SU1375953A1

SU1375953A1 - Method of checking surface of roughness

Info

Publication number: SU1375953A1
Application number: SU864042346A
Authority: SU
Inventors: Валерий Дмитриевич Шульц; Игорь Николаевич Алексушин
Original assignee: Челябинский Электрометаллургический Комбинат
Priority date: 1986-03-26
Filing date: 1986-03-26
Publication date: 1988-02-23

Abstract

Изобретение относитс к контрольно-измерительной -технике, в частности к рентгенооптическим методам контрол качества поверхности, и может быть использовано в различных отрасл х промышленности, например в машиностроении , металлургии Целью изобретени вл етс измерение шеро ховатости поверхности из многокомпонентных материалов с достаточной точностью за счет устранени вли ни различных по химическому составу образцов на результат. Первичное излучение два раза с разной энергией соответственно направл ют на контролируемую поверхность, а шероховатость поверхности определ ют по отношению ; зарегистрированных интенсивностей вторичного характеристического излучени одного из элементов покрыти . 1 ил. i (ЛThe invention relates to instrumentation technology, in particular to X-ray optical methods for monitoring surface quality, and can be used in various industries, such as mechanical engineering, metallurgy. The aim of the invention is to measure the surface roughness of multicomponent materials with sufficient accuracy by eliminating effects of different chemical composition of samples on the result. Primary radiation twice with different energies, respectively, is directed to a controlled surface, and surface roughness is determined by the ratio; the recorded intensities of the secondary characteristic radiation of one of the coating elements. 1 il. i (L

Description

1 one

Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к рент генооптическим методам контрол качества поверхности, и может быть использовано в различных отрасл х промьшшенности, например в машиностроении , металлургии.The invention relates to a measurement technique, in particular, to x-ray optical methods for monitoring surface quality, and can be used in various fields of industry, for example, in mechanical engineering, metallurgy.

Целью изобретени вл етс измерние шероховатости поверхности из мн гокомпонентных материалов с достатоной точностью за счет устранени вли ни различных по химическому составу образцов.The aim of the invention is to measure the surface roughness of multi-component materials with sufficient accuracy by eliminating the effects of different chemical composition of the samples.

На чертеже изображена схема уст- ройства измерени шероховатости поверхности .The drawing shows a device for measuring the surface roughness.

Устройство включает источник 1 гамма-или рентгеновского излучени , исследуемый образец 2 и устройство вьщелени и измерени интенсивности флуоресцентного характеристического излучени , где if- угол падени первичного излучени , 4; угол отбора флоресцентного характеристического из чени .The device includes a gamma or x-ray source 1, sample 2 and an instrument for detecting and measuring the intensity of the fluorescent characteristic radiation, where if is the angle of incidence of the primary radiation, 4; angle of florescent characteristic of cheni.

Способ осуществл ют следующим образом .The method is carried out as follows.

Первичное излучение, от радиоактиного источника 1 или рентгеновской трубки направл ют под углом м на поверхность исследуемого образца 2. Флуоресцентное характеристическое излучение отбирают под углом ц; и ег интенсивность измер ют устрбйством 3 выделени и регистрации, В качестве такого устройства можно использоThe primary radiation, from a radioactive source 1 or X-ray tube, is directed at an angle m to the surface of the sample under study 2. The fluorescent characteristic radiation is taken at an angle c; and its intensity is measured by the device 3, the allocation and recording, as such a device can be used

вать, например, кристальный монохро- матор, пропорциональный счетчик с последующим выделением характеристичес-до кого излучени пороговыми устройства- ми и т.п. ,For example, a crystal monochromator, a proportional counter with the subsequent emission of characteristic radiation by threshold devices, etc. ,

Энергию первичного излучени выбиСпособ определени шероховатости поверхности, заключающийс в том, что контролируемую поверхность облучают пучком первичного ионизируюп|его излучени , регистрируют интенсивность вторичного характеристического излучени и определ ют величину шероховатости , отл, ичающ.ийс тем, что, с целью измерени шероховатости поверхности из многокомпонентных материалов, регистрируют инрают исход из получени максимальной тенсивность вторичного характеристи The primary radiation energy selected by the method of determining the surface roughness, which consists in irradiating a controlled surface with a beam of primary ionizing radiation, register the intensity of the secondary characteristic radiation and determine the amount of roughness, differing from, in order to measure the surface roughness from materials, they register inrut on the basis of obtaining the maximum intensity of the secondary characteristic

ю Yu

15 15

30 35 30 35

2020

2525

ности измерений углы i и v выбирают минимально возможными.For best measurements, the angles i and v are chosen as low as possible.

Измер ют интенсивности флуоресцентного характеристического излучени образца при двух значени х энергии первичного излучени и сравнивают их отношение с градуировочной характеристикой , построенной дл образцов известной шероховатости поверхности . Дл получени максимальной . чувствительности энергию первичного излучени в первом случае устанавливают минимально необходимую дл возг буждени флуоресцирующего элемента, во втором случае - максимально возможную .The intensities of the fluorescent characteristic radiation of the sample are measured at two values of the energy of the primary radiation and their ratio is compared with the calibration characteristic constructed for samples of known surface roughness. To obtain the maximum. In the first case, the sensitivity of the primary radiation energy is set to the minimum required for the excitation of a fluorescent element, in the second case the maximum possible.

Результаты экспериментальной проверки показали возможность измерени шероховатости поверхности ниже 6 класса чистоты при уменьшении и отсутствии вли ни различных по химическому составу образцов на результат . При определении шероховатости поверхности дл легких сплавов (алюминиевые , магниевые и т.п.) возможно расширение диапазона в сторону высших классов чистоты за счет малых энергий характеристического излучени .The results of the experimental verification showed the possibility of measuring the surface roughness below grade 6 purity with a decrease and no effect of samples of different chemical composition on the result. When determining the surface roughness for light alloys (aluminum, magnesium, etc.), the range can be extended to higher purity classes due to the low energies of the characteristic radiation.

Claims

Invention Formula

The method of determining the surface roughness, which consists in irradiating the surface to be monitored with a beam of primary ionizing radiation, register the intensity of the secondary characteristic radiation and determine the amount of roughness, which is measured by in

sensitivity for a given range of surface roughness of the sample and sufficient to excite the selected fluorescent element. The energy is varied by voltage on an x-ray tube using selective filters, changing isotopes, and the like. For maximum sensitivity

The radiation of one of the elements included in the surface changes the energy of the primary radiation, records the intensity of the secondary characteristic radiation of the same element, and determines the surface roughness by the ratio of the registered intensities.