SU1383161A1 - Method of determining path-length difference of optically anisotropic objects - Google Patents
Method of determining path-length difference of optically anisotropic objects Download PDFInfo
- Publication number
- SU1383161A1 SU1383161A1 SU864085383A SU4085383A SU1383161A1 SU 1383161 A1 SU1383161 A1 SU 1383161A1 SU 864085383 A SU864085383 A SU 864085383A SU 4085383 A SU4085383 A SU 4085383A SU 1383161 A1 SU1383161 A1 SU 1383161A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- probing
- luminous flux
- wavelength
- optically anisotropic
- polarization
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области оптического приборостроени , в частности к оптике пол ризационных приборов и анизотропных сред, и может быть использовано в оптической технологии , аналитической химии, микроэлектронике , пищевой и микробиологической промьшшенности. Цель изобретени - увеличение точности и помехоустойчивости измерени . При реализации способа измерени разности хода оптически анизотропных объектов длину волны света от источника 1 ска-, нируют в пределах оптического диапа- с iSThe invention relates to the field of optical instrument making, in particular to the optics of polarization devices and anisotropic media, and can be used in optical technology, analytical chemistry, microelectronics, food and microbiological industry. The purpose of the invention is to increase the accuracy and noise immunity of the measurement. When implementing the method for measuring the path difference of optically anisotropic objects, the wavelength of light from source 1 is scanned within the optical range of iS
Description
2626
QA 00 ОдQA 00 Od
зона с помощью монохроматора 2. Плоскость пол ризации света с помощью призмы Рошона 6 вращают с посто нной частотой. Прошедщий через исследуе- мьй объект 11 свет ретроотражают с помощью изотропного отражател 13. С помощью светоделител 4 вьщел ют компоненту прошедшего через объект светового потока, плоскость пол риза13zone using a monochromator 2. The plane of light polarization using a roshon prism 6 is rotated at a constant frequency. The light passing through the object 11 under study is retroreflected with the help of an isotropic reflector 13. With the help of a beam splitter 4, the component of the luminous flux transmitted through the object is selected, the polarization plane 13
ции которой вращаетс синфазно с плоскостью пол ризации зондирующего светового потока. Сигнал с фотодетектора 17 фильтруют с выделением четвертой гармоники. Регистрируют длину волны зондирующего излучени в момент достижени минимума амплитуды четвертой гармоники и по ней определ ют величину разности хода. 1 ил.which rotates in phase with the plane of polarization of the probing light flux. The signal from the photodetector 17 is filtered with the selection of the fourth harmonic. The wavelength of the probing radiation is recorded at the moment when the minimum amplitude of the fourth harmonic is attained, and the magnitude of the path difference is determined from it. 1 il.
1one
Изобретение относитс к оптическому приборостроению, в частности к оптике пол ризационных приборов и анизотропных сред, и может быть использовано в оптической технологии, аналитической химии, микроэлектронике , пищевой и микробиологической промьшленности.The invention relates to optical instrument making, in particular to optics of polarization devices and anisotropic media, and can be used in optical technology, analytical chemistry, microelectronics, food and microbiological industry.
Целью изобретени вл етс увеличение точности и помехоустойчивости измерений.The aim of the invention is to increase the accuracy and noise immunity of measurements.
На.чертеже показана принципиальна схема устройства, осуществл ющего способ и предназначенного дл контрол разности хода фазовых анизотропных пластинок непосредственно в процессе-их изготовлени .The drawing shows a schematic diagram of the device implementing the method and intended to control the difference in the course of the phase anisotropic plates directly in the process of their manufacture.
Устройство содержит источник 1 излучени , сканирующий монохроматор 2, конденсатор 3, пространственньш светоделитель 4, линзу 5, вращающийс пол ризационный светоделитель 6 типа призмы Рошона, приводимый во вращение двигатель 7, диафрагму 8, пустотелый шпиндель 9 плоскошлифовального станка, привод 10 станка, обрабатьюаемые фазовые пластинки .11 ппаншайбу 12 станка, изот опный отражатель в виде зеркала 13, напыленного на внешнюю поверхность стекл нного притира 14, приводимого в движение водилом 15, фотоприемник 16, фотодетектор (резонансный фильтр 17)f электронньй нуль-индикатор 18, электронньй регистрирующий блок 19 и датчик 20 текущего значени длины волны монохроматора.The device contains a radiation source 1, a scanning monochromator 2, a condenser 3, a spatial beam splitter 4, a lens 5, a rotating polarization beam splitter 6 like a Rochon prism, a rotary motor 7, a diaphragm 8, a hollow spindle 9 of a surface grinder, a machine drive 10, machined phase plates .11 panshaibu 12 of the machine, an optic reflector in the form of a mirror 13, sprayed onto the outer surface of a glass lap 14, driven by the planet carrier 15, photodetector 16, photodetector (resonant filter 17) f electron zero indicator 18, electron registration unit 19 and current value 20 sensor of the monochromator.
Способ измерени разности хода оптически анизотропных объектов осу- ществл ют следующим образом.A method for measuring the path difference of optically anisotropic objects is carried out as follows.
5five
00
«"
5five
00
5five
00
Световое излучение источника 1, прошедшее через сканирующий монохроматор 2, концентрируетс конденсатором 3 на центральной площадке пространственного светоделител 4, образованной .зоной нарушенного оптического контакта между призмами светоделител 4. Отразившеес от центральной площадки светоделител 4 излучение коллимируетс линзой 5 и пол ризуетс вращающимс пол ризационным светоделителем 6, приводимым во вращение двигателем 7. Пол ризационный светоделитель 6 выполнен в виде двупре- ломл ющей призмы типа призмы Рошона, расщепл ющей падающий непол ризован- ньй световой поток на две ортогонально пол ризованных пучка, один из которых отклон етс светоделителем 6 от оси вращени . Отклоненньй световой пучок, вышедший из светоделител 6, подавл етс диафрагмой 8, а осесиммет.ричный пучок прохоДит через пустотелый шпиндель 9 станка, приводимый во вращение приводом 10 и направл етс на центральную в технологическом блоке измер емую фазовую пластинку 11, укрепленную на оптическом контакте на нижней стекл нной планшайбе 12 из отраженного стекла, жестко соединенной со шпинделем 9 станка.The light radiation of source 1 transmitted through scanning monochromator 2 is concentrated by a capacitor 3 in the central area of spatial beamsplitter 4 formed by the zone of disturbed optical contact between the prisms of beamer 4. Radiation reflected from the central area of beamer 4 is collimated by lens 5 and polarized by a rotating beam splitter driven by the motor 7. The polarization beam splitter 6 is made in the form of a bicontracting prism of the Roche prism type, splitting The incident unpolarized luminous flux to two orthogonally polarized beams, one of which is deflected by the beam splitter 6 from the axis of rotation. The deflected light beam coming out of the splitter 6 is suppressed by the diaphragm 8, and the axially symmetric beam passes through the hollow spindle 9 of the machine, which is driven by the drive 10 and directed to the central phase plate 11, fixed on the optical contact bottom glass faceplate 12 of reflected glass, rigidly connected with the spindle 9 of the machine.
Прошедшее через фазовую пластинку излучение отражаетс в обратном направлении изотропным отражателем в виде зеркала 13, напылЪнного на внешнюю поверхность стекл нного притира 14, перемещаемого по блоку наклеенных фазовых пластинок водилом 15. Ретроотраженное от зеркала 13The radiation that has passed through the phase plate is reflected in the opposite direction by an isotropic reflector in the form of a mirror 13 sprayed onto the outer surface of a glass lap 14, which is moved along the block of pasted phase plates by the carrier 15. Retroreflection from mirror 13
излучение проходит через тубус шпиндел 9 и пол ризационный светоделитель 6. Компоненты отраженного излучени , плоскость пол ризации которой параллельна плоскости пол ризаций зондирующего излучени , концентрируетс линзой 5 на центральной зоне пространственного светоделител 4, котора экранирует ее попадание на фотоприемник 16, Компонента отраженного излучени , ортогонально пол ризованна по отношению к зондирующему излучению, отклон етс пол ризационным светоделителем 6 и концентрируетс линзой 5 в периферийной зоне светоделител 4 за пределами центральной отражающей площадки и полностью воспринимаютс фотоприемником 16. Поскольку пол ризационный светоделитель 6 установлен как в пр мом, так и в обратном ходе лучей, то он выдел ет из отраженного излучени компоненту, плоскость пол ризации которой вращаетс синфазно с плоское т-ью пол ризации зондирующего излучени . Сигнал с фотоприемника 16 поступает на вход резонансного избирательного фильтра 17, который в щел е из него колебание с частотой в четыре раза большей модулирующей, амплитуда которого несет информацию о величине разно.сти хода измер емой фазовой пластинки по отношению к длине волны зондирующего излучени .The radiation passes through the spindle tube 9 and the polarization beam splitter 6. The components of the reflected radiation, the polarization plane of which is parallel to the polarization plane of the probing radiation, is concentrated by the lens 5 on the central zone of the spatial beam splitter 4, which shields its impact on the photodetector 16, the component of the reflected radiation, orthogonally polarized with respect to probe radiation, deflected by a polarization beam splitter 6 and concentrated by a lens 5 in the peripheral zone l 4 outside the central reflecting platform and fully perceived by the photodetector 16. Since the polarization beam splitter 6 is installed both in the forward and in the reverse course of the rays, it separates from the reflected radiation a component whose polarization plane rotates in phase with the planar t. New polarization of probe radiation. The signal from the photodetector 16 is fed to the input of the resonant selective filter 17, which, in its slit, oscillates at a frequency four times greater than the modulating one, the amplitude of which carries information about the magnitude of the difference in the course of the measured phase plate relative to the wavelength of the probing radiation.
В момент равенства измер емой разности хода длины волны зондирующего излучени амплитуда четвертой rapMofr НИКИ равна нулю и нуль-индикатор 18 вырабатьшает электронньй импульс, поступающий на считьгаающий вход электронного регистрирующего блока 19, на информационный вход KOTOjporo поступает информаци с датчика 20 текущего значени длины волны сканирующего монохроматора 2. В момент постухшени импульса с нуль-индикатора блок 19 фиксирует длину волны зондирующего излучени , определ ет по ней разность хода изготовл емой фазовой пластинки и вьщает информаци в систему управлени технологическим процессом изготовлени фазовых плас-At the moment of equality of the measured path length difference of the probing radiation, the amplitude of the fourth rapMofr NICKY is zero and the zero indicator 18 generates an electron pulse arriving at the counting input of the electronic recording unit 19, the information input KOTOjporo receives information from the sensor 20 of the current value of the wavelength of the scanning monochromator 2. At the time of the pulse from the null indicator, the block 19 fixes the wavelength of the probing radiation, determines the path difference of the fabricated phase plate and an information control system in a process for manufacturing phase plas-
тинок. Указанный цикл измерени периодически повтор етс с частотой развертки спектра монохроматором 2. Изготовление фазовых пластинок оканчиваетс , когда измеренное значение разности хода пластинок равн етс заданному..Tink The indicated measurement cycle is periodically repeated with the frequency of the sweep of the spectrum by the monochromator 2. The fabrication of the phase plates terminates when the measured value of the difference in the course of the plates equals the specified one.
Предлагаемьш способ позвол ет созх дать универсальное оборудование дл производства фазовых пластинок на любую длину волны с непосредственным контролем их параметров в процессе изготовлени без предварительного изготовлени эталона разности хода на данную длину волны и соответствующей подготовительной переналадки технологического оборудовани . .The proposed method allows the creation of universal equipment for the production of phase plates for any wavelength, with direct control of their parameters in the manufacturing process without first making a reference of the difference in the path to a given wavelength and the corresponding preparatory changeover of the process equipment. .
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864085383A SU1383161A1 (en) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | Method of determining path-length difference of optically anisotropic objects |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864085383A SU1383161A1 (en) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | Method of determining path-length difference of optically anisotropic objects |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1383161A1 true SU1383161A1 (en) | 1988-03-23 |
Family
ID=21244358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864085383A SU1383161A1 (en) | 1986-07-03 | 1986-07-03 | Method of determining path-length difference of optically anisotropic objects |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1383161A1 (en) |
-
1986
- 1986-07-03 SU SU864085383A patent/SU1383161A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Меланхолин Н.М. Методы исследовани оптических свойств кристаллов. М.: Наука,1970, с. 52-58. . Ванюрихин А.И., Герчановска В.П. Оптико-электронные пол ризационные устройства. Киев: Техника, 1984, с. 133-136. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3891321A (en) | Optical method and apparatus for measuring the relative displacement of a diffraction grid | |
EP0094835B1 (en) | Apparatus for investigation of a surface | |
EP0632256B1 (en) | Micropolarimeter, microsensor system and method of characterizing thin films | |
US11940377B2 (en) | Device and method for detecting a surface defect using interference between polarized lights | |
US3567320A (en) | Non-contact optical measuring probe | |
US3533702A (en) | Multipurpose optical measuring device for determining the position of an object in two coordinates | |
SU1383161A1 (en) | Method of determining path-length difference of optically anisotropic objects | |
JPS5979104A (en) | Optical device | |
JPH0599659A (en) | Method and device for measuring light-beam incident angle and usage of distance measuring equipment | |
CN108693247B (en) | Laser surface acoustic wave detection system based on double measuring beams and use method thereof | |
US3438712A (en) | Magneto-optical displacement sensing device | |
US3833302A (en) | Method and apparatus for the automatic photoelectric trapping of local changes of optically effective object structures | |
JP2592254B2 (en) | Measuring device for displacement and displacement speed | |
JPH01502536A (en) | Apparatus and method for determining the direction of an atomic beam | |
JPS62502421A (en) | Equipment for orienting, inspecting and/or measuring two-dimensional objects | |
SU1096491A1 (en) | Device for checking surface nonflatness | |
JPS61223604A (en) | Gap measuring instrument | |
RU1789851C (en) | Device for checking whickness of flat objects | |
JP2592211B2 (en) | Interference film thickness measuring device | |
SU1474455A1 (en) | Method of measuring linear displacements | |
SU1350500A1 (en) | Device for measuring distance to reflecting surface | |
SU1629751A1 (en) | Scanning differential optical microscope | |
SU1619021A1 (en) | Device for measuring angular deviation of object | |
JP2523334B2 (en) | Optical displacement meter | |
JP2514577Y2 (en) | Optical surface roughness measuring device |