SU1469344A1 - Device for determining dimensions of small objects - Google Patents
Device for determining dimensions of small objects Download PDFInfo
- Publication number
- SU1469344A1 SU1469344A1 SU874293878A SU4293878A SU1469344A1 SU 1469344 A1 SU1469344 A1 SU 1469344A1 SU 874293878 A SU874293878 A SU 874293878A SU 4293878 A SU4293878 A SU 4293878A SU 1469344 A1 SU1469344 A1 SU 1469344A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- carriage
- microcomputer
- microscope
- mirror
- input
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, к определению размеров объектов оптическими методами. Цель изобретени - повышение точности , производительности определени и расширение класса измер емых объектов посредством автоматизации процессов измерени , сн ти отсчета и обработки результатов измерени . Устройство дл определени размеров малых объектов содержит расположенные последовательно между микроскопом и третьим зеркалом призму Дове, четвертое зеркало, приспособление дл смены объективов и диафрагм, переключатель , включенный между микроскопом и дифференциальным усилителем,элек- тронный усилитель, вход которого соединен с переключателем, микроЭВМ, входы которой соединены с выходами фотоприемника, электронного и диффе- .релциального усилителей, а выходы - с электроприводами кареток координатного и предметного столов, Отсчетное приспособление выполнено в виде лазерного интерферометра и двух уголковых отражателей, один из которых закреплен на каретке координатного стола , а другой - на каретке предметного стола, а выход интерферометра соединен с входом микроэвм. При работе измер емый объект устанавливают на измер емую позицию с помощью электро- .привода, управл емого микроЭВМ. Развернутое в определенном положении изображение объекта с помощью призмы Дове контролируетс фотоэлектрическим микроскопом по выходному сигналу электронного блока или дифференциального усилител по заданному уровню освещенности. 2 ил. о $ (Л tarA GU СО СО 4аь 4The invention relates to a measuring technique, to determining the size of objects by optical methods. The purpose of the invention is to improve the accuracy, the performance of the determination and the expansion of the class of measured objects by automating the measurement processes, the reading off and the processing of the measurement results. A device for determining the size of small objects contains a Dove prism located in series between a microscope and a third mirror, a fourth mirror, a device for changing lenses and diaphragms, a switch connected between a microscope and a differential amplifier, an electronic amplifier whose input is connected to a switch, a microcomputer, inputs which are connected to the outputs of the photodetector, electronic and differential. amplifiers, and the outputs are connected to electric drives of the carriages of the coordinate and object tables, О counting device is designed as a laser interferometer, and the two corner reflectors, one of which is mounted on the carriage coordinate table, and the other - on the carriage of the object stage and the interferometer output is connected to an input of the microcomputer. During operation, the measured object is installed on the measured position with the help of an electric drive controlled by a microcomputer. The image of the object deployed at a certain position with the help of a Dowe prism is controlled by a photoelectric microscope according to the output signal of an electronic unit or a differential amplifier at a given level of illumination. 2 Il. about $ (L tarA GU SB SB 4a 4
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, к измерению размеров объектов оптическими методами.The invention relates to a measurement technique, to the measurement of object sizes by optical methods.
Цель изобретени - повышение точности , производительности определени . и расширение класса измер емых объектов посредством автоматизации процессов измерени .The purpose of the invention is to improve the accuracy and performance of the determination. and expanding the class of measurable objects by automating measurement processes.
На фиг.1 приведена структурна схема предпагаемого устройства дл , определени размеров малых объектов; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.i.Figure 1 shows a block diagram of a prepaid device for determining the size of small objects; figure 2 - section aa in Fig.i.
Устройство дл определени размеров малых объектов содержит источник излучени - гелий-неоновый лазер , модул тор 2, телескопическую систему 3, диафрагму 4, зеркальную систему, состо щую из зеркал 5-7, направл ющую излучение монохроматического источника на объект 8 измерений, установленный на каретке 9 предметного стола 10. На каретке 9 установлен уголковый отражатель 11 лазерного интерферометра 12. Перемещение каретки осуществл етс при помощи электропривода 13, например шагового электро- двигател , управл емого микроЭБМ 14, ось которого соединена с винтовым механизмом перемещени каретки.A device for determining the size of small objects contains a radiation source — a helium-neon laser, a modulator 2, a telescopic system 3, a diaphragm 4, a mirror system consisting of mirrors 5-7, directing the radiation of a monochromatic source to the object 8 of measurement mounted on the carriage 9 of the subject table 10. A corner reflector 11 of a laser interferometer 12 is mounted on the carriage 9. The carriage is moved by means of an electric drive 13, for example, a stepper electric motor controlled by micro-EBM 14, whose axis dinena screw mechanism for moving a carriage.
Над предметным столом установлен фотоэлектрический микроскоп 15 с дополнительно введенными зеркалом 7, призмой 16 Дове, приспособлением дл установки сменных объективов или диафрагмы 17. Фотоэлектрический микроскоп св зан с электронным блоком 18 и дифференциальным усилителем 19, электромагнитным реле и переключателем 20, а выходы электронного блока 18 и дифференциального усилител св заны с вторым входом микроэвм 14.A photoelectric microscope 15 is installed above the object table with additionally introduced mirror 7, Dove's prism 16, a device for installing interchangeable lenses or aperture 17. The photoelectric microscope is connected to the electronic unit 18 and the differential amplifier 19, the electromagnetic relay and the switch 20, and the outputs of the electronic unit 18 and the differential amplifier are connected to the second input of the microcomputer 14.
Подсветка объекта при его установке на измер емую позицию осуществл етс при помощи осветител со световодом 21, зеркал 22 и 23, Зеркало 22 вводитс в случае установки объекта на измер емую позицию и при фотомет- рировании кра или центра изображени объекта 8. Дл регистрации распределени интенсивности дифракционной картины используетс координатный фотоприемник 24, сигнал с которого поступает на вход дифференциального усилител 25, а выход соединен с первым входом микроэвм 14. Фотоприемник 24 установлен на поворотно-рычажной системе 26, св занной с кареткой 27 координатного стола 28, на которой жестко закреплен уголковый отражатель 29 лазерного интерферометра 12, выход которого соединен с электронным блоком 30, а выход электронного блока соединен с третьим входом роЭВМ 14.When an object is mounted on a measurement position, the object is illuminated using an illuminator with a light guide 21, mirrors 22 and 23, Mirror 22 is introduced in case an object is placed on the measurement position and when measuring the edge or center of an image of an object 8. To record the intensity distribution the diffraction pattern uses the coordinate photodetector 24, the signal from which is fed to the input of the differential amplifier 25, and the output is connected to the first input of the microcomputer 14. The photodetector 24 is mounted on a swing-lever system 26, bound to the carriage 27 of the coordinate table 28, which is rigidly fixed roof reflector 29, laser interferometer 12 whose output is connected to an electronic unit 30, and the electronic unit output is connected to the third input 14 roEVM.
Дл перемещени каретки 27 используетс электропривод 31, св занный с выходом микроэвм.- С целью уменьшени габаритов и удобного расположени узлов устройства в первый и во вто To move the carriage 27, an electric drive 31 is used, which is connected to the output of the micro-computer. In order to reduce the size and convenient positioning of the device assemblies in the first and second
00
00
5five
00
5five
00
5five
00
5five
рой считьгеающие каналы лазерного интерферометра введены зеркала 32и 33.The mirrors 32 and 33 are introduced into the laser interferometer channels.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Измер емый объект 8 устанавливают на измер емую позицию с помощью элек тропривода 13, управл емого микроЭВМ 14, и развернутое в определенном положении изображение объекта с помощью призмы 16 Дове контролируетс фотоэлектрическим микроскопом 15 по выходному сигналу электронного блока 18, при этом зеркало 7 устанавливают в положение Выведено, а объектив и осветитель в положение Введен.The object to be measured 8 is installed on the measured position using an electric drive 13 controlled by microcomputer 14, and the image of the object rotated in a certain position using a prism 16 Dowe is controlled by a photoelectric microscope 15 according to the output signal of the electronic unit 18, while the mirror 7 is set to Concluded, and the lens and illuminator in the position entered.
Дл реализации дифракционного метода измерени ввод т зеркало 7. Объектив замен ют на диафрагму и вывод т осветитель 21, при этом пучок света от He-Ne лазера 1, пройд модул тор 2, телескопическую систему 3, диафрагму 4, зеркальную систему, состо щую из зеркал 5-7, диафрагму, объект 8 измерени дифрагирует на нем и при помощи зеркала 23 направл етс на фотоприемник 24.To implement the diffraction measurement method, a mirror 7 is inserted. The lens is replaced with a diaphragm and an illuminator 21 is output, with a beam of light from a He-Ne laser 1, a modulator 2, a telescopic system 3, a diaphragm 4, a mirror system consisting of mirrors 5-7, the diaphragm, the measurement object 8 diffracts on it and with the help of the mirror 23 is directed onto the photodetector 24.
Распределение интенсивности дифракционной картины регистрируетс в плоскости сканировани координатного фотоприемника 24, и электрические сигналы с выхода фотоприемника поступают на вход -дифференциального усилител 25, выход которого св зан с первым входом микроЭВМ. Рассто ние между экстремумами дифракционной картины измер етс при помощи лазерного интерферометра 12, уголковый отражатель которого жестко закреплен на каретке 27 координатного стола 28. Перемещение каретки совместно с поворотно-рычажной системой 26 и установленного на ней координатного фотоприемника 24 осуществл етс от электропривода 31, управл емого микроЭВМ.The intensity distribution of the diffraction pattern is recorded in the scanning plane of the coordinate photoreceiver 24, and electrical signals from the output of the photodetector arrive at the input of a differential amplifier 25, the output of which is connected to the first input of the microcomputer. The distance between the extremes of the diffraction pattern is measured using a laser interferometer 12, the angular reflector of which is rigidly fixed on the carriage 27 of the coordinate table 28. The carriage moves together with the rotation-lever system 26 and the coordinate photodetector 24 installed on it from the electric drive 31 controlled microcomputer.
Выходной сигнал, поступающий с электронного блока 30 лазерного интерферометра 12 поступает на третий вход микроэвм. Сигналы, поступающие одновременно на первый и третий входы микроэвм, обрабатываютс по заданной программе, и результаты измерени занос тс на цифропечать.The output signal from the electronic unit 30 of the laser interferometer 12 is fed to the third input of the microcomputer. Signals arriving simultaneously at the first and third inputs of the microcomputer are processed according to a predetermined program, and the measurement results are entered into digital printing.
Дл измерени периодических структур или отдельных элементов фотометрическим методом используетс осветитель , зеркало 22, которое вводитс перемещением сверху вниз и направл етс световой поток, отразившийс отTo measure the periodic structures or individual elements by the photometric method, an illuminator is used, a mirror 22, which is introduced by moving from top to bottom and the luminous flux reflected from
зеркала 23, на объект 8, при этом при помощи приспособлени вводитс объектив и выводитс зеркало 7.mirrors 23, to object 8, whereby with the help of a device a lens is introduced and a mirror 7 is output.
Объект 8 измерени устанавливаетс на измер емую позицию перемещением каретки 9, управл емой электроприводом 13, св занным с микроЭВМ 14. Положение изображени объекта развернутое в определенном направлении призмой 16 Дове контролируетс по выходному сигналу электронного блокаThe measurement object 8 is set to the measured position by moving the carriage 9 controlled by the electric drive 13 connected to the microcomputer 14. The image position of the object is turned in a certain direction by the prism 16 Dow is controlled by the output signal of the electronic unit
18или дифференциального усилител 18 or differential amplifier
19по заданному уровню освещенности.19 at a given level of illumination.
Фор м у ла изобретени Устройство дл определени размеров малых объектов, содержащее источник излучени « и расположенные послеэлектропривод второй каретки, дифференциальный усилитель, вход которого соединен с микроскопом , и отсчетное приспособление, о т личающеес тем, что, с целью повьшени точности, производительности определени и расширени класса измер емых объектов, оно снаб Q жене расположенными последовательно между микроскопом и третьим зеркалом., призмой Дове, приспособлением дл смены объективов и диафрагм, четвертым зеркалом , переключателем, включенным междуForms of the invention. A device for determining the size of small objects, containing a radiation source and located after the electric drive of the second carriage, a differential amplifier, the input of which is connected to a microscope, and a reading device, which, in order to improve the accuracy, performance and extension of the class of measured objects, it provides the Q with a wife located in series between the microscope and the third mirror., Dove prism, a device for changing lenses and diaphragms, the fourth mirror, switch between
15 микроскопом и дифференциальным усилителем , электронным усилителем, вход которого соединен с переключателем, микроэвм, входы которой соединены с выходами фотоприемника, электронного15 a microscope and a differential amplifier, an electronic amplifier, the input of which is connected to a switch, a microevm, the inputs of which are connected to the outputs of a photodetector, electronic
довательно вдоль пучка излучени мо- 20 дифференциального усилителей, а выдул тор , телескопическую систему, диафрагму, два зеркала., фотоэлектрический микроскоп, третье зеркало, фотоприемник, координатный стол, каретку , установленную с возможностью перемещени на столе, электропривод каретки, предметный стол, вторую каретку , установленную с возможностью перемещени на предметном столе.successively along the radiation beam of a mono-differential amplifier 20, and the blower, telescopic system, diaphragm, two mirrors., photoelectric microscope, third mirror, photoreceiver, coordinate table, carriage mounted for movement on the table, electric carriage, subject table, second a carriage mounted for movement on the object table.
ходы - с электроприводами кареток координатного и предметного столов, а описанное приспособление выполнено в виде лазерного интерферометра и 25 двух уголковых отражателей, один из которых закреплен на каретке координатного , а другой - на каретке пр ед- метного столов, а выход интерферометра соединен с входом микроЭВМ.the moves are with electric drives of the carriages of the coordinate and object tables, and the described device is made in the form of a laser interferometer and 25 two corner reflectors, one of which is fixed on the coordinate carriage and the other on the carriage of the objective table, and the output of the interferometer is connected to the microcomputer input .
электропривод второй каретки, дифференциальный усилитель, вход которого соединен с микроскопом , и отсчетное приспособление, о т личающеес тем, что, с целью повьшени точности, производительности определени и расширени класса измер емых объектов, оно снаб Q жене расположенными последовательно между микроскопом и третьим зеркалом., призмой Дове, приспособлением дл смены объективов и диафрагм, четвертым зеркалом , переключателем, включенным междуthe electric drive of the second carriage, the differential amplifier, the input of which is connected to the microscope, and the readout device, is due to the fact that, in order to improve the accuracy, the performance of determining and expanding the class of measured objects, it provides Q with the wife arranged in series between the microscope and the third mirror. , a Dove prism, a device for changing lenses and diaphragms, a fourth mirror, a switch connected between
15 микроскопом и дифференциальным усилителем , электронным усилителем, вход которого соединен с переключателем, микроэвм, входы которой соединены с выходами фотоприемника, электронного15 a microscope and a differential amplifier, an electronic amplifier, the input of which is connected to a switch, a microevm, the inputs of which are connected to the outputs of a photodetector, electronic
дифференциального усилителей, а выходы - с электроприводами кареток координатного и предметного столов, а описанное приспособление выполнено в виде лазерного интерферометра и двух уголковых отражателей, один из которых закреплен на каретке координатного , а другой - на каретке пр ед- метного столов, а выход интерферометра соединен с входом микроЭВМ. differential amplifiers, and the outputs are electrically driven by the carriages of the coordinate and object tables, and the described device is made in the form of a laser interferometer and two corner reflectors, one of which is fixed on the coordinate carriage, and the other on the carriage of the dimmer table, and the output of the interferometer is connected with the entrance of the microcomputer.
itiiti
-Ж-J
35i35i
2020
1515
. .
- --- - - --- -
I / г- -Г II / g- - I
фие. 1fie. one
mi mi
Г R
T T
«s"S
cr tcr t
CSJ CMCSJ CM
0000
«SI"SI
емeat
AA
J eJ e
УHave
С:У fMC: U fM
..
//
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874293878A SU1469344A1 (en) | 1987-06-29 | 1987-06-29 | Device for determining dimensions of small objects |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874293878A SU1469344A1 (en) | 1987-06-29 | 1987-06-29 | Device for determining dimensions of small objects |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1469344A1 true SU1469344A1 (en) | 1989-03-30 |
Family
ID=21323113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874293878A SU1469344A1 (en) | 1987-06-29 | 1987-06-29 | Device for determining dimensions of small objects |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1469344A1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2531760C2 (en) * | 2012-12-07 | 2014-10-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт космических исследований Российской академии наук (ИКИ РАН) | Device for obtaining images of microscopic objects |
| RU2542633C1 (en) * | 2013-09-10 | 2015-02-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | Laser caliper and method of its calibration |
-
1987
- 1987-06-29 SU SU874293878A patent/SU1469344A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Measurement and Control, 1974, № 2, p.45-46. Лизунов В.Д. Лазерш 1й измеритель малых поперечных размеров. Информ. листок № 39-80НТД ЦНТИ, Новосибирск, 1980. ,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗМЕРОВ МАЛЫХ ОБЪЕКТОВ * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2531760C2 (en) * | 2012-12-07 | 2014-10-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт космических исследований Российской академии наук (ИКИ РАН) | Device for obtaining images of microscopic objects |
| RU2542633C1 (en) * | 2013-09-10 | 2015-02-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | Laser caliper and method of its calibration |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5185822A (en) | Focusing structure in an information reading apparatus | |
| SE7608141L (en) | OPTICAL DEVICE FOR DETERMINATION OF LIGHT | |
| US4037958A (en) | Apparatus for determining photoelectrically the position of at least one focusing plane of an image | |
| SU1469344A1 (en) | Device for determining dimensions of small objects | |
| US4465366A (en) | Device for the photoelectric determination of the position of at least one focal plane of an image | |
| US3652164A (en) | Relative back focus monitoring method and apparatus | |
| US3794426A (en) | Holographic spectrometer | |
| SU1370456A1 (en) | Method of fixing position of object outlines | |
| RU2065582C1 (en) | Device for testing quality of light beams | |
| US3829222A (en) | Device to introduce an optic measuring index at photoelectric detection of photographic plates | |
| JPH05332918A (en) | Chromatoscanner | |
| SU1281950A1 (en) | Device for determining focal plane of lens | |
| JPS633204A (en) | Optical detector | |
| RU189107U1 (en) | An optical radiation input device for applying time stamps to a high-speed photochronographic recorder | |
| SU1716360A1 (en) | Device for measuring spectral transmittance of objective | |
| JPS57199909A (en) | Distance measuring device | |
| US4601581A (en) | Method and apparatus of determining the true edge length of a body | |
| SU1420486A1 (en) | Element-wise analyzer of color cine image | |
| US3453439A (en) | Optical correlator for determining the longitudinal displacement of similar information on two tracks | |
| SU391411A1 (en) | METHOD OF MEASUREMENT OF MIRROR COMPONENT | |
| SU1317338A1 (en) | Device for measuring spectrum transmission factors of optical elements and systems | |
| SU1116328A1 (en) | Device for processing spectrosensitograms | |
| SU958852A1 (en) | Device for measuring object angular displacement | |
| SU1101855A1 (en) | Optical correlator | |
| SU1024709A1 (en) | Non-flatness checking device |