SU1380908A1 - Способ гравировани элементов топологических рисунков на тонкопленочных покрыти х - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к приборостроению , нреимущиственно к технологии изготов.тени  топо. югических рисунков s. iCK- троакустических нреоГфазователей акусто- электроиных устройств. Целью изобретени   вл етс  повьппение качества издели  за счет устранени  возможности повреждени  подложки (стекло, керамика, монокрисгал,аы и т. д.) в процессе гравировани  то- пологическг)го рисунка путем управлени  усилием нрижима инстру.меита. Способ гравировани  основан на различии частот звуковы.х колебаний, вызванных резцом при механическо.м скрайбировании топологического рисунка, в различных режимах работы. В процессе гравировани  осуществл ют контроль спектра звуковых колебаний резца в области частот fi -fj, соответствующих режиму гравировани  (скрайбировани ) без повреждени  подложки, т. е. когда резец касаетс  поверхности подложки, но не повреждает ее. При увеличении интенсив- )1ости колебаний в диапазоне звуковых частот f - 1 снижают нагрузку на резец до ве.1ичины, при которой интенсивность звука но выходит за допустимые пределы, опреде- .iHOMbie экспериментально. Изменение на- на резец может производитьс  оператором или специальным устройством, псушествл ющи.м контроль интегральной интенсивности спектра в заданном диапазоне частот и регулирующи.м нагрузку на резец обратно пропорционально интегральной интенсивности спектра. 1 ил. « (Л

Description

оо оо о ;о

о

00

Изобретение относ-итс  к приборостроению , преимущественно к технологии и готов- лени  кодирующих элементов типа мер перемещени , длины и угла, а также технологии изготовлени  топологических рисунков электроакустических преобразователей дл  акустоэлектронных устройств.

Цель изобретени повьипение качества -равировани , исключение повреждений поверхности нодложки режущим инструментом в процессе гравировани  за счет контрол  спектра звуковых колебаний, возникающих в резцовом устройстве и;|и подложке в процессе гравировки, с последующим изменением си. 1Ы прижима резца к подложке.

На чертеже представлено устройство, реализующее способ.

Способ осуществл етс  следующим образом .

В процессе движени  гравировального инструмента с режущей кромкой но тонкопленочному покрытию контролируетс  спектр механических колебаний, возникающих в гравировальном инструменте или подложке. Экспериментально определ ютс  диапазон частот 1 |- 1 и инте1-ральна  интенсивность спектра ме.хамических колебаний, возникающих в режиме г рави){)вани  без разрушени  подложки

В дальпо пцем и п)оцессе гравирор ани  силу давлени  )сжу|цей кромки на подложку регу.1ирун)1 так, чтобы спектр ле- жа.л в об.часги частот fi fj, а ею интенсивность не В1)1х()ди,та за : ксперименталь- но установ.тенные пределы.

Х стройство. 1еализук)П1ее способ, содержит гравировальньп инстру.мент 1, режуща  кромка 2 )ого .может двигатьс  в направлсн1ти ст)елки А. В исходном положении ()ежуща  кромка вх(;дит в тонкоплепочное покрытие 3, нанесенное на под.тожку 4. На i равировальном инст|)у- менте 1 зак|Н 1. 1еп датчик 5 механических колебаний, электрически соединенный с входами ни:(кочас1отн| |х нолск овых фильт- )ов 6. .Х()ды фи.тьтров через переключатель 7 могут поочередно подключатьс  к вx(Jдy усилите.тн 8 мощности, выход которого соединен с индикатором 9 (например осци.т. юграфом) и через вынр .митель К) с катушкой 1 1 улекгромагдщта, последовательно с которой нк.тючен потенциометр 12.

Устройство )аботает следукпцим образом.

При движении i )авировального инстру- .мента I в наипав.чеиии А, в нем и подложке 4 возникают механические колеба0

5

0

5

0

5

0

5

0

НИИ, лежащие в диапазоне звуковых частот f|--f2. Эти колебани  преобразуютс  датчиком 5 в электрические сигналы, поступающие на входы фильтров 6, перекрывающих диапазон частот fi-(2.

Переключателем 7 подключают усилитель 8 мощности к тому из фильтров, выходной сигнал которого имеет наиболь- щую величину. Потенциометром 12 подбирают ток через катущку 1 1 такой величины, чтобы режуща  кромка 2 полностью снимала тонкопленочное покрытие 3 с подложки 4. По мере затуплени  режущей кромки 2 интенсивность сигнала на выходе усилител  8 мощности уменьщаетс , так как резец перестает касатьс  подложки.

Пол рность включени  катущки 11 к выпр мителю 10 выбирают такой, чтобы при уменьшении тока через обмотку катущки 11 сила прижима гравировального инструмента к поверхности гравируемой подложки увеличивалась . Благодар  этому сила прижима гравировального инструмента 1 увеличиваетс  только по мере затуплени  режущей кромки 2 и, тем самым, компенсирует уменьшение режущей снособности инструмента . Возможность повреждени  подложки режугцей кромкой 2 при этом практически исключаетс , так как при их соприкосновении интенсивность сигнала на выходе усилител  8 мощности возрастает, а прижим гравировального инструмента к подложке ослабл етс .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ гравировани  элементов топологических рисунков на тонкопленочных покрыти х , нанесенных на твердые гтолирован- ные подложки, включающий механическое скрайбироваиие тонкоиленочных покрытий режущи.м инструментом, отличающийс  тем, что, с целью повьппени  качества за счет исключени  новреждений поверхности подложки инструментом в процессе гравировани , производ т контроль cneKtpa акустического сигнала, сопровождаюп;его механическое скрайбирование, определ ют интервал частот и интенсивность сигнала, характеризующие режи.м скрайбировани  без повреждени  водложки, и в процессе скрайбировани  осуществл ют регулирование прижима режущего и}1струмента к поверхности гравируе.мой подложки обратно пропорционально интегральной интенсивности спектра на частотах, соответствующих акустическому сигна.ту, возникаюнхему в режиме скрайбировани  без новрежде1щ  подложки.

   Т I

   Г