SU1507132A1 - Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы - Google Patents

Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы

Info

Publication number
SU1507132A1
SU1507132A1 SU4289640/25A SU4289640A SU1507132A1 SU 1507132 A1 SU1507132 A1 SU 1507132A1 SU 4289640/25 A SU4289640/25 A SU 4289640/25A SU 4289640 A SU4289640 A SU 4289640A SU 1507132 A1 SU1507132 A1 SU 1507132A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
carbon
protecting
atmosphere
oxide
containing components
Prior art date
Application number
SU4289640/25A
Other languages
English (en)
Inventor
В.М. Елисеев
Original Assignee
Новосибирский государственный университет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Новосибирский государственный университет filed Critical Новосибирский государственный университет
Priority to SU4289640/25A priority Critical patent/SU1507132A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1507132A1 publication Critical patent/SU1507132A1/ru

Links

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы, включающий снятие окисла во фтористоводородной кислоте и формирования защитного окисла в растворе, содержащем соляную кислоту, перекись водорода и воду в соотношении 3 : 1 : 1, отличающийся тем, что, с целью снижения уровня углеродных загрязнений в защитном окисле, после снятия окисла во втористоводородной кислоте образец кремния обрабатывают электрохимически в водном растворе соляной кислоты в соотношении 1 : 3 в течение 45 - 60 мин, причем образец кремния используют в качестве катода, при плотности тока на образце 50 - 100 мА/см, после электрохимической обработки в раствор добавляют перекись водорода и в этом растворе формируют защитный окисел.
SU4289640/25A 1987-06-30 1987-06-30 Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы SU1507132A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4289640/25A SU1507132A1 (ru) 1987-06-30 1987-06-30 Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4289640/25A SU1507132A1 (ru) 1987-06-30 1987-06-30 Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1507132A1 true SU1507132A1 (ru) 1999-11-20

Family

ID=60526895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4289640/25A SU1507132A1 (ru) 1987-06-30 1987-06-30 Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1507132A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Damjanovic et al. The role of hydrogen peroxide in oxygen reduction at platinum in H 2 SO 4 solution
JPS57205970A (en) Electrode employing fixed hemprotein
WO1988004336A3 (fr) Traitement electrochimique de fibres de carbone
SU1507132A1 (ru) Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы
ES2077678T3 (es) Procedimiento para el tratamiento de agua y aparato para el mismo.
SE8207489D0 (sv) Selektiva borttagningsmedel innehallande peroxid och metod for borttagning
ATE32106T1 (de) Verfahren zur herstellung von aktivem aluminiumoxyd.
JPS5576094A (en) Surface treating method of magnesium or its alloy
GB2006514A (en) Electric cells
JPS6449272A (en) Manufacture of semiconductor device
Hampson et al. Cathodic polarization of pure iron in concentrated alkaline solution
GB1431231A (en) Method of growing oxide layers on ii-v semiconductor compounds
JPS5522868A (en) Removing method for semiconductor crystal break-down layer
JPS565183A (en) Treatment of waste water by ozone containing hydrogen peroxide
JPH11130467A (ja) 合成石英ガラス治具用エッチング処理液およびそれを用いたエッチング方法
DE3878366D1 (de) Verfahren zur herstellung von imidazolidinonen und oxazolidinonen.
JPS52149295A (en) Protecting method for electrolytic bath
JPS55121844A (en) Method for oxidation of sulfur ion therefor
ES2005573A6 (es) Un procedimiento para preparar un complejo de aluminio-hidrogeno-oxigeno
JPS5756941A (en) Evaluation method for defect of thin insulating film
SU1593513A1 (ru) Способ предэпитаксиальной очистки пластин арсенида галлия
JPS5367960A (en) Method of treating orgaic waste water
Yushina et al. Electrochemical Behaviour of the Interface Between a Copper Anode and a Copper-Conducting Solid Electrolyte
GB878441A (en) Method of treating the surface of semi-conductor elements
JPS563700A (en) Solder exfoliation electrolyte