SU145011A1 - Способ автоматического измерени - Google Patents

Description

Известны способы автоматического измерени  малых отклонений шага деталей с периодическими структурами, например спиралей замедл ющих линий ЛБВ. Однако такие способы не обеспечивают достаточно быстрых измерений.

В описываемом способе дл  получени  быстрых измерений отклонений шага сравнивают два световых потока. Величина одного из световых потоков посто нна и пропорциональна среднему шагу, а величина другого измен етс  в соответствии с шагом исследуемого издели .

На чертеже изображена схема устройства дл  осуш,ествлени  способа .

Способ автоматического измерени  малых отклонений шага деталей с периодическими структурами состоит в том, что световой поток от осветител  7, проход щий через измер емую деталь, например спираль 2 замедл ющей линии ЛБВ, используют дл  получени  сначала на зеркале 5, а затем на экране 4 увеличенного изображени  витков 5 спирали 2 в виде чередующихс  полос 6 и 7. При этом примен ют оптическую систему 5 с достаточно малым фокусным рассто нием , чтобы избежать фокусировани  диаметрально противоположных частей витков 5. Фотоэлемент засвечивают световым потоком, проход щим сквозь узкую щель 10, длина которой в определенные моменты движени  спирали 2 ограничиваетс  теневыми полосами 7 от двух соседних витков 5, и пропорциональным поэтому щагу спирали 2. Электрические импульсы, в которые преобразуют с помощью фотоэлемента 9 пульсирующий световой поток, имеющие амплитуду, пропорциональную щагу спирали 2, подают в устройство //, к которому подвод т также от фотоэлемента 12 импульсы посто нной амплитуды, соответствующие среднему шагу. Величину светового потока подбирают при помощи ирисовой диафрагмы 13. С устройства 11 напр же