SU1499196A1 - СВЧ-эллипсометр - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к технике измерений на СВЧ. Цель изобретени  - уменьшение габаритов и веса. СВЧ-эллипсометр содержит СВЧ-г-р 1, волноводно-лучевые переходы (ВЛП) 2, пол ризатор 3, держатель образца (ДО) 4, выполненный в виде уголкового поворота на базе круглого диэлектрического лучевода с повышенными потер ми, образующего аттенюатор 5 в канале падающей волны и аттенюатор 6 в канале отраженной волны, пол ризационный делитель 7, СВЧ-детекторы 8, у-ли 9, измеритель 10 отношени , индикатор 11, исследуемый образец 12 с измер емой пленкой. Дл  достижени  цели аттенюаторы включены соответственно между пол ризатором 3 и ДО 4, ДО 4 и пол ризационным делителем 7, конструктивно объединены с ДО 4. В каждом из измерительных каналов сигнал через ВЛП 2 поступает на СВЧ-детекторы 8. Напр жени  с СВЧ-детекторов 8, пропорциональные амплитудам ортогонально пол ризованных составл ющих отраженного от исследуемого образца 12 сигнала, усиливаютс  усилител ми 9 и поступают на входы измерител  10 отношений, сигнал с выхода которого регистрируетс  индикатором 11. 1 ил.

Description

314

Изобретение относитс  к технике измерений на СВЧ и может быть исполь зовано при измерении параметров покрытий , в частности дл  определени  толщины тонких металлических пленок на диэлектрических подложках,непровод щих покрытий на металлах,комплексной диэлектрической проницаемости материалов.

Цель изобретени  - уменьшение габаритов и массы.

На чертеже представлена электрическа  функциональна  схема СВЧ-эллипсометра .

СВЧ-эллипсометр содержит СВЧ-ге- нератор 1, волноводно-лучевые переходы 2, пол ризатор 3, держатель 4 образца, выполненный в виде уголкового поворота на базе круглого ди-. электрического лучевода с повышенными потер ми, образующего аттенюатор 5 в канале падающей волны и аттенюатор 6 в канале отраженной волны, пол ризационный делитель 7, СВЧ-де- текторы 8, усилители 9, измеритель 10 отношени , индикатор 11 и исследуемый образец 12 с измер емой пленкой .

СВЧ-эллипсометр работает следующим образом.

Сверхвысокочастотные электромагнитные колебани , генерируемые СВЧ-генератором 1, через первый вол новодно-лучевой переход 2 и пол ризатор 3, пропускающий компоненту волны заданной пол ризации, например ли нейно пол ризованную, под углом 45° к плоскости падени , ввод тс  в лу- чевод с повышенными погонными потер  ми, образующий аттенюаторы 5 и 6. После отражени  от исследуемого образца 12 пол ризаци  сигнала измен етс . Пол ризационным делителем 7 отраженный сигнал раздел етс  на два

0

5

0

д

5

0

5

с взаимно ортогональной пол ризацией , которые направл ютс  в измерительные каналы. В каждом из измерительных каналов сигнал через волноводно-лучевые переходы 2 поступает на СВЧ-детекторы 8. Напр жени  с СВЧ-детекторов 8, пропорциональные амплитудам ортогонально пол ризованных составл ющих отраженного от исследуемого образца сигнала, усиливаютс  усилител ми 9 и поступают на первый и второй входы измерител  10 отношений, сигнал с выхода которого регистрируетс  индикатором 11.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   СВЧ-эллипсометр, содержащий последовательно соединенные СВЧ-генератор, первый волноводно-лучевой переход, пол ризатор, держатель образца, пол ризационный делитель, второй волноводно-лучевой переход, СВЧ-детектор, первый усилитель, измеритель отношений и индикатор, последовательно соединенные третий волноводно-лучевой переход, св занный с вторым выходом пол ризационного делител , второй СВЧ-детектор и второй усилитель, соединенный с вторым входом измерител  отношений, первый аттенюатор в канале падающей волны и второй аттенюатор в канале отраженной волны, о т л и- чающийс   тем, что, с целью уменьшени  габаритов и массы, первый и второй аттенюаторы включены соответственно между пол ризатором и держателем образца, держателем образца и пол ризационным делителем, конструктивно объединены с держателем образца , вьшолненным в виде уголкового поворота на базе круглого диэлектрического лучевода с повышенными погонными потер ми.