SU146090A1 - Устройство дл безокислительного напылени реплик - Google Patents

Устройство дл безокислительного напылени реплик

Info

Publication number
SU146090A1
SU146090A1 SU677689A SU677689A SU146090A1 SU 146090 A1 SU146090 A1 SU 146090A1 SU 677689 A SU677689 A SU 677689A SU 677689 A SU677689 A SU 677689A SU 146090 A1 SU146090 A1 SU 146090A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
sample
vacuum
replicas
spraying
oxidative
Prior art date
Application number
SU677689A
Other languages
English (en)
Inventor
М.Г. Лозинский
Р.В. Яглов
Original Assignee
М.Г. Лозинский
Р.В. Яглов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by М.Г. Лозинский, Р.В. Яглов filed Critical М.Г. Лозинский
Priority to SU677689A priority Critical patent/SU146090A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU146090A1 publication Critical patent/SU146090A1/ru

Links

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

Известны устройства дл  безокислительного напылени  реплик, состо щие из вакуумной камеры, внутри которой установлен образец, подвергаемый воздействию раст гиваемых напр жений и нагреву в широком интервале температур, и оптического устройства дл  наблюдени  и фотографировани  микроструктуры поверхности образца в процессе, а также дл  выбора, подлежащего исследованию на электронном микроскопе.
Описываемое устройство отличаетс  от известных тем, что оно снабжено испарителем, например в виде спирали из молибденовой проволоки , перемещение которого вдоль испытуемого образца осуществл ют посредством винтового стержн  и вакуумного уплотнител , установленных в полости корпуса устройства. Это обесп ечивает испарение и осаждение конденсата при нанесении кварцевых, металлических и угольных реплик на выбранную поверхность образца без предварительного извлечени  его из рабочей вакуумной камеры.
На фиг. 1 изображена принципиальна  схема од ого из вариантов устройства; на фиг. 2 - схема устройства дл  напылени  угольных реплик на поверхность исследуемого при нагреве в вакууме металлического образца.
Вакуумна  рабоча  камера устройства состоит из металлических корпуса / и крышки 2- Исследуемый образец 3 укреплен в захватах 4 и 5. Один конец образца 5 щарнирно соединен с неподвижной опорой 6, жестко св занной с корпусом 1, а второй конец образца через захват 4 и электрически изолирующий его шарнир 7 подвергаетс  воздействию раст гивающих напр жений, передаваемых т ге 8- Дл  обеспечени  возможности перемещени  т ги 8 без нарушени  герметичности вакуумной камеры служит сильфон 9. Нагрев образца производитс  пропусканием по нему переменного тока промышленной частоты (50 гц), подводимого от трансформатора 10 к водоохлаждаемым элект№ 146090- 2,родам // и 12. Последние проход т через специальные вакуумные уплотнени  в корпусе. Измерение температуры образца производитс  при помощи термопары 13, спай которой приварен к средней части образца , а выводы, пропущенные через вакуумное уплотнение, подключены к гальванометру 14. Откачка воздуха и газов из рабочей камеры осуществл етс  через патрубок 15 вакуумной системы (на чертеже не показана ), а патрубок 16 предназначен дл  присоединени  к вакууйметру . Наблюдение и фотографирование микроструктуры поверхности образца осуществл етс  через смотровое кварцевое стекло 17. Объектив 18 металлографического микроскопа обращен к полированной поверхности образца 3. Заслонка /9, приводима  в движение руко ткой 20 через коническое вакуумное уплотнение 21, служит дл  предотвращени  осаждени  на смотровом стекле испар ющихс  частиц при высокотемпературном нагреве металла (образца и деталей описываемого ниже устройства дл  напылени  реплик).
Напыление на поверхность образца кварцевых или металлических реплик осуществл етс  следующим образом.
Подлежащий напылению материал 22 помещаетс  в испаритель 23 (например в спираль из вольфрамовой проволоки). Питание обмотки испарител  производитс  от трансформатора 24- Ввод питающего напр жени  в рабочую камеру осуществл етс  через вакуумное уплотнение 25- Дл  перемещени  в вакууме испарител  23 вдоль образца служит винт 26, приводимый во вращение руко ткой 27 через вакуумное уплотнение 28. При этом сухарь 29 нередвигаетс  в направл ющем пазу в опоре 6. В металлическом экране 30 имеетс  отверстие, размещенное над образцом по оси испарител . Через это отверстие может производитьс  выбор подлежащего исследованию в электронном микросконе участка поверхности, проходить при нанесении реплики поток испар ющихс  частиц, а также осуществл тьс  фотографирование микроструктуры. При рассматривании микроструктуры испаритель 23 отводитс  в сторону от отверсти  в экране 30- Дл  этой цели предназначен рычаг 31, управл емый руко ткой 32 через вакуумное уплотнение 33. Поворот испарител  производитс  на оси 34Напыление угольных реплик на поверхность исследуемого при нагреве в вакууме металлического образца осуществл етс  следующим образом.
Испытуемый образец 35 (см. фиг- 2), прикрепленный к электроду 36, размещен в вакуумной камере, образуемой корпусом 37 и крыщкой 38. На поверхность образца 35 осаждаетс  графит, испар ющийс  при горении электрической дупи 39 между угольными электродами 40 и 41- Поворотный экран 42 служит дл  предохранени  от напылени  графита на смотровое стекло 43, а дл  ограничени  зоны осаждени  графита на образце служит передвижкой экран 44. Управление перемещением угольных электродов осуществл етс  через электрические изолированные от корпуса камеры вакуу.мные уплотнени  45. Источник 46, питающий дугу напр жени , присоединен к угольным электродам 40 и 41Наблюдение за микроструктурой образца и выбор подлежащего напылению участка производ тс  при помощи металлографического микроскопа 47. Патрубки 48 и 49 служат дл  соединени  с системами откачки и измерени  вакуума соответственно.
Предмет и з о б р е т е н и  
Устройство дл  безокислительного напылени  реплик, состо нхее из вакуумной камеры, внутри которой установлен образец, подвергаемый воздействию раст гиваемых напр жений и нагреву в широком интервале температур, и оптического устройства дл  наблюдени  и фотографировани  микроструктуры поверхности образца в процессе проводимого испытани , а также дл  выбора, подлежащего исследованию на электронном микроскопе участка, отличающеес  тем, что, с целью испарени  и осаждени  конденсата при нанесении кварцевых, металлических и угольных реплик на выбранную поверхность образца без предварительного извлечени  его из рабочей вакуумной камеры, устройство снабжено испарителем, например, в виде спирали из молибденовой проволоки, перемещение которого вдоль испытуемого образца осуществл ют посредством винтового стержн  и вакуумного уплотнени , установленных в полости корпуса устройства.
- 3 -№ 146090
Ф1/г
fpuz. г
э
SU677689A 1960-08-29 1960-08-29 Устройство дл безокислительного напылени реплик SU146090A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU677689A SU146090A1 (ru) 1960-08-29 1960-08-29 Устройство дл безокислительного напылени реплик

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU677689A SU146090A1 (ru) 1960-08-29 1960-08-29 Устройство дл безокислительного напылени реплик

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU146090A1 true SU146090A1 (ru) 1961-11-30

Family

ID=48301577

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU677689A SU146090A1 (ru) 1960-08-29 1960-08-29 Устройство дл безокислительного напылени реплик

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU146090A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4045181A (en) * 1976-12-27 1977-08-30 Monsanto Company Apparatus for zone refining
US4201746A (en) * 1976-12-27 1980-05-06 Monsanto Company Apparatus for zone refining

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4045181A (en) * 1976-12-27 1977-08-30 Monsanto Company Apparatus for zone refining
US4201746A (en) * 1976-12-27 1980-05-06 Monsanto Company Apparatus for zone refining

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Hashimoto et al. High temperature gas reaction specimen chamber for an electron microscope
SU146090A1 (ru) Устройство дл безокислительного напылени реплик
Robinson A wet stage modification to a scanning electron microscope
US3830721A (en) Hollow cathode sputtering device
US2826701A (en) Low temperature chamber for electronoptics instruments
Barber Platinum resistance thermometers of small dimensions
GB966918A (en) Gyromagnetic resonance method and apparatus
US2514382A (en) High temperature device for X-ray diffraction
US2417213A (en) Device for indirect heating of materials
Akbi A method for measuring the photoelectric work function of contact materials versus temperature
SU127062A1 (ru) Способ дилатометрического исследовани материалов и объемный дилатометр дл осуществлени способа
Anderson et al. Work function of lead
Rood et al. Photodimerization of anthracene single crystals in situ in the electron microscope
SU94327A1 (ru) Установка дл измерени микротвердости металлов и сплавов
Haymann et al. An ionic etching unit
Bond Simple Hot Powder Camera
SU147000A1 (ru) Устройство дл автоматической наводки и фокусировки микроскопа при наблюдени х микроструктуры металлов и сплавов в процессе деформации с различными скорост ми и нагревом в широком диапазоне температур в вакууме и защитных средах
Gulbransen High temperature furnace for electron diffraction studies
JP7407689B2 (ja) 試料ホルダ及びそれを備える荷電粒子線装置
JPH09161707A (ja) 試料冷却観察装置
Hillier et al. The illuminating system of the electron microscope
Fiasson et al. UHV equipment for Kelvin measurement of surface charge
SU115739A1 (ru) Устройство дл исследовани усталостного разрушени стержневых образцов материалов
US3218925A (en) Microscope furnace stage
SU127464A1 (ru) Устройство дл оценки прочности металлов и сплавов