SU1440963A1 - Apparatus for monitoring etching rate - Google Patents

Apparatus for monitoring etching rate Download PDF

Info

Publication number
SU1440963A1
SU1440963A1 SU874177385A SU4177385A SU1440963A1 SU 1440963 A1 SU1440963 A1 SU 1440963A1 SU 874177385 A SU874177385 A SU 874177385A SU 4177385 A SU4177385 A SU 4177385A SU 1440963 A1 SU1440963 A1 SU 1440963A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
vessel
bracket
gas
etching rate
parts
Prior art date
Application number
SU874177385A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Виктор Дмитриевич Бабушкин
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6115
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6115 filed Critical Предприятие П/Я Р-6115
Priority to SU874177385A priority Critical patent/SU1440963A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1440963A1 publication Critical patent/SU1440963A1/en

Links

Landscapes

  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности дл  измерени  скорости размерного химического травлени  деталей. Цель -изобретени  - повышение точности измерений/ Устройство дл  контрол  скоThe invention relates to a measurement technique, in particular for measuring the speed of dimensional chemical etching of parts. The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy / device for monitoring

Description

(L

С.WITH.

1ШЯНР1ШЯНР

ОABOUT

о аabout a

0909

ue.-fue.-f

рости травлени  деталей содержит скобу креплени  1, в которую устанавливают обрабатываемую деталь 2, га- зособирающий сосуд 3 с окнами 4, расположенными по периметру нижней части, шток 6, к нижней части которого при помощи подвижного-соединени 5 крепитс  сосуд 3. Шток 6 перемещают в муфте 7 и фиксируют на скобе 1 при помощи винта 8. При погружении детали вместе с устройством в раствор начинаетс  размерное травление, в процессе которого выдел етс  водород . Часть выделившегос  водорода постепенно заполн ет сосуд 3, вытесн   из него рабочий раствор. В результате чего сосуд 3 поднимаетс  вверх и поворачиваетс  вокруг подвижного соединени  5, В этот момент нат жение т ги 10 ослабевает и магнит 11 под действием груза 12 перемещаетс  к контакту 13, который замыкает цепь, и прибор 14 сбрасывает показани  цифрового измерител  вре- мени. После выхода газа сосуд 3 под действием собственной массы возвращаетс  в исходное положение, и прибор 14 начинает новый счет времени заполнени  сосуда. Далее цикл повтор етс . Шток 6 устанавливают под углом сС к поверхности обрабатываемой детали. В зависимости от погружаемой глубины этот угол мен етс . Така  конструкци  устройства позвол ет за счет соответствующего изменени  положени  газоеобирающего сосуда относительно поверхности обработки при изменении глубины его погружени  в раствор повысить точность измерени  приблизительно на 8%.3 илThe pickling parts of the parts contain a fastener bracket 1, into which the workpiece 2 is installed, a gas collecting vessel 3 with windows 4 located along the perimeter of the lower part, a rod 6, to the lower part of which a vessel 3 is fastened with the help of the movable connection 5 in the coupling 7 and fixed to the bracket 1 with the help of a screw 8. When the part is immersed together with the device, dimensional etching begins in the solution, during which hydrogen is released. Part of the released hydrogen gradually fills vessel 3, displacing the working solution from it. As a result, the vessel 3 rises up and turns around the movable joint 5. At this point, the tension of the rod 10 weakens and the magnet 11 under the action of the load 12 moves to the contact 13, which closes the circuit, and the device 14 resets the digital time meter. After the gas has exited, the vessel 3 is returned to its original position by the action of its own weight, and the device 14 starts a new count of the time of filling the vessel. Then the cycle repeats. The rod 6 is set at an angle cc to the surface of the workpiece. Depending on the immersion depth, this angle varies. Such a design of the device allows, by appropriately changing the position of the gas-collecting vessel relative to the treatment surface, when the depth of its immersion in the solution is increased, the accuracy of the measurement is increased by approximately 8%. 3 or

1one

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  скорости размер- (Ного химического травлени  деталей. The invention relates to a measurement technique and can be used to control the speed of size (chemical etching of parts).

Цель изобретени  - повьщ1ение точности измерений.The purpose of the invention is to increase the measurement accuracy.

На фиг.1 изображено устройство,общий вид; на фиг.2 - то же, вид свер- ху; на фиг.З - графи зависимости времени заполнени  сосуда от угла наклона боковой поверхности сосуда.Figure 1 shows the device, a general view; Figure 2 is the same, view from above; FIG. 3 is a plot of the time it takes to fill a vessel with the angle of inclination of the side surface of the vessel.

Устройство содержит скобу 1 креплени , посредством которой оно при- креплено к вертикально расположенной обрабатываемой детали 2. Газособира ющий сосуд 3 выполнен с пр моугольными окнами 4, вырезанными по периметру боковой поверхности нижней части сосуда 3, и посредством подвижного соединени  5 соединен со скобой 1 креплени  через щток .6, имеющий возможность перемещени  по длине в муфте 7. Фиксаци  штока 6 в муфте 7 осуществлена винтом 8. Угол наклона штока 6 к поверхности обрабатываемой детали 2 устанавливаетс  соответствующим поворотом муфты 7. Фиксаци  муфты 7 в заданном положении осуществл етс  винтом 9. Газосо- бирающий сосуд 3 посредством гибкой т ги 10 соединен с сигнализатором, вьшолненным в виде магнита 11, установленным с возможностью поворота относительно точки опоры под действием груза 12, Магнитоуправл - емый контакт 13 (геркон) размещен над магнитом 11 и электрически св зан с прибором 14, показывающим скорость травлени  обрабатываемой детали 2.The device contains a fastening bracket 1, by means of which it is fastened to a vertically positioned workpiece 2. The gas collecting vessel 3 is made with rectangular windows 4 cut along the perimeter of the lateral surface of the lower part of the vessel 3, and through the movable joint 5 is connected to the fastening bracket 1 through the shaft .6, having the ability to move along the length of the sleeve 7. The stem 6 is fixed in the sleeve 7 by a screw 8. The angle of inclination of the stem 6 to the surface of the workpiece 2 is established by a corresponding turning fasteners 7. Fixing the coupling 7 in a predetermined position is carried out by a screw 9. The gas collecting vessel 3 is connected by means of a flexible rod 10 to a signaling device, made in the form of a magnet 11, which can be rotated relative to the support point under the action of a load 12, Magnetic contact A 13 (reed switch) is placed above the magnet 11 and electrically connected to the device 14, which indicates the etching rate of the workpiece 2.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

В исходном положении устройство посредством скобы 1 креплени  раз - мещаетс  на общей раме креплени  обрабатываемых деталей. Деталь вместе с устройством погружаетс  в трав щий растворд и начинаетс  обработка детали . В процессе травлени  водород, вьдел ющийс  выше границы касани  дном сосуда детали, поднима сь,частично попадает в окно 4, расположенное напротив поверхности травлени , и постепенно заполн ет газо- собирающий сосуд 3, вытесн   из него раствор. Когда подъемна  сила газа станет больше веса сосуда 3, со3UIn the initial position, the device is placed by means of the fastening bracket 1 on the common mounting frame of the workpieces. The part, together with the device, is immersed in the etching solution and the processing of the part begins. In the process of etching, the hydrogen that settles above the boundary of the bottom of the vessel of the part, lifts, partially falls into the window 4 located opposite the etching surface, and gradually fills the gas collecting vessel 3, displacing the solution from it. When the lift force of the gas becomes greater than the weight of the vessel 3, so3U

суд, поворачива сь относительно подвижного сочленени  5, поднимаетс  и полностью выпускает газ через окна 4, расположенные по периметру сосуда. В этот момент нат жение т ги 10 ослабевает и магнит 11 под действием груза 12 перемещаетс  к магнитоуправл емому контакту 13. Магнитоуправл емый контакт 13 срабатывает , и показывающий прибор 14 сбрасьюает показани  цифрового измерител  временного интервала. После выхода газа сосуд 3 под действием собственной массы возвращаетс  в исходное положение, и прибор 14 вновь начинает счет времени заполнени  сосуда 3 газом. Далее цикл повтор етс  Поскольку за .врем  заполнени  сосуthe court, turning relative to the movable joint 5, rises and completely releases the gas through the windows 4 located along the perimeter of the vessel. At this moment, the tension of the gi 10 weakens and the magnet 11 under the action of the load 12 moves to the magnetically controlled contact 13. The magnetically controlled contact 13 triggers and the indicating device 14 resets the digital time interval meter. After the gas has exited, the vessel 3 returns to its original position under the action of its own weight, and the device 14 again starts counting the time of filling the vessel 3 with gas. Then the cycle repeats. Since during the filling of the pump

да газом с обрабатьшаемой детали сни- 20 рэющий сосуд и сигнализатор, о т маетс  заранее известный слой металла , то измеренное врем  заполнени  сосуда дает информацию о скорости обработки детали.Yes, the gas from the treated part is a defrosting vessel and a detector, a previously known layer of metal is trapped, then the measured filling time of the vessel gives information about the speed of processing the part.

В предлагаемом устройстве по мере увеличени  глубины погружени  сосуда в раствор происходит приближение пр моугольного окна к поверхности травлени  и, следовательноз увеличение потока газа, попадающего в сосуд. При уменьшении глубины погружени  сосуда окно отдал етс  от поверхности обработки, и забор газа в сосуд уменьшаетс .In the proposed device, as the depth of immersion of the vessel in the solution increases, the rectangular window approaches the etching surface and, consequently, increases the flow of gas entering the vessel. When the depth of the vessel is reduced, the window is removed from the treatment surface and the gas intake into the vessel is reduced.

Из графика, изображенного на фиг.З, следует, что при погруженииFrom the graph shown in FIG. 3, it follows that when diving

сосуда угол наклона плоскости окна боковой поверхности необходимо уменьшать .vessel angle of inclination of the plane of the window side of the side surface must be reduced.

Таким образом, за счет соответствующего изменени  положени  газо- собирающего сосуда относительно поверхности обработки при изменении глубины его погружени  в раствор можно повысить точность измерени  приблизительно на 8%.Thus, by appropriately changing the position of the gas collecting vessel relative to the surface of the treatment as the depth of its immersion into the solution changes, the accuracy of the measurement can be increased by approximately 8%.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Устройство дл  контрол  скорости травлени  деталей, содержащее опорную скобу дл  вертика-пьной фиксации деталей, колоколообразный газособиличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерений, оно снабжено муфтой и штоком, соединенным со скобой посредствомA device for controlling the etching rate of parts, containing a support bracket for vertical fixation of parts, bell-shaped gas-reinforcing so that, in order to improve measurement accuracy, it is provided with a sleeve and a stem connected to the bracket by 25 муфты и размещенным под острым углом к вертикальной плоскости в направлении детали, при этом газособирающий сосуд прикреплен к нижнему концу штока и выполнен в виде правильной ше30 стигранной пирамиды с пр моугольными окнами, размещенными по периметру боковой поверхности пирамиды у основани , причем рассто ние от скобы до места соединени  ее со штоком равно радиусу вписанной в шестигранник25 of the coupling and placed at an acute angle to the vertical plane in the direction of the part, while the gas collecting vessel is attached to the lower end of the stem and made in the form of a regular upper stigma pyramid with rectangular windows located along the perimeter of the side surface of the pyramid at the base, and the distance from the bracket to the point of its connection with the rod is equal to the radius inscribed in the hexagon 3535 основани  сосуда окружности.base of the vessel circumference. Фие.2Fie.2 t.ct.c 10 of 10 of
SU874177385A 1987-01-08 1987-01-08 Apparatus for monitoring etching rate SU1440963A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874177385A SU1440963A1 (en) 1987-01-08 1987-01-08 Apparatus for monitoring etching rate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874177385A SU1440963A1 (en) 1987-01-08 1987-01-08 Apparatus for monitoring etching rate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1440963A1 true SU1440963A1 (en) 1988-11-30

Family

ID=21278946

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874177385A SU1440963A1 (en) 1987-01-08 1987-01-08 Apparatus for monitoring etching rate

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1440963A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0531149A2 (en) * 1991-09-05 1993-03-10 C. Uyemura & Co, Ltd Etching rate determining method and apparatus

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 603702, кл. С 25 F 7/00, 1978. Авторское свидетельство СССР № 847001, кл. G 01 В 7/06, 1981. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0531149A2 (en) * 1991-09-05 1993-03-10 C. Uyemura & Co, Ltd Etching rate determining method and apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1440963A1 (en) Apparatus for monitoring etching rate
EP0513865A2 (en) Magnetic tilt sensor having a magnetic body arranged on the ceiling portion of the case
US5435196A (en) Immersion probe for collecting slag samples
US5142647A (en) Magnus measuring apparatus
JPS56114743A (en) Accelerating device for pendulum
SU933804A1 (en) Machine for multiprofile chemical etching of parts
SU603702A1 (en) Device for checking thickness of etched layer of metal
JPH05302881A (en) Measuring apparatus of specific gravity
CN219810798U (en) Automatic storage tank metering device of scrubbing
SU1578587A1 (en) Device for determining capillary constant of liquid
US2895329A (en) Process and an apparatus for measuring impurities of water
SU711345A1 (en) Device for monitoring the thiskness of metal layer being etched
US4076007A (en) Gemstone drill
JPS5638129A (en) Automatic takeout method of solid material filled in vessel
SU607102A1 (en) Hydrometric weight
SU1490602A1 (en) Method for measuring density of solid body
JPS56132568A (en) Flow velocity measuring apparatus
JPS6334790Y2 (en)
Yu et al. Atmospheric reaeration in a lake
JPH0531552Y2 (en)
SU1135815A1 (en) Apparatus for continuous removal of precipitate of ferromagnetic powder from two-layer electrolytic bath
JPH0632612Y2 (en) Sludge sedimentation interface detector
SU1223086A1 (en) Method of determining wetting boundary angle
JPH0610868U (en) Liquid suction device
US3119265A (en) Method and apparatus for measuring a column of oil