SU1483249A1 - Interference method of determining geometric dimensions of member - Google Patents

Interference method of determining geometric dimensions of member Download PDF

Info

Publication number
SU1483249A1
SU1483249A1 SU874321676A SU4321676A SU1483249A1 SU 1483249 A1 SU1483249 A1 SU 1483249A1 SU 874321676 A SU874321676 A SU 874321676A SU 4321676 A SU4321676 A SU 4321676A SU 1483249 A1 SU1483249 A1 SU 1483249A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
white light
objects
light
interference
Prior art date
Application number
SU874321676A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Георгий Яковлевич Рафанович
Original Assignee
Предприятие П/Я В-2539
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-2539 filed Critical Предприятие П/Я В-2539
Priority to SU874321676A priority Critical patent/SU1483249A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1483249A1 publication Critical patent/SU1483249A1/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, к определению геометрических размеров объектов оптическими методами. Цель изобретени  - обеспечение определени  размеров прозрачных объектов посредством совместного использовани  интерференции в монохроматическом и белом свете. Способ осуществл етс  следующим образом. Устанавливают объект измерени  в рабочем плече интерферометра, перемещают объект параллельно его оси, фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете, производ т счет интерференционных полос монохроматического излучени , укладывающихс  в промежутке между сигналами в белом свете, определ ют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматического излучени . 1 з.п. ф - лы, 2 ил.The invention relates to a measuring technique, to determining the geometrical dimensions of objects by optical methods. The purpose of the invention is to provide sizing of transparent objects by sharing the interference in monochromatic and white light. The method is carried out as follows. The measurement object is installed in the working arm of the interferometer, the object is moved parallel to its axis, the beginning and end of measurements are recorded by the occurrence of an achromatic interference pattern in white light, the interference bands of monochromatic radiation are placed between the signals in white light, the size of the object is determined by the total number of monochromatic radiation fringes obtained. 1 hp f - ly, 2 ill.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике к определению геометрических раз меров объектов оптическими методамиThe invention relates to a measurement technique for determining the geometric dimensions of objects by optical methods.

Цель изобретени  - обеспечение определени  размеров прозрачных объектов посредством совместного использовани  интерференции в монохроматическом и белом светеThe purpose of the invention is to determine the size of transparent objects by sharing the interference in monochromatic and white light.

На фиг 1 приведена схема хстройства, реализующа  предложенный способ, на фиг 2 - эпюры полос интерференции в монохроматическом (вниз) и белом (вверху) светеFig. 1 shows a device diagram implementing the proposed method; Fig. 2 shows diagrams of interference bands in monochromatic (down) and white (top) light.

Устройство выполнено по схеме интерферометра Майкельсона и содержит источникThe device is made according to the Michelson interferometer scheme and contains the source

1монохроматического ( Я) света, источник1 monochromatic (i) light source

2белого ( ii ) света, по ход лучей которых расположены светоделительный элемент 3, эталон 4 Фабри Перо, референтное зеркало 5, счетчик 6 полос Эталон 4 Фабри- Перо и референтное зеркало 5 наход тс  в2white (ii) light, in the course of the rays of which the beam-splitting element 3 is located, the standard 4 Fabry Perot, the reference mirror 5, the counter 6 strips the Standard 4 Fabry-Perot and the reference mirror 5 are in

референтном п 1ече интерферометра а объ ем 7 - в рабочемreference interferometer with a volume of 7 in the working

Изобретение ос ществт етс  е ie тд ющи образомThe invention is e.

Устанавливают объект 7 измерени  в ра бочем плече интерферометра (ф|м 1) Hept мещают объект 7 измерени  пара i штьно его оси Фиксир ют начало и конец измере ний по возникновению ахроматической ин терференционной картины в белом свете (фиг 2) Производ т счет си налов (иьтер ференционныч полос) монохроматического излечени , кладывающичс  в промежутке между CHI налами в белом свете (фиг 2) Определ ют размер объекта по общемч коли честву пол ченныч иитерференционныч по лос монохроматического изпчечи The object of measurement 7 is installed in the interferometer arm (f | m 1) Hept is placed by the object 7 of measurement of vapor and its axis. The beginning and end of measurements are recorded by the appearance of an achromatic interference pattern in white light (Fig. 2). Monochromatic cure (web of bands), placed between the CHI lines in white light (Fig. 2). The size of the object is determined by the total number of half-rounds and the irradiated monochromatic strip.

При необходимости измерени  объектов 7 с размерами, превышающими размер ре ферентного п 1еча интерферометра, исполь зуетс  многократное отражение беюIf it is necessary to measure objects 7 with dimensions larger than the size of the reference device for the interferometer, multiple reflection will be used.

ооoo

СО tsSSB tsS

СОWITH

го света от полупрозрачных плоских зеркал эталона 4 Фабри-Перо, что увеличивает дискретно оптическую длину референтного плеча на величину, кратную размеру эталона 4 Фабри-Перо.light from semitransparent flat mirrors of Fabry-Perot etalon 4, which increases discretely the optical length of the reference arm by a multiple of the size of etalon 4 Fabry-Perot.

Claims (2)

1. Интерференционный способ определени  геометрических размеров объектов, заключающийс  в том, что объект помещают в рабочее плечо интерферометра, направл ют в интерферометр монохроматический свет и по количеству полуволн света, укладываю1. The interference method for determining the geometric dimensions of objects, which means that the object is placed in the working arm of the interferometer, is sent to the interferometer with monochromatic light and by the number of half-waves of light, I stack обеспечени  определени  размеров прозрачных объектов, дополнительно направл ют в интерферометр белый свет, объект перемещают вдоль направлени  луча света, а количество полуволн монохроматического света определ ют между импульсами белого света, соответствующими ахроматическим интерференционным картинам, образованным границами объекта.In order to determine the size of transparent objects, white light is additionally directed to the interferometer, the object is moved along the direction of the light beam, and the number of half-waves of monochromatic light is determined between the white light pulses corresponding to the achromatic interference patterns formed by the object boundaries. 2. Способ по п. 1, отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  определени  размеров объектов, превышающих длину референтного плеча интерферометра, увеличивают длину референтного плеча посредством разме2. A method according to claim 1, characterized in that, in order to provide a determination of the sizes of objects exceeding the length of the reference arm of the interferometer, the length of the reference arm is increased by the size /УААААД 1ЛЛА/1/ UAAAAD 1LLA / 1 Составитель Б. ЕвстратовCompiled by B. Evstratov Редактор И. Сегл никТехред И. ВересКорректор Э. ЛончаковаEditor I. Segl nikTechred I. VeresKorrektor E. Lonchakova Заказ 2814/36Тираж 683ПодписноеOrder 2814/36 Circulation 683 Subscription ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССРVNIIPI State Committee for Inventions and Discoveries at the State Committee on Science and Technology of the USSR 113035, Москва, Ж-35, Раушска , наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат «Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101113035, Moscow, Zh-35, Raushsk, Embankment, 4/5 Production and Publishing Combine Patent, Uzhgorod, ul. Gagarin, 101 Фиг.11 Физ.2Phys .2
SU874321676A 1987-10-27 1987-10-27 Interference method of determining geometric dimensions of member SU1483249A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874321676A SU1483249A1 (en) 1987-10-27 1987-10-27 Interference method of determining geometric dimensions of member

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874321676A SU1483249A1 (en) 1987-10-27 1987-10-27 Interference method of determining geometric dimensions of member

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1483249A1 true SU1483249A1 (en) 1989-05-30

Family

ID=21333744

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874321676A SU1483249A1 (en) 1987-10-27 1987-10-27 Interference method of determining geometric dimensions of member

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1483249A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Богуславский М Г и Цейтлин Я М Приборы и методы точных измерений длины и углов М , 1976, с 235 Оптические приборы в машиностроении/ Под ред Н П Заказнова М Машиностроение, 1974, с 102 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4280764A (en) Phase-conjugate interferometer
JPS5337090A (en) Surface inspecting method
ATE92640T1 (en) FREQUENCY MODULATED LASER RADAR.
ES2021389B3 (en) DEVICE AND PROCEDURE FOR THE PRODUCTION OF A TELECENTRIC LIGHT RAY AND PROCEDURE FOR THE MANUFACTURE OF A HOLOGRAPHIC ELEMENT
FR2524633B1 (en) STATIONARY WAVE INTERFEROMETER FOR MEASURING OPTICAL PATH DIFFERENCES
SU1483249A1 (en) Interference method of determining geometric dimensions of member
US11274915B2 (en) Interferometer with multiple wavelength sources of different coherence lengths
US3776636A (en) Process and apparatus for investigating the coherence of light radiation
FR2235354A1 (en) Photoelectric optical test sensor - measures displacement of a diffraction screen with constant spacing in the test sensor plane
SU1073565A1 (en) Guide checking device
SU1397719A1 (en) Interferometric method of measuring linear displacements of objects
SU1052856A1 (en) Interference device for gauging dimensions of part
JP2805045B2 (en) Spatial positioning method
SU1696857A1 (en) Device for measuring angular displacements of an object
SU715928A1 (en) Method of determining path difference of interfering rays
JP3149421B2 (en) Reflectometer
SU1696930A1 (en) Method for determining focal distance of optical system
SU1573442A1 (en) Interference resolvemeter resolution meter
SU1413415A1 (en) Method of determining diameter of holes
JP2502092B2 (en) Interfering device
SU1562686A1 (en) Device for measuring linear displacements
SU832325A1 (en) Method of measuring linear dimensions of articles
SU1073567A1 (en) Interferention device for measuring displacement
Lacourt et al. Longitudinal Analysis of the Complex Transmittance of Optical Pupils by Spectral Modulation of White Light
SU518623A1 (en) Device for measuring the error profile of the involute part surface