Claims (2)
1one
Изобретение относитс к вакуумной технике, а именно к конструкци м криогенных средств вакуумировани . The invention relates to vacuum technology, namely to the construction of cryogenic means for evacuating.
Целью изобретени вл етс повышение экономичности путем снижени расхода криоагента, а также повышение надежности.The aim of the invention is to improve the economy by reducing the consumption of the cryogenic agent, as well as increasing the reliability.
На чертеже представлен насос, продольньш разрез.The drawing shows the pump, longitudinal incision.
Криогенный насос содержит вертикальный корпус 1 с крьш:кой 2 и входным патрубком 3 в нижней части, охлаждаемый раднационнъш экран„ выполненный в виде кольцевого сосуда 4 дл хладагента с осевым цилиндрическим каналом 5 и обечайки 6, закрепленной с тепловым контактом на кольцевом сосуде 4, Щ1линдрический шевронный экран 7, коаксиально располо- женный со стороны входного патрубка 3 внутри обечайки 6 радиационного экрана и присоединенный нижним торцом к.ней с тепловым контактом, а верхним - к шевронному экрану 8, и откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 9 дл криоагента, размещенного между кольцевым сосудом 4 дл хладагента, обечайкой 6 радиационного экрана и плоским шевронным The cryogenic pump contains a vertical casing 1 with a crush: which 2 and an inlet 3 at the bottom, a cooled radion screen “made in the form of an annular vessel 4 for a refrigerant with an axial cylindrical channel 5 and a shell 6 fixed with thermal contact on the annular vessel 4, Sch1-cylindrical a chevron screen 7, coaxially located on the side of the inlet nozzle 3 inside the shell 6 of the radiation screen and attached to the lower end of the radiator with thermal contact, and the top to the chevron screen 8, and a pumping element enny a receptacle 9 for cooling agent placed between the annular vessel 4 for coolant, a radiation shield shell 6 and the flat chevron
экраном 8 и снабженного осевой трубкой-подвесом 10, закрепленной на крьш1ке 2 корпуса 1, и криопанелью, выполненной в виде обечайки 11, закрепленной с тепловым контактом на сосуде 9 дл криоагента и размещенной между обечайкой 6 радиационного экрана и цилиндрическим шевронным экраном 7, Насос дополнительно содержит герметично закрепленную на кольцевом сосуде 4 с тепловьм контактом дополнительную обечайку 12, размещенную коаксиально обечайке 6 радиационного экрана, герметично соединенную с ней в нижней части с образованием кольцевой полости 13, сообщенной с кольцевым сосудом 4 дл хладагента, и высокотеплопроводную трубку 14, установленную в цилиндрическом канале 5, контактирующую с его внутренней стенкой и снабженную в верхней части кольцом 15 с внутренним резьбовым отверстием, а трубка-подвес 10 снабжена разъемными герметичными соединени ми 16 и 17, одно из которых размещено на 2 корпуса 1, другое - на сосуде 9 дл криоагента, и резьбовой втулкой 18 со сквозными вертикальными отверсти ми, располо31Д: ,оз9оa screen 8 and equipped with an axial suspension tube 10 mounted on the bottom 1 of the housing 1, and a cryopanel made in the form of a shell 11 fixed with a thermal contact on the cryoagent vessel 9 and placed between the shell 6 of the radiation shield and the cylindrical chevron screen 7, the pump is additionally contains hermetically mounted on the annular vessel 4 with heat contact additional shell 12, placed coaxially to the shell 6 of the radiation screen, hermetically connected with it in the lower part with the formation of the annular cavity and 13 connected to an annular vessel 4 for a refrigerant, and a highly heat-conducting tube 14 installed in a cylindrical channel 5, in contact with its inner wall and provided in the upper part with a ring 15 with an internal threaded hole, and a suspension pipe 10 is provided with detachable hermetic connections 16 and 17, one of which is placed on 2 bodies 1, the other on vessel 9 for a cryoagent, and a threaded bushing 18 with through-holes, located 31D:
женной в резьбовом отверстии кольца ФормулFormula rings in a threaded hole
15 высокотеплопроводной трубки 14. Резьбова втулка 18 снабжена закрепленным на ней колпачковым экраном 19, перекрьгоающим вертикальные отверсти , причем поверхности колпачкового экрана 19 и резьбовой втулки 18, обращенные одна к другой, и стенки вертикальных отверстий имеют покрытие с высокой-Q ловым контактом на кольцевом сосуде, поглощающей способностью. Сосуд 9 цилиндрический шевронный экран, ко- дп криоагента снабжен герметично аксиально расположеиньй со стороны закрепленной на его днище втулкой 20, патрубка внутри обечайки имеюп1еи два осевьк глухих отверсти 15 of the highly heat-conducting tube 14. The threaded sleeve 18 is provided with a cap screen 19 fixed thereto, intersecting the vertical holes, the surfaces of the cap screen 19 and the threaded sleeve 18 facing one another and the walls of the vertical holes are coated with a high-Q contact on the ring vessel absorbing capacity. The vessel 9 is a cylindrical chevron screen, the cryoagent cod is equipped with a hermetically axially located on the side of the sleeve 20 fixed on its bottom, the nozzle inside the shell has two axially deaf holes
а изобретени 1. Криогенный насос, содержащий вертикальный корпус с крышкой и входным патрубком в нижней части, охлаж- даемьй радиационный экран, выполненный в виде кольцевого сосуда дл хладагента с осевым цилиндрическим каналом и обечайки, закрепленной с тепрадиационного экрана и црисоед нен- ный нижним торцом к ней с тепловьп-i контактом, а верхним - к шевронному экрану, и откачивающий элемент, пы- полнеиный в виде сосуда дл криоаз еи та, размещенного между кольцевьи- со1. A cryogenic pump containing a vertical casing with a lid and an inlet at the bottom, a cooling radiation screen made as an annular vessel for a refrigerant with an axial cylindrical channel and a shell fixed from the heat radiation screen and crissed at the bottom of the bottom to it with a tepl-i contact, and the upper to the chevron screen, and a pumping-off element, which is hollow in the form of a vessel for a cryogenic chamber located between the annular
21, одно иэ которых вьтолнено со стороны трубки-подвеса 10, другое - со стороны плоского щевронного экрана 8, который снабжен отверстием 22, соосным с глухим отверстием 21.21, one of which is filled from the side of the suspension tube 10, the other from the side of the flat chevron shield 8, which is provided with a hole 22 coaxial with the blind hole 21.
Насос работает следующим образом.The pump works as follows.
В кольцевой сосуд 4 подают хладагенты , что обеспечивает охлаждение шевронных экранов 7 и 8 и обечаек 6 и 12. После стабилизации их температуры подают криоагент в сосуд 9, охлажда криопанель. По достижении на криопанели температуры, близкой к температуре криоагента, насос го- тов к работе. Через патрубок 3 в объем насоса подаетс откачиваемый газ, ко торый, проход через шевронные экраны 7 и 8, поступает к обечайке 11, где концентрируетс . Легкоконденсирующиес компоненты откачиваемого газа конденсируютс на поверхност х щевронных экранов. 7 и 8.Refrigerants are supplied to the annular vessel 4, which provides cooling of the chevron screens 7 and 8 and the shells 6 and 12. After their temperature has stabilized, the cryoagent is supplied to the vessel 9, the cryopanel is cooled. When the cryopanel reaches a temperature close to that of the cryogenic agent, the pump is ready for operation. Through the nozzle 3, the pumped gas, which passes through the chevron screens 7 and 8, is supplied to the pump volume to the shell 11, where it is concentrated. The easily condensable components of the pumped gas are condensed on the surfaces of chevron screens. 7 and 8.
Наличие обечайки 12 позвол ет образовать полость 13 с обечайкой 6 и подать в эту полость хладагент из сосуда А. Таким образом, достигаетс равномерность пол температур в обечайках 6 и 12 и, соответственно, снижение расхода криоагента в сосуде 9 вследствие уменьшени теплопритоков к нему извне.The presence of shell 12 allows you to form a cavity 13 with shell 6 and deliver coolant from vessel A to this cavity. Thus, the temperature field in the shells 6 and 12 is uniform and, accordingly, the cryoagent consumption in vessel 9 is reduced due to a decrease in heat leakage to it from the outside.
Высокотеплопроводна трубка 14 с кольцом 15 позвол ет кроме надежной фиксации трубки-подвеса 10 обеспечить охлааздение ее перед заливом криоагента в, сосуд 9. Разборные соединени 16 и 17 дают возможность упростить сборку-разборку насоса.The highly conductive tube 14 with the ring 15 allows, besides secure fixing of the tube-suspension 10, to ensure its cooling before the cryoagent is poured into the vessel 9. The folding connections 16 and 17 make it possible to simplify the assembly and disassembly of the pump.
Установка в глухие отверсти 21 втулки 20 фиксирующих элементов, сопр гаемых с трубкой-подвесом 10 и отверстием 22 в шевронном экране 8, обеспечивает надежную взаимную фиксацию сосудов 4 и 9 при транспортировке насоса.The installation in the blind holes 21 of the bushings 20 of the fixing elements, which mate with the suspension tube 10 and the opening 22 in the chevron screen 8, ensures reliable mutual fixation of the vessels 4 and 9 when the pump is transported.
ловым контактом на кольцевом сосуде, цилиндрический шевронный экран, ко- аксиально расположеиньй со стороны патрубка внутри обечайки on the annular vessel, a cylindrical chevron screen, coaxially located on the side of the nozzle inside the shell
а изобретени 1. Криогенный насос, содержащий вертикальный корпус с крышкой и входным патрубком в нижней части, охлаж- даемьй радиационный экран, выполненный в виде кольцевого сосуда дл хладагента с осевым цилиндрическим каналом и обечайки, закрепленной с тепловым контактом на кольцевом сосуде, цилиндрический шевронный экран, ко- аксиально расположеиньй со стороны патрубка внутри обечайки 1. Cryogenic pump containing a vertical casing with a lid and an inlet in the lower part, a cooled radiation screen made in the form of an annular vessel for a refrigerant with an axial cylindrical channel and a shell fixed with thermal contact on the annular vessel, a cylindrical chevron screen coaxially located on the side of the pipe inside the shell
радиационного экрана и црисоед нен- ный нижним торцом к ней с тепловьп-i контактом, а верхним - к шевронному экрану, и откачивающий элемент, пы- полнеиный в виде сосуда дл криоаз еи- та, размещенного между кольцевьи- сосудом дл хладагента, обечайкой радиационного экрана и плоским шеврон- ньм экраном и снабженного осевой трубкой-подвесом, закрепленной на крьш1ке корпуса, и криопанелью, выполненной в виде обечайки, закрепленной с тепловым контактом на сосуде дл криоагента и размещенной между обечайкой радиационного экрана и цилиндрическим шевронным экраном, отличающийс тем, что, с целью повышени экономичности путем снижени расхода криоагента, насос дополнительно содержит герметично закрепленную на кольцевом сосуде с тепловымof the radiation screen and the Criso-Ede is not the lower end face of it with heat contact, and the top one - to the chevron screen, and the pumping-off element, which is full of liquid erythrose, placed between the annular vessel and the coolant, the radiation shell screen and a flat chevron screen equipped with an axial tube-suspension mounted on the housing shell and a cryopanel made in the form of a shell fixed with thermal contact on the cryoagent vessel and placed between the shell of the radiation screen and the cylindrical m chevron screen, characterized in that, in order to increase efficiency by reducing the cooling agent flow, the pump further comprises sealingly secured to the annular vessel with thermal
контактом дополнительную обечайку, размещенную коаксиально обечайке радиационного экрана, герметично соединенную с ней в нижней части с образованием кольцевой полости, сообщенной с кольцевым сосудом дл хладагента , и высокотеплопроводную трубку , установленную в цилиндрическом канале, контактирующую с его внутренней стенкой и снабженную в верхнейby contact, an additional shell placed coaxially to the shell of the radiation shield, hermetically connected to it in the lower part with the formation of an annular cavity connected to an annular vessel for the refrigerant, and a high heat conductive tube installed in a cylindrical channel in contact with its inner wall and fitted in the upper
части кольцом с внутренним резьбовым отверстием, а трубка-подвес снабжена разъемными гермет1гчными соединени parts with a ring with an internal threaded hole, and the suspension tube is provided with detachable hermetic connections
ми, одно из которых размещено на крышке корпуса, другое - на сосуде дл криоагента, и резьбовой втулкой со сквозными вертикальными отверсти ми , расположенной в резьбовом отверстии кольца высокотеплопроводной трубки.One of which is placed on the lid of the housing, the other on the vessel for the cryoagent, and a threaded sleeve with through vertical holes located in the threaded hole of the ring of the high heat conducting tube.
2. Насос по п.1, о т л и ч а ю- щ и и с тем, что резьбова втулка снабжена закрепленным на ней колпачковым экраном, перекрывающим2. The pump according to claim 1, about t l and h and yu shch and the fact that the threaded sleeve is provided with a cap-screen fixed on it
514305506514305506
вертикальные отверсти ,-причем по-шени надежности, сосуд дл криоагенверхности колпачкового экрана и резь-та снабжен герметично закрепленнойvertical apertures, in terms of reliability, a vessel for cryo-top surface of the cap shield and the thread is supplied tightly fixed
боной втулки, обращенные одна к дру-на его днище втулкой, имеющей два осевыхone of the bushing sleeves facing one another on its bottom is a sleeve having two axial
гой, и стенки вертикальных отверстийглухих отверсти , одно из которыхgoy, and the walls of the vertical holes of the deaf holes, one of which
имеют покрытие с высокой поглощающейвыполнено со стороны трубки-подвеса,have a high absorbing coating made from the side of the suspension tube,
способностью.другое - со стороны плоского шеврон3 . Насос по п.1,отличаю-ного экрана, а последний снабжен отability. other - from the side of a flat chevron3. A pump according to claim 1, of a different screen, and the latter is supplied from
щ и и с тем, что, с целью повы-верстием, соосным с глухим отверстием.u and with the fact that, in order to increase, coaxially with a blind hole.
10ten