SU1504485A1 - Датчик дл измерени шероховатости - Google Patents

Датчик дл измерени шероховатости Download PDF

Info

Publication number
SU1504485A1
SU1504485A1 SU884389089A SU4389089A SU1504485A1 SU 1504485 A1 SU1504485 A1 SU 1504485A1 SU 884389089 A SU884389089 A SU 884389089A SU 4389089 A SU4389089 A SU 4389089A SU 1504485 A1 SU1504485 A1 SU 1504485A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
piezoelectric element
measuring tip
measuring
roughness
sensor
Prior art date
Application number
SU884389089A
Other languages
English (en)
Inventor
Марк Абрамович Гликсон
Владимир Александрович Иванов
Original Assignee
Пермский политехнический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Пермский политехнический институт filed Critical Пермский политехнический институт
Priority to SU884389089A priority Critical patent/SU1504485A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1504485A1 publication Critical patent/SU1504485A1/ru

Links

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  шероховатости и управлени  процессом обработки деталей. Целью изобретени   вл етс  повышение точности и надежности измерений за счет использовани  пьезоэлектрического возбудител  колебаний измерительного наконечника. В исходном состо нии пьезоэлемент 4 арретирует измерительный наконечник 10. При измерении на контакты 11 подают сигналы, частота которых зависит от шага дискретизации. При этом измерительный наконечник 10 вводитс  в кратковременный контакт с деталью 13 и обеспечивает преобразование шероховатости ее поверхности в деформацию пьезоэлемента 8 и в соответствующие электрические сигналы. 1 ил.

Description

СП О 4: 00 ел
3150
Итобретепио очноситс  к измери- тельний технике и может использовано дл  измерени  шерохопатоети и уир.тплсни  процессом ббработки ;;е- т а л eft .
Цель изобретени  - повьиаение точности и надежиосш измерений.
На чертеже пок.чзана схема датчика дл  измерени  шерохопатоети.
Датчик содержит корпус 1 с опорой 2, упругую систему, вьпюлненную в виде заключенного в упругую оболоч-. ку 3 пьезоэлемента 4 брусковой формы конспльно закрепленного на корпусе 1 посредством узла регулировки жесткости , выполненого в виде колец 5 и 6 из упругого материала и винта 7 их креплени  и регулировани  упругости колебательно-измерительной системы, пьезоэлемент 8, закрепленный на свободном конце пьезоэлемента 4, выполненного , например, в виде диска, закрепленного на нем держател  9 с измерительным наконечником 10, контак- ты 11 дл  подключени  генератора сигналов и токосъемники 12 дл  подключени  электронных блоков. Оболочка 3 предохран ет пьезоэлемент от воздействи  технологических жидкостей.
Датчик работает следующим образом .
В исходном состо нии на контакты 11 не подаютс  сигналы с генератора и пьезоэлемент 4 в качестве арретира удерживает измерительный наконечник 10 на рассто нии от измер емой детали 13. При измерении на контакты 11 подают сигналы, частота которых зависит от шага дискретизации. Под дей сгнием этих сигналов пьезоэлемент 4 приводит в колебательное движение с заданной час1отой и амплитудой пьезоэлемент 8. При этом измеритель
.1
ный накс нечник 10 вводитс  в кратко- оременньи контакт с деталью 13 и обеспечивает преобразование шероховатое и 1юве1)хности детали 13 в деформацию пьезоэлемента 8 и в элекп-ричес кие сигналы, KOTOpi)ie через токосъемники 12 поступают в электронные блоки дл  регистрации и управлени  процессом обработки детали 13.
Пьезоэлемент 4 уменьшает отбрасывание измерительного наконечника 10 от детали 13 при высоких скорост х их относительного движени . Пьезоэлемент 4 может выполн тьс  биморф- ным с низкой механической жесткостью и ВЫСОКОЙ частотой собственных колебаний . Объединение колебательной и измерительной систем обеспечивает компактность конструкции датчика.
Ф о р м у л
изобретени 
Датчик дл  измерени  шероховатости , содержащий корпус и размещенные в нем упругую систем , выполненную в виде заключенного н упругую оболочку пьезоэлемента брусковой (})ормы, кон- еольно закрепленного па корпусе посредством узла регулировки жесткости, выпо;п1еного в виде набора колец из упругого материала, расположенных по обе стороны пьезоэлемента, и винта их креплени , и св занный с пьезоэлемен- том измерительный наконечник, о т - л и ч а ю щ и и с   leM, что, с целью повышени  точЕюсти и надежности измерений, он снабжен генератором сигналов , подключенным к п 1езоэлементу, и дополнительным пьезоэлементом, закрепленным на свободном конце пьезоэлемента брусковой формы, а измерительный наконечник закреплен на дополнительном пьезочломеите.
Редактор Л.Дг линич
Составитель В.Харитонов
Техред М.Ходанич Корректор М.Иочч,Заказ 52 9/40
Тираж 683
ВНИИГШ 1 осударственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113П35, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/ S
Подписное

Claims (1)

  1. Фо р м у л а датчика
    Датчик для измерения шероховатости, содержащий корпус в нем упругую систему, виде заключенного пьезоэлемента брусковой формы сольно закрепленного на и размещенные выполненную в в упругую оболочку , конкорпус е посредством узла регулировки жесткости, вьшолненого в виде набора колец из упругого материал·!, расположенных по обе стороны пьезоэлемента, и винта их крепления, и связанный с пьезоэлементом измерительный наконечник л и ч а ю щ и й с повышения , о т я тем, что, с цеи надежности генератором сигпьезоэлементу, заточности снабжен лью измерений, он налов, подключенным к и дополнительным пьезоэлементом, крепленным на свободном конце пьезоэлемента брусковой формы, а измерительный наконечник закреплен на дополнительном пьезоэлементе.
SU884389089A 1988-01-25 1988-01-25 Датчик дл измерени шероховатости SU1504485A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884389089A SU1504485A1 (ru) 1988-01-25 1988-01-25 Датчик дл измерени шероховатости

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884389089A SU1504485A1 (ru) 1988-01-25 1988-01-25 Датчик дл измерени шероховатости

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1504485A1 true SU1504485A1 (ru) 1989-08-30

Family

ID=21359950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884389089A SU1504485A1 (ru) 1988-01-25 1988-01-25 Датчик дл измерени шероховатости

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1504485A1 (ru)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5253516A (en) * 1990-05-23 1993-10-19 Digital Instruments, Inc. Atomic force microscope for small samples having dual-mode operating capability
US5266801A (en) * 1989-06-05 1993-11-30 Digital Instruments, Inc. Jumping probe microscope
US5345815A (en) * 1991-01-04 1994-09-13 Board Of Trustees, Leland Stanford Jr. University Atomic force microscope having cantilever with piezoresistive deflection sensor
US5412980A (en) * 1992-08-07 1995-05-09 Digital Instruments, Inc. Tapping atomic force microscope
US5423207A (en) * 1993-12-27 1995-06-13 International Business Machines Corporation Advanced PZT glide head design and implementation for a small slider
US5488857A (en) * 1991-11-22 1996-02-06 Hitachi Electronic Engineering Co., Ltd. Protrusion sensor for sensing protrusion on a disc
US5666190A (en) * 1994-04-12 1997-09-09 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Method of performing lithography using cantilever array
US5742377A (en) * 1994-04-12 1998-04-21 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Cantilever for scanning probe microscope including piezoelectric element and method of using the same
US5883705A (en) * 1994-04-12 1999-03-16 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Atomic force microscope for high speed imaging including integral actuator and sensor
US6000947A (en) * 1994-04-12 1999-12-14 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. Method of fabricating transistor or other electronic device using scanning probe microscope
US6075585A (en) * 1994-04-12 2000-06-13 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Vibrating probe for a scanning probe microscope

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 990484, кл. В 24 В 49/10, 1980. *

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5266801A (en) * 1989-06-05 1993-11-30 Digital Instruments, Inc. Jumping probe microscope
US5415027A (en) * 1989-06-05 1995-05-16 Digital Instruments, Inc. Jumping probe microscope
US5253516A (en) * 1990-05-23 1993-10-19 Digital Instruments, Inc. Atomic force microscope for small samples having dual-mode operating capability
US5345815A (en) * 1991-01-04 1994-09-13 Board Of Trustees, Leland Stanford Jr. University Atomic force microscope having cantilever with piezoresistive deflection sensor
US5595942A (en) * 1991-01-04 1997-01-21 The Leland Stanford Junior University Method of fabricating cantilever for atomic force microscope having piezoresistive deflection detector
US5488857A (en) * 1991-11-22 1996-02-06 Hitachi Electronic Engineering Co., Ltd. Protrusion sensor for sensing protrusion on a disc
US5412980A (en) * 1992-08-07 1995-05-09 Digital Instruments, Inc. Tapping atomic force microscope
US5423207A (en) * 1993-12-27 1995-06-13 International Business Machines Corporation Advanced PZT glide head design and implementation for a small slider
US5666190A (en) * 1994-04-12 1997-09-09 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Method of performing lithography using cantilever array
US5742377A (en) * 1994-04-12 1998-04-21 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Cantilever for scanning probe microscope including piezoelectric element and method of using the same
US5883705A (en) * 1994-04-12 1999-03-16 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Atomic force microscope for high speed imaging including integral actuator and sensor
US6000947A (en) * 1994-04-12 1999-12-14 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. Method of fabricating transistor or other electronic device using scanning probe microscope
US6075585A (en) * 1994-04-12 2000-06-13 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Vibrating probe for a scanning probe microscope

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1504485A1 (ru) Датчик дл измерени шероховатости
KR940006232A (ko) 프로우브 장치
US7352271B2 (en) Probe and contour measuring instrument
US7543519B2 (en) Device for high-precision generation and measurement of forces and displacements
Boynton et al. A new high accuracy instrument for measuring moment of inertia and center of gravity
US4967601A (en) Viscoelasticity measuring apparatus
US4905519A (en) Interferometric vibration sensor
US5301540A (en) Probe for measuring the viscosity of liquids
Uhlendorf et al. Ultrasonic absorption and velocity measurements at mW peak power level in the range 50-500 MHz with variable pathlength cell
SU1205073A1 (ru) Устройство дл измерени пьезомодул
SU611123A1 (ru) Устройство дл определени нат жени нити
SU1260732A1 (ru) Электронный твердомер
US3714561A (en) A transducer for measuring the displacement of an electrically conductive objective
US6513387B1 (en) Acceleration compensated pressure measuring instrument
RU2075048C1 (ru) Пьезоэлектрический вибропреобразователь
SU1425490A1 (ru) Датчик давлени
US3160014A (en) Pressure transducer
GB818345A (en) Improvements in or relating to the measurement of surface texture and apparatus therefor
SU602826A1 (ru) Вибрационный вискозиметр
SU930017A1 (ru) Устройство дл измерени амплитуды вибрации
SU131896A1 (ru) Устройство дл непрерывного контрол диаметра тонкой проволоки
SU1691693A1 (ru) Датчик давлени
SU1670518A1 (ru) Устройство дл триботехнических испытаний материалов в услови х вибрации
ATE119273T1 (de) Messvorrichtung zur überprüfung der masse eines werkstückes.
SU855416A1 (ru) Электроконтактный датчик дл определени характеристик упругих чувствительных элементов