SU1483249A1 - Interference method of determining geometric dimensions of member - Google Patents
Interference method of determining geometric dimensions of member Download PDFInfo
- Publication number
- SU1483249A1 SU1483249A1 SU874321676A SU4321676A SU1483249A1 SU 1483249 A1 SU1483249 A1 SU 1483249A1 SU 874321676 A SU874321676 A SU 874321676A SU 4321676 A SU4321676 A SU 4321676A SU 1483249 A1 SU1483249 A1 SU 1483249A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- white light
- objects
- light
- interference
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, к определению геометрических размеров объектов оптическими методами. Цель изобретени - обеспечение определени размеров прозрачных объектов посредством совместного использовани интерференции в монохроматическом и белом свете. Способ осуществл етс следующим образом. Устанавливают объект измерени в рабочем плече интерферометра, перемещают объект параллельно его оси, фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете, производ т счет интерференционных полос монохроматического излучени , укладывающихс в промежутке между сигналами в белом свете, определ ют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматического излучени . 1 з.п. ф - лы, 2 ил.The invention relates to a measuring technique, to determining the geometrical dimensions of objects by optical methods. The purpose of the invention is to provide sizing of transparent objects by sharing the interference in monochromatic and white light. The method is carried out as follows. The measurement object is installed in the working arm of the interferometer, the object is moved parallel to its axis, the beginning and end of measurements are recorded by the occurrence of an achromatic interference pattern in white light, the interference bands of monochromatic radiation are placed between the signals in white light, the size of the object is determined by the total number of monochromatic radiation fringes obtained. 1 hp f - ly, 2 ill.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике к определению геометрических раз меров объектов оптическими методамиThe invention relates to a measurement technique for determining the geometric dimensions of objects by optical methods.
Цель изобретени - обеспечение определени размеров прозрачных объектов посредством совместного использовани интерференции в монохроматическом и белом светеThe purpose of the invention is to determine the size of transparent objects by sharing the interference in monochromatic and white light.
На фиг 1 приведена схема хстройства, реализующа предложенный способ, на фиг 2 - эпюры полос интерференции в монохроматическом (вниз) и белом (вверху) светеFig. 1 shows a device diagram implementing the proposed method; Fig. 2 shows diagrams of interference bands in monochromatic (down) and white (top) light.
Устройство выполнено по схеме интерферометра Майкельсона и содержит источникThe device is made according to the Michelson interferometer scheme and contains the source
1монохроматического ( Я) света, источник1 monochromatic (i) light source
2белого ( ii ) света, по ход лучей которых расположены светоделительный элемент 3, эталон 4 Фабри Перо, референтное зеркало 5, счетчик 6 полос Эталон 4 Фабри- Перо и референтное зеркало 5 наход тс в2white (ii) light, in the course of the rays of which the beam-splitting element 3 is located, the standard 4 Fabry Perot, the reference mirror 5, the counter 6 strips the Standard 4 Fabry-Perot and the reference mirror 5 are in
референтном п 1ече интерферометра а объ ем 7 - в рабочемreference interferometer with a volume of 7 in the working
Изобретение ос ществт етс е ie тд ющи образомThe invention is e.
Устанавливают объект 7 измерени в ра бочем плече интерферометра (ф|м 1) Hept мещают объект 7 измерени пара i штьно его оси Фиксир ют начало и конец измере ний по возникновению ахроматической ин терференционной картины в белом свете (фиг 2) Производ т счет си налов (иьтер ференционныч полос) монохроматического излечени , кладывающичс в промежутке между CHI налами в белом свете (фиг 2) Определ ют размер объекта по общемч коли честву пол ченныч иитерференционныч по лос монохроматического изпчечи The object of measurement 7 is installed in the interferometer arm (f | m 1) Hept is placed by the object 7 of measurement of vapor and its axis. The beginning and end of measurements are recorded by the appearance of an achromatic interference pattern in white light (Fig. 2). Monochromatic cure (web of bands), placed between the CHI lines in white light (Fig. 2). The size of the object is determined by the total number of half-rounds and the irradiated monochromatic strip.
При необходимости измерени объектов 7 с размерами, превышающими размер ре ферентного п 1еча интерферометра, исполь зуетс многократное отражение беюIf it is necessary to measure objects 7 with dimensions larger than the size of the reference device for the interferometer, multiple reflection will be used.
ооoo
СО tsSSB tsS
СОWITH
го света от полупрозрачных плоских зеркал эталона 4 Фабри-Перо, что увеличивает дискретно оптическую длину референтного плеча на величину, кратную размеру эталона 4 Фабри-Перо.light from semitransparent flat mirrors of Fabry-Perot etalon 4, which increases discretely the optical length of the reference arm by a multiple of the size of etalon 4 Fabry-Perot.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874321676A SU1483249A1 (en) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | Interference method of determining geometric dimensions of member |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874321676A SU1483249A1 (en) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | Interference method of determining geometric dimensions of member |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1483249A1 true SU1483249A1 (en) | 1989-05-30 |
Family
ID=21333744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874321676A SU1483249A1 (en) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | Interference method of determining geometric dimensions of member |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1483249A1 (en) |
-
1987
- 1987-10-27 SU SU874321676A patent/SU1483249A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Богуславский М Г и Цейтлин Я М Приборы и методы точных измерений длины и углов М , 1976, с 235 Оптические приборы в машиностроении/ Под ред Н П Заказнова М Машиностроение, 1974, с 102 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4280764A (en) | Phase-conjugate interferometer | |
JPS5337090A (en) | Surface inspecting method | |
ATE92640T1 (en) | FREQUENCY MODULATED LASER RADAR. | |
ES2021389B3 (en) | DEVICE AND PROCEDURE FOR THE PRODUCTION OF A TELECENTRIC LIGHT RAY AND PROCEDURE FOR THE MANUFACTURE OF A HOLOGRAPHIC ELEMENT | |
FR2524633B1 (en) | STATIONARY WAVE INTERFEROMETER FOR MEASURING OPTICAL PATH DIFFERENCES | |
SU1483249A1 (en) | Interference method of determining geometric dimensions of member | |
US11274915B2 (en) | Interferometer with multiple wavelength sources of different coherence lengths | |
US3776636A (en) | Process and apparatus for investigating the coherence of light radiation | |
FR2235354A1 (en) | Photoelectric optical test sensor - measures displacement of a diffraction screen with constant spacing in the test sensor plane | |
SU1073565A1 (en) | Guide checking device | |
SU1397719A1 (en) | Interferometric method of measuring linear displacements of objects | |
SU1052856A1 (en) | Interference device for gauging dimensions of part | |
JP2805045B2 (en) | Spatial positioning method | |
SU1696857A1 (en) | Device for measuring angular displacements of an object | |
SU715928A1 (en) | Method of determining path difference of interfering rays | |
JP3149421B2 (en) | Reflectometer | |
SU1696930A1 (en) | Method for determining focal distance of optical system | |
SU1573442A1 (en) | Interference resolvemeter resolution meter | |
SU1413415A1 (en) | Method of determining diameter of holes | |
JP2502092B2 (en) | Interfering device | |
SU1562686A1 (en) | Device for measuring linear displacements | |
SU832325A1 (en) | Method of measuring linear dimensions of articles | |
SU1073567A1 (en) | Interferention device for measuring displacement | |
Lacourt et al. | Longitudinal Analysis of the Complex Transmittance of Optical Pupils by Spectral Modulation of White Light | |
SU518623A1 (en) | Device for measuring the error profile of the involute part surface |