SU1474526A1 - Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц - Google Patents

Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц Download PDF

Info

Publication number
SU1474526A1
SU1474526A1 SU874296371A SU4296371A SU1474526A1 SU 1474526 A1 SU1474526 A1 SU 1474526A1 SU 874296371 A SU874296371 A SU 874296371A SU 4296371 A SU4296371 A SU 4296371A SU 1474526 A1 SU1474526 A1 SU 1474526A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
axis
mirror
focus
ellipsoid
focusing mirror
Prior art date
Application number
SU874296371A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Михайлович Коломиец
Original Assignee
Научно-производственное объединение "Тайфун"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-производственное объединение "Тайфун" filed Critical Научно-производственное объединение "Тайфун"
Priority to SU874296371A priority Critical patent/SU1474526A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1474526A1 publication Critical patent/SU1474526A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение может быть использовано в электронной и химической промышленности, в гидрометеорологии дл  контрол  запыленности газов и жидкостей. Цель изобретени  состоит в повышении надежности и чувствительности устройства за счет упрощени  его конструкции и уменьшени  световых потерь. Это достигаетс  благодар  определенной форме выполнени  фокусирующего зеркала, выбору его параметров и ориентации по отношению к осветителю и фотоприемному устройству. 1 з.п.ф-лы,3 ил.

Description

Изобретение относитс  к технике измерени  размеров и концентрации , взвешенных частиц микронного диапазона размеров и может использоватьс  в электронной, химической пррмышлен- ности, гидрометеорологии, дл  контрол  запыленности газов и жидкостей.
Цель изобретени  - повышение надежности за счет упрощени  конструкции и повышение чувствительности за счет уменьшени  световых потерь.
На фиг. 1 представлена блок-схема регистратора; на фиг. 2 - фокусирующее зеркало, вид в плоскости главного сечени ; на фиг. 3 - то же, в перпендикул рной ей плоскости, параллельной оптической оси осветител .
Регистратор содержит осветитель 1, формирующий световой пучок 2, ось которого проходит через первый фокус О, фокусирующего зеркала 3. Это зер- - кало выполнено в виде участка эллипсоида , образованного вращением вокруг большой полуоси О, 0 эллипса с большой осью 2А, фокусами О,, 0 и фокусным рассто нием f . Зеркало 3 установлено так, что его больша  ось перпендикул рна оси светового пучка 2. Фокус О, совпадает с точкой пересечени  оси пучка 2 и оси узла 4, формирующего с помсщью воздуходувки 5 поток исследуемой среды. Зеркало 3 выполнено таким образом, что его угловой размер относительно фокуса 0 равен (фиг. 1 и 2) дл  любого азимутального угла об, т.е. в любой плоскости, проход щей через ось светового пучка 2. Со стороны, ближайшей
4
Ј СЛ Ю
О5
к фокусу 04, в зеркале 3 выполнено от отверстие 6, соосное с большой осью эллипса, причем угловой размер отверсти  относительно фокуса 0 также ра- вен . Объектив 7 установлен соос- но с большой осью эллипса снаружи зеркала со стороны отверсти  и оптически св зывает плоскость, в которой расположена диафрагма 8 пол  зрени , с плоскостью, проход щей через фокус О, перпендикул рно большой оси эллипса . За диафрагмой 8 пол  зрени  установлен приемно-анализирующий блок 9.
Регистратор работает следующим об- разом.
Световой пучок 2 от осветител  1 проходит через поток исследуемой среды , формируемый узлом 4 с помощью воздуходувки 5. При наличии в потоке ,взвешенных частиц световой пучок частично рассеиваетс  на этих частицах. Рассе нный свет в пределах определенного телесного угла (близкого к 4 iTsincf0) фокусирующим зеркалом 3 направл етс  в отверстие 6. Далее этот свет объективом 7 собираетс  на диафрагму 8 пол  зрени , котора  ограничивает поле зрени  в направле- нии оси пучка 2. Прошедший через диафрагму 8 свет попадает на приемно- анализирующий блок 9. При этом о размерах частиц суд т по амплитудам импульсов рассе нного света, а о концентрации - по средней частоте повторени  указанных импульсов.
Рассмотрим подробнее ход световых лучей в зеркале 3 (фиг. 2). Положим, что взвешенна  частица находитс  в фокусе 0 . Поскольку зеркало симмет- рично относительно большой оси, рассмотрим ход лучей только в верхней половине зеркала. В плоскости главного сечени  (фиг. 2) световые лучи, вышедшие из фокуса 0( (за счет рас- се ни  на частице) под любым углом, в конце концов об зательно попадут в отверстие 6 непосредственно.
Лучи, рассе нные в пределах угла Ср(фиг. 2), отражаютс  зеркалом 3, проход т фокус Ог, вновь отражаютс  зеркалом 3 (нижней половиной), проход т фокус О , и выход т в отверстие 6. Возможное экранирование частицей этих световых лучей может иметь зна
чение лишь -дл  сравнительно крупных частиц (единицы микрометров), наход - .щихс  строго в фокусе О, зеркала идеальной формы. Но, поскольку части
0 о
д с
5
5
цы движутс  через световой пучок, то веро тность их пребывани  в фокусе несравненно меньше веро тности их пребывани  в окрестности фокуса (диаметр светового пучка в районе фокуса 01 много болыпе максимального размера частиц). Кроме того, неизбежные погрешности изготовлени  зеркала привод т к размытию изображени ,т.е. к уменьшению экранировани . Практически это экранирование на измерение не вли ет.
Лучи, рассе нные в пределах угла ср , отражаютс  зеркалом 3, проход т фокус Ог, отражаютс  зеркалом 3 (нижней половиной), проход т фокус О в пределах угла ср, . Далее эти лучи еще после двух отражений от зеркала 3 выход т через отверстие 6, испытав в общей сложности четыре отражени .
Наконец, лучи, рассе нные в пределах угла (фиг. 2), отразившись от зеркала 3 один раз, также проход т отверстие 6. При этом выход щий из отверстий 6 пучок имеет вид конуса с вершиной в фокусе 02 , в то врем  как выход щий из отверсти  6 пучок, обусловленный рассе нием в пределах угла Cf0 + Ср, + ср, имеет вид конуса с вершиной в фокусе Of .
Таким образом, максимальное количество отражений от зеркала равно четырем. Это  вл етс  следствием соотношени  fb a( + 1-tgCj)), а фиг. 2 соответствует случаю равенства в этом соотношении. Если изменить знак неравенства на противоположный , то максимальное количество отражений может быть равно шести и более. Ясно, что чем меньше количество отражений, тем меньше световые потери в зеркале и тем выше чувствительность измерений..
Рассмотрим ход световых лучей в пределах угла 2 в плоскости,проход щей через ось пучка 2 и составл ющей с большой осью эллипса некоторый угол;/ (фиг. 1). Если oi( + + if (фиг. 3), то световые лучи после отражени  зеркалом 3 и прохода через фокус 0 полностью попадает вновь на зеркало 3 и затем проход т через отверстие 6 (зеркало 3 имеет максимальный размер в направлении, параллельном оси пучка 2, как раз в том месте, где на него падают лучи, рассе нные под углом oi 1р0 + Ч1, )
Если oi + Ц( то световые лучи полностью попадают на зеркало 3 первый раз, но затем, после прохождени  фокуса 0, второй раз на зеркало попадает лишь часть лучей, а оставшиес лучи проход т мимо зеркала. В этом случае лучи распростран ютс  в напралении большой оси от фокуса О, к фо
кусу С , причем в указанном направле нии размер зеркала уменьшаетс  (фиг. 3), что приводит к потере части световых лучей. Потери эти увеличиваютс  с увеличением oL , тем более что аналогичные потери имеют место и при третьем попадании лучей на зеркало (после прохождени  фокуса О,).
-
В предельном случае, при Р 1Г , из света, рассе нного в пределах плоского угла 2ср0, через отверстие 6 пройдет лишь пучок, рассе нный в пределах угла .
В регистраторах подобного типа наиболее важным  вл етс  формирование достаточно резких границ пол  зрени  в направлении оси пучка. В перпендикул рном этой оси направлении так называемый счетный объем регистратора ограничен диаметром светового пучка, т.е. размер диафрагмы пол  зрени  в этом направлении существенной роли не играет, и соответствующее размытые границ допустимо сравнительно большое.
В рассматриваемом регистраторе в Плоскости, проход щей через ось осветител , световые лучи имеют апертур- ный угол и границы пол  зрени  вдоль указанной оси формируютс  в хоне именно этих лучей. В этом случае размытие границ определ етс  отступлением формы зеркала от формы фи- груры вращени , т.е. отступлением формы любого сечени  зеркала в плоскос
ти, перпендикул рной большой оси эллипса, от формы дуги окружности.Такие отступлени  значительно легче контролировать (и, соответственно, уменьшить до приемлемой величины),
чем отступление от формы эллипсоида, i ,
В репендикул рной плоскости (в
плоскости главного сечени ) апертурны угол рассе нных лучей близок к 21Г , и хот  выход щие из зеркала 3 лучи
эллипса . Однако размытие в указанной плоскости на погрешности измерений практически не вли ет.
Таким образом, в предлагаемом регистраторе значительно ниже требовани  к точности изготовлени  и установке оптических элементов, благодар  чаму повышаетс  надежность работы регистратора ,

Claims (2)

1. Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц, содержащий осветитель , оптически св занный через фокусирующее зеркало и диафрагму пол  зрени  с приемно-анализирующим блоком , а также узел формировани  потока исследуемой среды, причем фокусирующее зеркало выполнено в виде части эллипсоида вращени  и установлено так, что первый его фокус совпадает с точкой пересечени  оптической оси осветител  и оси потока исследуемой среды, отличающийс  тем, что, с целью повышени  надежности за счет упрощени  конструкции, регистратор дополнительно содержит объектив, фокусирующее зеркало установлено так, что больша  ось эллипсоида перпендикул рна оптической оси осветител , и выполнено таким образом, что угловой размер его относительно первого фоку- са одинаков в любой плоскости, проход щей через ось осветител , а в области , ближайшей к первому фокусу, в фокусирующем зеркале выполнено отверстие , соосно большой оси эллипсоида, угловой размер этого отверсти  относительно первого фокуса равен угловому размеру зеркала относительно его первого фокуса, объектив установлен между диафрагмой пол  зрени  и фоку- сирующим зеркалом на большой оси эллипсоида вращени  со стороны отверсти  в зеркале, а диафрагма пол  зре- ени  установлена в плоскости, оптически сопр женной объективом с плос- костью, проход щей чере первый фокус зеркала перпендикул рно большой оси эллипсоида.
2. Регистратор по п.1, о т л и - чающийс  тем, что, с целью
имеют в этой плоскости угол раствора gg повышени  чувствительности за счет
, границы пол  зрени  в направлении , перпендикул рном оси пучка, будут в значительной степени размыты вследствие неапланатичности фокусов
уменьшени  световых потерь, в фокусирующем зеркале фокусное рассто ни f и больша  полуось а эллипсоида вр щени  св заны соотношением
уменьшени  световых потерь, в фокусирующем зеркале фокусное рассто ние f и больша  полуось а эллипсоида вращени  св заны соотношением
SU874296371A 1987-08-17 1987-08-17 Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц SU1474526A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874296371A SU1474526A1 (ru) 1987-08-17 1987-08-17 Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874296371A SU1474526A1 (ru) 1987-08-17 1987-08-17 Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1474526A1 true SU1474526A1 (ru) 1989-04-23

Family

ID=21324027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874296371A SU1474526A1 (ru) 1987-08-17 1987-08-17 Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1474526A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Бел ев С.П., Смирнов В.В., Никифорова Н.К. и др. Оптико-электронные методы изучени аэрозолей. М.: Энергоиздат, 1981, с. 55. Авторское свидетельство СССР № 1179160, кл. G 01 N 15/02, 1985. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH07503796A (ja) 分子特性解析の方法及び装置
CN112198169A (zh) 一种晶圆检测装置及线上成套设备
SU1474526A1 (ru) Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц
JPH07101168B2 (ja) 管とフロートとの間のギャップの測定装置及び方法
KR101960223B1 (ko) 자동 가변 광 경로형 ftir 혼합가스측정장치
SU1257476A1 (ru) Нефелометр (его варианты)
SU1281952A1 (ru) Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объективов
SU1578599A1 (ru) Способ измерени показател преломлени оптического стекла
SU1673834A1 (ru) Устройство дл хранени азимута эталонного направлени
SU1737265A1 (ru) Устройство дл измерени угла конуса внутренних конических поверхностей деталей
EP0100354A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR THE APODIZATION OF RADIUS.
SU1179160A1 (ru) Фотоэлектрический регистратор взвешенных частиц
SU1460600A1 (ru) Способ контрол радиуса кривизны сферических поверхностей оптических деталей
SU1589059A1 (ru) Устройство дл юстировки оси излучател оптического узла относительно базовых поверхностей основани
SU1191787A1 (ru) Оптический абсорбционный газоанализатор
SU1290233A2 (ru) Устройство дл контрол оптических световозвращателей
SU1668856A1 (ru) Устройство дл проверки нивелиров
SU1142732A1 (ru) Устройство дл контрол линейных размеров
SU1179768A1 (ru) Устройство дл измерени рефракции
RU1825418C (ru) Фотометр
SU836518A1 (ru) Способ измерени геометрических параметровСТЕКл ННыХ ТРуб или СТЕКлОВОлОКНА ВпРОцЕССЕ ВыТ жКи
SU1312380A1 (ru) Устройство дл контрол шероховатости поверхности
SU1122095A1 (ru) Устройство дл измерени размеров и концентрации аэрозольных частиц
JPS5932723B2 (ja) 物体表面の欠点検出装置
RU1807343C (ru) Многоходова оптическа система