SU1516916A1 - Устройство дл рентгеновского фазового анализа - Google Patents

Устройство дл рентгеновского фазового анализа Download PDF

Info

Publication number
SU1516916A1
SU1516916A1 SU874351124A SU4351124A SU1516916A1 SU 1516916 A1 SU1516916 A1 SU 1516916A1 SU 874351124 A SU874351124 A SU 874351124A SU 4351124 A SU4351124 A SU 4351124A SU 1516916 A1 SU1516916 A1 SU 1516916A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
ray
monochromator
focus
anode
intersect
Prior art date
Application number
SU874351124A
Other languages
English (en)
Inventor
Ольга Борисовна Баженова
Тамара Васильевна Байдюк
Ольга Владимировна Утенкова
Евгений Федорович Сидохин
Геннадий Николаевич Петров
Геннадий Васильевич Щербединский
Геннадий Анатольевич Щукин
Original Assignee
Организация П/Я Х-5263
Центральный научно-исследовательский институт черной металлургии им.И.П.Бардина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Организация П/Я Х-5263, Центральный научно-исследовательский институт черной металлургии им.И.П.Бардина filed Critical Организация П/Я Х-5263
Priority to SU874351124A priority Critical patent/SU1516916A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1516916A1 publication Critical patent/SU1516916A1/ru

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к рентгеновскому приборостроению и может использоватьс  дл  фазового анализа материалов. Цель изобретени  - повышение чувствительности при сохранении возможности применени  дл  исследовани  различных по размерам образцов и изделий. Дл  этого параллельно аноду 2 рентгеновской трубки 1 встроен монохроматор 4 с отверстием 5 дл  прохождени  электронов. Сформированные монохроматором 4 пучки падают на образец 10 и эталон 12, а диафрагированные ими пучки регистрируютс  позиционно-чувствительным детектором 16 в соответствии с двум  симметричными схемами фокусировки по Зееману-Болину. Соответствующие фокусирующие окружности 18 и 19 пересекаютс  в мнимом фокусе F1 оптической системы, образованной фокусом F анода 2 и монохроматором 4, и пересекают рабочую поверхность детектора 16. 1 ил.

Description

151
Изобретение относитс  к области рентгеновского приборостроени  и кюжет использоватьс  дл  фазового анализа материалов,
Цель изобретени  - повышение чувствительности при сохранении возможности применени  дп  исследовани  различных по размерам образцов и изделий.
На чертеже показана схема устройства дл  рентгеновского фазового анализа.«
Устройство содержит рентгеновскую трубку 1 с анодом 2,- катодом 3, встроенным между Н1|ми монохромато- ром 4 с отверстием 5 дл  прохода эле тронного пучка на анод 2, расположенным параллельно аноду 2 и симметрично относительно электронного пучка, и двум  выходными окнами 6 и 7, р до с которыми установлены шторки 8 и 9 дл  экранировани  рентгеновского излучени , проход щего через окна 6 и 7 непосредственно от фокуса F анода 2. Образец 10 установлен на держателе 11, а эталон 12 - на держателе 13 с возможностью перемещени  посредством приводов 14 и 15. Держатели И и 13 снабжены, как обычно, базовыми поверхност ми. Позидионно- чувствительный детектор 16, к которому подключен блок 17 обработки, установлен на пути дифрагированного образцом 10 и эталоном 12 излуче- ни . При этом образец 10, позицион- но-чувствительный детектор 16 и мнимый фокус F оптической системы, образованной фокусом F анода 2 рентгновской трубки 1 и монохроматором 4, расположены на фокусирующей окружности 18, а эталон 12, детектор 16 и мнимый фокус F - на фокусирующей окружности 19, реализуют две симметричные схемы фокусировки по Зееману- Болину. Устройство может содержать также защитный корпус 20,
Устройство дл  рентгеновского фазового анализа работает следующим образом.
Рентгеновское излучение из фокуса F анрда 2 рентгеновской трубки монохроматизируетс  мохроматором 4 и в виде двух монохроматических пучков выходит через окна 6 и 7, падает на эталон 12 и образец 10, дифрагируетс  на них и направл етс  на пози днонно-чувствительный детектор 16, сигналы которого обрабатываютс  блок
17. Посредством Приводов 15 и 14 эталон 12 и образец 10 можно настроить на другие углы дифракции.
Использование двух симметричн||К схем фокусировки по Зееману-Болину дл  образца 10 и эталона 12 позвол ет повысить чувствительность фазового анализа вследствие более высокой светосилы устройства. При этом такое размещение элементов устройства позвол ет сохранить его компактность и возможность исследовани  образцов весьма различных размеров или производить исследовани  непосредственно на издели х вследствие возможности приставлени  устройства к изделию или большераз«- мерному образцу в соответствии с базовой поверхностью, выполненной в устройстве. Предлагаемое устройство может использоватьс , например, при контроле остаточного аустенита в стал х.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Устройство дл  рентгеновского фазового анализа, содержащее рент геновскую трубку, средство формировани  двух пучков рентгеновского излучени , держатель образца или средство креплени  устройства на издели  с базовой плоскостью на пути одного пучка рентгеновского излучени  держатель эталона с базовой плоскост на пути другого пучка рентгеновского излучени , позиционно-чувствительный детектор на пути дифрагированного излучени ,отличающеес  тем, что, с целью повышени  чувствительности при сохранении возможности применени  дл  исследовани  различных по размерам образцов и изделий, средство формировани  двух пучков рентгеновского излучени  выполнено в виде встроенного в рентгеновскую трубку между анодом и катодом монохро матора, снабженного отверстием дл  прохождени  электронного пучка и расположенного параллельно поверхности анода, причем фокус оптической системы, образованной монохроматором и фокусом рентгеновской трубки, базова  плоскость держател  образца или средства креплени  устройства на изделии, базова  плоскость держател  эталона и позиционно-чувствительный детектор расположены на двух фокуси 1516916в
    руюп1их окружност х, пересекающихс  чую поверхность позиционно-чувст и- в мнимом фокусе и пересекающих рабо- тельного детектора.
SU874351124A 1987-12-29 1987-12-29 Устройство дл рентгеновского фазового анализа SU1516916A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874351124A SU1516916A1 (ru) 1987-12-29 1987-12-29 Устройство дл рентгеновского фазового анализа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874351124A SU1516916A1 (ru) 1987-12-29 1987-12-29 Устройство дл рентгеновского фазового анализа

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1516916A1 true SU1516916A1 (ru) 1989-10-23

Family

ID=21345337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874351124A SU1516916A1 (ru) 1987-12-29 1987-12-29 Устройство дл рентгеновского фазового анализа

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1516916A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Русаков А.А.Рентгенографи металлов. Ч. II, М., МИФИ, 1969, с. 46-49. Авторское свидетельство СССР 127133, кл. G 01 N 23/20, 1959. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6038280A (en) Method and apparatus for measuring the thicknesses of thin layers by means of x-ray fluorescence
US5373544A (en) X-ray diffractometer
JP3621434B2 (ja) 選択x線帯域を集束させる精密凹型モノクロメータを含む製品
US6359964B1 (en) X-ray analysis apparatus including a parabolic X-ray mirror and a crystal monochromator
US8548123B2 (en) Method and apparatus for using an area X-ray detector as a point detector in an X-ray diffractometer
EP1445604B1 (en) Apparatus and method for x-ray analysis
ES2022595B3 (es) Procedimiento para el analisis de particulas metalicas
JPH11502025A (ja) 同時x線回折及びx線蛍光測定のための装置
JPH07325052A (ja) 走査及び高分解能電子分光及び撮像装置
US4078175A (en) Apparatus for use in examining the lattice of a semiconductor wafer by X-ray diffraction
US7436934B2 (en) Collimator with adjustable focal length
US7321652B2 (en) Multi-detector EDXRD
US5446777A (en) Position-sensitive X-ray analysis
JPH06258260A (ja) X線回折装置
SU1516916A1 (ru) Устройство дл рентгеновского фазового анализа
US5898752A (en) X-ray analysis apparatus provided with a double collimator mask
WO2000055608A3 (en) Method and apparatus for the analysis of material composition
GB2056056A (en) Detection or particles containing predominantly low atomic number nuclei
EP0091884A2 (en) Fluorescence laser exafs
JP4051427B2 (ja) 光電子分光装置及び表面分析法
Ko et al. Development of a second generation scanning photoemission microscope with a zone plate generated microprobe at the National Synchrotron Light Source
EP1097373A2 (en) X-ray diffraction apparatus with an x-ray optical reference channel
JP3860641B2 (ja) 蛍光x線分析装置
US3099743A (en) Combined electron probe microanalyzer and x-ray diffraction instrument
JP2525791B2 (ja) 反射電子エネルギ−損失微細構造測定方法