SU1460424A1

SU1460424A1 - Turbomolecular vacuum pump

Info

Publication number: SU1460424A1
Application number: SU874266038A
Authority: SU
Inventors: Константин Иванович Волков; Вячеслав Сергеевич Кондрашев; Евгений Александрович Петров
Original assignee: Предприятие П/Я В-2058
Priority date: 1987-06-23
Filing date: 1987-06-23
Publication date: 1989-02-23

Abstract

Изобретение позвол ет повысить надежность турбомолекул рного вакуумного насоса. На центральной оси 2 корпуса 1 установлен ротор () 3, снабженный магнитной подвеской 4. Устр-во радиальной стабилизации положени Р 3 выполнено в виде закрепленной на оси 2 втулки 5 и охватывающей ее цапфы 7. Цапфа 7 образует с втулкой 5 кольцевой зазор, снабжена кольцевым выступом 8 и закреплена на Р 3. На поверхности втулки 5, обращенной к цапфе 7, выполнены кулачки 9, раздел ющие зазор на участки , каждый из к-рых имеет величину зазора, уменьшающуюс в направлении вращени Р 3. Выступы 8 преп тствуют свободному сбросу рабочей жидкости из зазора, что обеспечивает стабильное положение Р 3. 2 ил.The invention makes it possible to increase the reliability of a turbomolecular vacuum pump. On the central axis 2 of the housing 1, a rotor () 3 is fitted, equipped with a magnetic suspension 4. The device for radial stabilization of position P 3 is made in the form of sleeve 5 fixed on axis 2 and the trunnion 7 enveloping it 7. Pin 7 forms an annular gap with sleeve 5. an annular protrusion 8 and fixed on P 3. On the surface of the sleeve 5 facing the trunnion 7, cams 9 are made, dividing the gap into sections, each of which has a gap size decreasing in the direction of rotation P 3. Projections 8 prevent the free discharge of working fluid from the gap, which ensures a stable position of P 3. 2 ill.

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.The invention relates to vacuum equipment, and in particular to structures of turbomolecular vacuum pumps.

Цель изобретения - повышение надежности насоса.The purpose of the invention is to increase the reliability of the pump.

На фиг. 1 представлен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 - устройство радиальной стабилизации, поперечное сечение.In FIG. 1 shows the proposed pump, a longitudinal section; in FIG. 2 - radial stabilization device, cross section.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с центральной осью 2, установленный на оси 2 ротор 3, снабженный магнитной подвеской 4, и устройство радиальной стабилизации положения ротора 3, выполненное в виде закрепленной на центральной оси 2 втулки 5 и охваты**· вающей ее с образованием кольцевого зазора 6 цапфы 7, закрепленной на. роторе 3 и снабженной кольцевым выступом 8 в нижней части, причем на поверхности втулки 5, обращенной к цапфе 7, выполнены кулачки 9, разделяющие кольцевой зазор 6 на участ ки, каждый из которых имеет величину зазора, уменьшающуюся в направлении вращения ротора 3.The turbomolecular vacuum pump contains a housing 1 with a central axis 2 mounted on the axis 2 of the rotor 3, equipped with a magnetic suspension 4, and a device for radial stabilization of the position of the rotor 3, made in the form of a sleeve 5 mounted on the central axis 2 and covering it with the formation ** an annular gap 6 of a pin 7 fixed to. the rotor 3 and provided with an annular protrusion 8 in the lower part, and on the surface of the sleeve 5 facing the pin 7, cams 9 are made, dividing the annular gap 6 into sections, each of which has a gap value decreasing in the direction of rotation of the rotor 3.

Насос работает следующим образом.The pump operates as follows.

При вращении ротора 3 откачиваемый газ, попадающий в полость корпуса 1, переносится со насоса на сторону 3 подвешивается в подвески .4, а его зация обеспечивается специальным устстороны всасывания нагнетания. Ротор магнитном поле радиальная стабили-When the rotor 3 rotates, the pumped gas entering the cavity of the housing 1 is transferred from the pump to side 3 and suspended in the suspension .4, and its installation is provided by a special discharge suction side. Rotor magnetic field radial stabilization

В зазор 6 подается рабочая жидкость, которая под действием центробежных сил распределяется по поверх5 ности цапфы 7. Гидродинамическое взаимодействие между кулачками 9 и вращающимся слбем жидкости создает радиальные силы, которые резко возрастают при уменьшении зазора, т.е.A working fluid is fed into the gap 6, which, under the action of centrifugal forces, is distributed over the surface of the pin 7. The hydrodynamic interaction between the cams 9 and the rotating fluid slab creates radial forces that increase sharply with a decrease in the gap, i.e.

IQ при отклонении оси вращения ротора 3 от оси насоса, что приводит к совмещению этих осей. Выступы 8 препятствуют свободному сбросу рабочей жидкости из зазора 6, Таким образом, обеспечение стабильного положения ротора 3 насоса приводит к повышению его надежности.IQ when the axis of rotation of the rotor 3 deviates from the axis of the pump, which leads to a combination of these axes. The protrusions 8 prevent the free discharge of the working fluid from the gap 6, Thus, ensuring a stable position of the rotor 3 of the pump increases its reliability.

Claims

Claim

A turbomolecular vacuum pump containing a housing with a central axis mounted on the axis of the rotor, equipped with a magnetic suspension, and a device for radial stabilization of the position of the rotor, characterized in that, in order to increase reliability, the device for radial stabilization of the position of the rotor is made in the form of a sleeve fixed to the central axis and covering it with the formation of an annular gap of the pin fixed on the rotor and provided with an annular protrusion in the lower part, and on the surface of the sleeve facing the pin, made to patches dividing the annular gap into sections, each of which