что, с целью повышени чувствительности при сохранении возможности применени дл исследовани различных по размерам образцов и изделий, средство формировани двух пучков рентгеновского излучени выполнено в виде встроенного в рентгеновскую трубку между анодом и катодом монохро матора, снабженного отверстием дл прохождени электронного пучка и расположенного параллельно поверхности анода, причем фокус оптической системы, образованной монохроматором и фокусом рентгеновской трубки, базова плоскость держател образца или средства креплени устройства на изделии, базова плоскость держател эталона и позиционно-чувствительный детектор расположены на двух фокуси 1516916вруюп1их окружност х, пересекающихс чую поверхность позиционно-чувст и- в мнимом фокусе и пересекающих рабо- тельного детектора.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874351124A SU1516916A1 (ru) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | Устройство дл рентгеновского фазового анализа |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874351124A SU1516916A1 (ru) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | Устройство дл рентгеновского фазового анализа |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1516916A1 true SU1516916A1 (ru) | 1989-10-23 |
Family
ID=21345337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874351124A SU1516916A1 (ru) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | Устройство дл рентгеновского фазового анализа |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1516916A1 (ru) |
-
1987
- 1987-12-29 SU SU874351124A patent/SU1516916A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Русаков А.А.Рентгенографи металлов. Ч. II, М., МИФИ, 1969, с. 46-49. Авторское свидетельство СССР 127133, кл. G 01 N 23/20, 1959. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6038280A (en) | Method and apparatus for measuring the thicknesses of thin layers by means of x-ray fluorescence | |
US5373544A (en) | X-ray diffractometer | |
JP3621434B2 (ja) | 選択x線帯域を集束させる精密凹型モノクロメータを含む製品 | |
US6359964B1 (en) | X-ray analysis apparatus including a parabolic X-ray mirror and a crystal monochromator | |
US8548123B2 (en) | Method and apparatus for using an area X-ray detector as a point detector in an X-ray diffractometer | |
EP1445604B1 (en) | Apparatus and method for x-ray analysis | |
ES2022595B3 (es) | Procedimiento para el analisis de particulas metalicas | |
JPH11502025A (ja) | 同時x線回折及びx線蛍光測定のための装置 | |
JPH07325052A (ja) | 走査及び高分解能電子分光及び撮像装置 | |
US4078175A (en) | Apparatus for use in examining the lattice of a semiconductor wafer by X-ray diffraction | |
US7436934B2 (en) | Collimator with adjustable focal length | |
US7321652B2 (en) | Multi-detector EDXRD | |
US5446777A (en) | Position-sensitive X-ray analysis | |
JPH06258260A (ja) | X線回折装置 | |
SU1516916A1 (ru) | Устройство дл рентгеновского фазового анализа | |
US5898752A (en) | X-ray analysis apparatus provided with a double collimator mask | |
WO2000055608A3 (en) | Method and apparatus for the analysis of material composition | |
GB2056056A (en) | Detection or particles containing predominantly low atomic number nuclei | |
EP0091884A2 (en) | Fluorescence laser exafs | |
JP4051427B2 (ja) | 光電子分光装置及び表面分析法 | |
Ko et al. | Development of a second generation scanning photoemission microscope with a zone plate generated microprobe at the National Synchrotron Light Source | |
EP1097373A2 (en) | X-ray diffraction apparatus with an x-ray optical reference channel | |
JP3860641B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
US3099743A (en) | Combined electron probe microanalyzer and x-ray diffraction instrument | |
JP2525791B2 (ja) | 反射電子エネルギ−損失微細構造測定方法 |