SU1476305A1

SU1476305A1 - Apparatus for monitoring mirror angles

Info

Publication number: SU1476305A1
Application number: SU853975907A
Authority: SU
Inventors: Евгений Федорович Решетин
Priority date: 1985-11-15
Filing date: 1985-11-15
Publication date: 1989-04-30

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол углов многогранных отражателей. Целью изобретени вл етс повышение точности контрол за счет устранени погрешности базировани . Пучки лучей после источника 1 коллимированного излучени проход т через входную грань 3 призмы 2, базировочные грани 4, покрытые иммерсионной жидкостью, и отражаютс от граней контролируемого многогранного отражател 10. Базировочные грани 4 образуют эталонный многогранник, конгруэнтный контролируемому многогранному отражателю 10 при равенстве всех его углов номинальному значению. Пучки лучей, отразившись от граней контролируемого многогранного отражател 10 соответствующих отражательных граней 5 призмы 2, проход т через выходную грань 6 и попадают в регистрирующее устройство 7. Отклонение углов контролируемого отражател 10 от номинального значени приводит к наклону соответствующих пучков лучей к оптической оси прибора, который фиксируетс регистрирующим устройством 7. 2 з.п.ф-лы, 1 ил.The invention relates to a measurement technique and can be used to control the angles of multifaceted reflectors. The aim of the invention is to improve the accuracy of control by eliminating base errors. Beams of beams after the source of collimated radiation 1 pass through the entrance face 3 of the prism 2, the base edges 4, covered with an immersion liquid, and are reflected from the faces of the controlled polyhedral reflector 10. The base edges 4 form a reference polyhedron congruent to the controlled polyhedron reflector 10 when all its angles are equal nominal value. Beams, reflected from the faces of the monitored multifaceted reflector 10 of the corresponding reflective faces 5 of the prism 2, pass through the output face 6 and enter the recording device 7. The deviation of the angles of the controlled reflector 10 from the nominal value causes the respective beams of the beams to tilt to the optical axis of the device, which fixed by a recording device 7. 2 Cp f-crystals, 1 sludge.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля углов многогранных отражений.The invention relates to measuring equipment and can be used to control the angles of multifaceted reflections.

Целью изобретения является повышение точности контроля за счет устранения погрешности базирования.The aim of the invention is to increase the accuracy of control by eliminating the basing error.

На чертеже представлена оптическая схема прибора.The drawing shows an optical diagram of the device.

Прибор содержит последовательно установленные источник 1 коллимированного излучения, оптическую призму 2, имеющую входную грань 3, базировочные грани 4, отражательные грани 5, параллельные базировочным граням 4, и выходную грань 6, регистрирующее устройство 7, выполненное, например, в виде объектива 8 и экрана 9. Базировочные грани 4 призмы 2 покрывают имммерсионной жидкостью и на эти грани устанавливают контролируемый многогранный отражатель 10.The device contains sequentially installed collimated radiation source 1, an optical prism 2 having an input face 3, reference faces 4, reflective faces 5 parallel to the reference faces 4, and an output face 6, a recording device 7, made, for example, in the form of a lens 8 and a screen 9. The reference faces 4 of the prism 2 are covered with an immersion liquid and a controlled multifaceted reflector 10 is installed on these faces.

Прибор работает следующим образом.The device operates as follows.

Параллельные пучки после источника 1 коллимированного излучения проходят через входную грань 3 призмы 2. Базировочные грани 4 призмы 2 образуют эталонный многоугольник, конгруэнтный номинальному значению углов контролируемого многогранного отражателя 10. В случае равенства углов контролируемого многогранного отражателя 10 номинальному значению пучки лучей после отражения от всех граней многогранного отражателя 10, совпадающих с базировочными гранями 4 призмы 2, отразятся от отражательных граней 5 и соберутся линзой 8 в одной точке экрана 9 (в нулевой точке) .·Parallel beams after the collimated radiation source 1 pass through the input face 3 of the prism 2. The reference faces 4 of the prism 2 form a reference polygon congruent to the nominal value of the angles of the controlled multifaceted reflector 10. If the angles of the controlled polyhedral reflector 10 are equal to the nominal value of the beam of rays after reflection from all faces polyhedral reflector 10, coinciding with the reference faces 4 of prism 2, will be reflected from the reflective faces 5 and collected by the lens 8 at one point on the screen 9 (at zero point). ·

Если часть граней многогранного отражателя 10 располагается под углами, отличающимися от номинальных, то в этом пучке лучи перед тем, как отразятся от этих граней, преломляются соответствующими базировочными гранями 4, проходят через иммерсионную жидкость с показателем преломления п. После отражения от указанных граней контролируемого многогранного отражателя 10 пучки лучей проходят через иммерсионную жидкость, преломляются соответствующими базировочными гранями 4, отражаются от соответствующих отражающих граней 5 и через выходную грань 6 призмы попада ют в регистрирующее устройство Ί под углами <Ζ>ϊ = 2^ η, где —угол между оптической осью при- бора и направлением пучка лучей, соответствующих i-й грани многогранного отражателя 10;If a part of the faces of the polyhedral reflector 10 is located at angles different from the nominal ones, then in this beam the rays before being reflected from these faces are refracted by the corresponding reference faces 4, pass through an immersion liquid with a refractive index of n. After reflection from the indicated faces of the controlled polyhedral of the reflector 10, the beams of rays pass through the immersion liquid, are refracted by the corresponding reference faces 4, are reflected from the corresponding reflective faces 5 and through the output s 6 dissolved in Getting prism recorder Ί angles <Ζ> ϊ = 2 ^ η, where the angle between the optical axis and the direction of the example of Bohr ray beam corresponding to i-th face of the polyhedral reflector 10;

θί—-отклонение угла i-й грани многогранного отражателя от номиналь10 ного значения;θί —- deviation of the angle of the i-th face of the polyhedral reflector from the nominal value;

П — показатель преломления иммерсионной жидкости.P is the refractive index of the immersion fluid.

Объектив 8 регистрирующего устройства 7 собирает эти пучки лучей в точках экрана 9 на расстояниях li от нулевой точки, про15 порциональных углам сА/ .The lens 8 of the recording device 7 collects these beams of rays at the points of the screen 9 at distances li from the zero point proportional to the angles cA /.

Таким образом, установка контролируемого многогранного отражателя 10 на базировочные грани 4 призмы 2, покрытие иммерсионной жидкостью исключают погреш2θ ность базировки и повышают чувствительность прибора в η раз и тем самым повышает точность контроля углов многогранных отражателей. Выполнение выходной грани в оптической призме 2 под углом к оптической оси прибора позволяет дополни25 тельно повысить чувствительность прибора, так как в этом случае оптическая призма 2 будет эквивалентна «преломляющей призме», имеющей угловое увеличение.Thus, the installation of a controlled multifaceted reflector 10 on the reference faces 4 of prism 2, coating with an immersion liquid eliminates the baseline error and increases the sensitivity of the device by η times and thereby increases the accuracy of monitoring the angles of polyhedral reflectors. The execution of the output face in the optical prism 2 at an angle to the optical axis of the device allows an additional increase in the sensitivity of the device, since in this case, the optical prism 2 will be equivalent to a “refractive prism” having an angular increase.

Claims

1. A device for monitoring specular angles, containing sequentially installed collimated radiation source, a basing device, a reference

35 reflector and recording device, characterized in that, in order to increase the accuracy of control, the basing device is made in the form of an optical prism, the edges of which form a reference reflector.

2. The device according to π. 1, characterized in that the basing device is covered with immersion liquid.

3. The device according to π. 1, characterized in that the optical prism is made so that its input and output faces are parallel

45 Friend DRU ^GU> ^and reflective faces are parallel bazirovochnym faces.

Compiled by A. Zabolotsky Editor M. Kelemesh Order 21 13/41 Tehred I. Veres Corrector V. Girnyak Circulation 684 Subscription