Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол неплоскостности рабочих поверхностей и непр кюлинейНОС .ТИ направл ющих. Наибо ее близким к изобретению по твхнйческс Й сущности и достигаемым результатам вл етс устройство дл контрол неплэскостности, содержащее каретку со ду№эм, устанавливаемую с возможностью перемещений по контро ируе мой :Яюве:рхности, оптически св занные излучатель с диафрагмой и приемную часть, выполненную в виде фртоприемнйка и подключенного к нему измеритель ного блока .8 устрой- стве дл контрол неплоскостности излучатель установлен неподвижно :на одном из краев контролируемой поверхности, а ютрприемник - на каретке ij . Недостатком известного устрсЛства вл етс нест млЬность чувствительности при изменении рассто ни от излучател до фотоприемника, св занна с тем, что выполнение в нем приемной части не устран ет вли ни р асфокусировки при перемещении каретки. Цепь изобретени -повывгение чувствительности устройства. Эта достигаетс за счет того что устройство д/м контрол неплоскостности , содержащее каретку со щупом , устанавливаемую с возможностью перемещени по контролируемой поверх ности, оптически св занные излучатель с диафрагмой и приемную часть, снабжено светоделителем, диафрагма кинематически св зана со щупом, светоделитель установлен между кареткой и приемной частью, выполненной в виде установленных на общем основании и расположенных в разных ветв х светового потока от светоделител анализатора изображений, содержащего ра.зделительную призму и два фотоприемника , установленных напротив светоотражающих граней призмы, блока регистрации положени излучател на оси измерени , содержащего последовательно установленные виброщелевой модул тор и фотоприемник, и измери тельного блока, содержащего два гене ратора опорных напр жений (ГОН), две электронные фазоизмерителЬные , два двигател с редукторами, два датчика перемещений и логическую схему, первый вход фазоизмерительНОЙ схемы подключен к выходам первого и второго фотоприёмников, первый вход второй фозоизмериТельнрйсхемы подключен к выходу, третьего фотоприемника , вторые йходы фазоизмерительных схем подключены соответственно к выходам ГОН, к выходам фазоизмерительных схем/последовательно подклюй чены двигатели с редукторами, первый редуктор кинематически св зан с анализатором изображений, второй редуктор кинематически св зан с основанием приемной части, установленным с возмсйкностью перемещений, вход первого датчийа перемещений кинематически св зан с первым редуктором, вход второго датчика перемещений кинематически св зан с основанием приемной части, выходы датчиков перемещений подключены к логической схеме, На « ртеже изображена блок-схема устройства дл контрол неплоскостности . Устройство содержит импульсный источник 1- излучени , диафрагму 2, закрепленную на направл ющей 3 , имеющую возможность перемещейий перпендикул рно , оптической оси в горизонтальной плоскости и кинематически св занную со щупом , установленным на перемещаемой по контролируемой плоскости 5 каретке 6, объектив 7, светогделительную плоскопараллельную пластину 8, расположенную между объективом 7 и его фокальной плоскостью и установленную под углом к оптической оси объектива 7 приемную часть, содержащую разделительную призму 9 расположенную в фокальной Плоскости объектива 7 фртоприемники 10 и 11, зеркало 12, установленное под углом Ц к оптической оси объектива 7, куб-Призму 13, расположенную на пути пучка лучей, отраженного зеркалом 12, координатный фотоприемник 1, установленный параллельно грани куб-Призмы 13, виброщелевой модул тор 15, расположенный за куб-призмой 13, фотоприемник 16, установленный за виброщелевым модул тором 15, усилитель 17, подключенный к фотоприемнику 16, генератор 18 опорного напр жени (гон), подк/юченный к виброщелевому модул тору-15, Злект- : ронную фазоизмерительную схему 19, подключенную к ГОН 18, двигатель 20, св занный с электронной фазоизмериг тельной схемой 19, редуктор 21, кинематически св занный с двигателем 20, общее основание 22 приёмной части, имеющее кинематическую св зь с редуктором 21, усилитель 23, подключенный .к фотоприемникам 10 и If, ГОН 2k, электронную фазоиэмерительную сжему 25, подключенную к ГОН 21, двигатель 26, св занный с электронной фазоизмерите ьной схемой 25 редуктор 27, кинематиМески св занньй с двигател ем 26 датчик перемещений - потенциометр28, ки ематй ес ки св занный с редуктором 27 логическую схему 29, подключенную к потенциометру 28 датчик перемещ ений потенциометр 30,; кинематически св за ный с общим основанием 22 и подключеннЬ1Й к логический схеме 219. Устройство работает следующим :ОбраЗОМ. . : : . , , ; . ; . - , -. : Лу истый поток от источника 1 излучени , пройд объектив 7, светод еЛйт«х1ьную пластину 8, зеркало 12, куб-призму 13, попадает на виброщеле в,6й модул тор 15 ( перемещающийс вдоль оптической оси, и затем на фотоприемник 16. Сигнал, сн тый с фрторриемника 16, усиливаетс и усилителе 17 и попадает 6 электронную (мтельиую схему 19, а потом на двигатель 20, Двигатель 20 вращает редуктор 21 до тех пор, пока виброщелевой модул тор 15 не установитс в плоскости изображени . Наличие неплоскостности приводит к смещению изображени в. плоскости призмы 9. В результате этого возникает угловое рассогласование, изнер емоеампштудным анализатором - призмой 9 и фотоприемниками 10 и 11. В результате двигатель 26 отработает искомое угловое рассогласование. Величины угловых рассогласований ртс«4итываютс с потенциометра 28. Сигналы с потенциометров 28 и 30 поступают а логическую схему 29 выдает информацию о контролиpyeMciM параметре. Координатно-чувствительный фотоприемник 1 служит дл грубого наведе ; ни приемной части на источник 1 излучени м Снабжение устройства дл контрол неплоскостиости бжжом регистрации положени излучател , содержащим последовательно установленные вдоль оптическс Й оси куб-призму, виброщелевой модул тор и фотоприемник, обеспе-. чи|вает ав томатическую фокусировку. изображени источника 1 излучени в плоскрсти ребра призмы 12. Поскольку анализаторы в виде светодетмтельиых призм имеют тем большую чувствительность , чем меньше диаметр изображени чувствительность предлагаемого устройства максимальна и стабильна дл различных точек контролируемой пртерхнрсти.The invention relates to a measuring technique and can be used to control the non-flatness of working surfaces and non-linearization of these guides. Its closest to the invention of the essence of the invention and the achieved results is a device for controlling the flatness, containing a carriage with a dm em installed with the possibility of movement on the control: Yayuve: polarity, optically coupled emitter with a diaphragm and receiving part made in the form of a receiver, and a measuring unit connected to it .8 a device for controlling the non-flatness of the radiator is fixed: on one of the edges of the test surface, and the receiver is on the carriage ij. A disadvantage of the known device is that the sensitivity does not vary when the distance from the radiator to the photodetector is changed, due to the fact that the implementation of the receiving part in it does not eliminate the effect of focusing when moving the carriage. The circuit of the invention is an increase in the sensitivity of the device. This is achieved due to the fact that the device d / m of control of non-flatness, containing a carriage with a probe, mounted for movement on a controlled surface, an optically coupled emitter with a diaphragm and a receiving part, is equipped with a beam splitter, the diaphragm is kinematically connected with the probe, the beam splitter is installed between the carriage and the receiving part, made in the form of a luminous flux installed on a common base and located in different branches from the beam splitter of the image analyzer, containing a splitter a prism and two photodetectors installed opposite the reflective faces of the prism, an emitter position recording unit on a measurement axis containing a sequentially installed vibrating slot modulator and a photodetector, and a measuring unit containing two reference voltage generators (GON), two electronic phase-measuring, two motor with gearboxes, two displacement sensors and a logic circuit, the first input of the phase-measuring circuit is connected to the outputs of the first and second photoreceivers, the first input of the second photometerTel Lines are connected to the output of the third photodetector, the second yodes of phase-measuring circuits are connected respectively to the GON outputs, to the outputs of phase-measuring circuits / motors with gearboxes are connected in series, the first gearbox is kinematically connected to the image analyzer, the second gearbox is kinematically connected to the base of the receiver part, installed with the possibility of displacements, the input of the first displacement sensor is kinematically connected with the first gearbox, the input of the second displacement sensor is kinematically connected with based em receiving portion, the displacement sensor outputs are connected to a logic circuit, in "rtezhe a block diagram of apparatus for inspecting flatness. The device contains a pulsed source of 1 radiation, a diaphragm 2 fixed on guide 3, having the ability to move perpendicular to the optical axis in a horizontal plane and kinematically connected with a probe mounted on a carriage 6 moving on a controlled plane 5, a carriage 7, a flat-parallel light-separating a plate 8 located between the lens 7 and its focal plane and installed at an angle to the optical axis of the lens 7, the receiving part containing the separation prism 9 located focal plane of the lens 7 phytobranchs 10 and 11, a mirror 12 mounted at an angle C to the optical axis of the lens 7, a cube-prism 13, located on the path of the beam of rays reflected by the mirror 12, a coordinate photodetector 1 installed parallel to the face of the cube-prism 13, vibrodropel the modulator 15, located behind the cube-prism 13, the photodetector 16, mounted behind the vibrating-strip modulator 15, the amplifier 17, connected to the photo-receiver 16, the generator 18 of the reference voltage (gon), connected to the vibrating-strip modulator-15, Electro- : Ron phase meter The second circuit 19 connected to the GON 18, the motor 20 connected to the electronic phase-measuring circuit 19, the gearbox 21, kinematically connected to the engine 20, the common base 22 of the receiving part, having a kinematic connection with the gearbox 21, the amplifier 23, connected. to photoreceivers 10 and If, GON 2k, an electronic phase measurement gauge 25, connected to GON 21, engine 26, connected to an electronic phase measurement circuit 25, gearbox 27, kinematics connected with a motor 26 displacement sensor - potentiometer 28, with gearbox 27 lo nical circuit 29 connected to the potentiometer 28, the potentiometer eny moving the transducer 30 ,; kinematically connected with common base 22 and connected to logic circuit 219. The device operates as follows: IMAGE. . ::. ,, . ; . -, -. A: a clear flux from a radiation source 1, passing a lens 7, a light emitting diode plate 8, mirror 12, a cube-prism 13, falls on a vibrator in the 6th modulator 15 (moving along the optical axis, and then on a photodetector 16. Signal , removed from the fluorometer 16, is amplified by the amplifier 17 and gets 6 electronic (memory circuit 19, and then onto the engine 20, the engine 20 rotates the gear 21 until the vibroscattering modulator 15 is installed in the image plane. The presence of flatness leads to displacement of the image in the plane of the prism 9. As a result This results in an angular mismatch, an external amp analyzer — a prism 9 and a photoreceiver 10 and 11. As a result, the engine 26 will work out the desired angular mismatch. The magnitude of the angular mismatch PTS is read from the potentiometer 28. The signals from the potentiometers 28 and 30 are received and the logic circuit 29 provides information About the pyeMciM parameter. Coordinate-sensitive photodetector 1 serves for rough guidance; Neither the receiving part of the radiation source 1. The supply of the device for controlling the non-planarness of the recording of the position of the radiator, containing a cube-prism consistently installed along the optical axis, a vibro-shunting modulator and a photodetector, is provided. auto focusing. the images of the radiation source 1 in the planar edge of the prism 12. Since the analyzers in the form of light reflection prisms have a greater sensitivity, the smaller the diameter of the image, the sensitivity of the proposed device is maximum and stable for different points of the controlled surface.