SU1357704A2 - Устройство дл измерени геометрических параметров зеркальных оптических элементов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к устройствам дл  измерени  геометрических параметров зеркальных оптических элементов. Цель изобретени  - повьпиение помехозащищенности за счет компенсации фазовых возмущений, вносимых в предметный пучок, при вибраци х отражател . Устройство содержит источник 1 когерентного излучени  и светоделитель 2, св занный оптически с системами формировани  опорного и предметного пучков, а также два плоских зеркала 7 и 9, установленных напротив отверсти  8, выполненного в рассеивателе 5 1 ил. § (Л 00 ел VI о 4 гч

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к устройствам дл  измерени  геометрически параметров зеркальных оптических элементов таких, как их радиусы кривизны или локальные отступлени  поверхности от заданной формы и  вл етс  усовершенствованием известного устройства по авт.св. № 593070.

Цель изобретени  - повьппение помехозащищенности устройства за счет компенсации фазовых возмущений вносимых в предметный пучок при вибраци х отражател .

На чертеже изображена принципиальна  схема предлагаемого устройства дл  измерени  геометрических параметров зеркальных оптических элементов.

Устройство состоит из последовательно расположенных источников 1 когерентного излучени  и светоделител  2, св занного оптически с системами формировани  опорного и предметного пучков. Системы формировани  предметного пучка включают в себ  блок 3 освещени  и сигнальный канал, состо щий из отражател  4, рассеива- тел  5 и регистратора 6 (фотопластинка ) . Система формировани  опорного пучка включает плоское зеркало 7, отверстие 8 в рассеивателе 5, отражатель 4, плоские зеркала 9 и 10 и расширитель 11 пучка. Отверстие 8 вблизи центра рассеивани  имеет небольшие размеры, достаточные дл  прохождени  нерасширенного пучка лазера (несколько миллиметров). Отражатель 4 установлен на подвижной каретке механизма 12 сдвига. Рассто ние между отражателем 4 и рассеи вателем 5 меньше фокусного рассто ни  отражател , 4.

Устройство работает следующим образом.

Редактор Г.Волкова Заказ 5986/37

Составитель Л.Лобзова Техред А.Кравчук

Корректор

Тираж 677Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

Производственно-полиг рафическое предпри тие, г. Ужгород, VJT. Проекгнал, 4

0

5

Освещают от источника 1 когерентного излучени  рассеиватель 5 и расположенный за ним отражатель 4 предметным пучком, прошедшим через светоделитель 2 и блок 3 освещени . Затем отраженное и рассе нное излучение подают на регистратор 6 одновременно с опорным пучком, прошедшим от источника 1 когерентного излучени  через светоделитель 2, зеркало 6, отверстие 8, отражатель 4, снова - через отверстие 8, зеркала 9 и 10 и расширитель 11. На регистраторе 6 записывают голограмму, обрабатывают ее без смещени  регистратора 6 с места экспозиции. На этапе восстановлени  включают одновременно предметный и опорный пучки и через голограмму , записанную на регистраторе 6, наблюдают восстановленное изображение рассеивател  5. После этого производ т сдвиг отражател  4 посредством механизма 12 сдвига, наблюдают 5 голографическую интерферограмму

сдвига, по которой суд т о геометрических параметрах отражател  4. Фазовые возмущени , вносимые в предметный пучок при вибраци х отражате- л  4, в значительной мере компенсируютс  такими же возмущени ми, вносимыми одновременно и в опорный пучок.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  измерени  геометрических параметров зеркальных оптических элементов по авт.св.№ 593070, отличающеес  тем, что, с целью повышени  помехозащищенности устройства, оно снабжено двум  плоскими зеркалами, в рассеивателе выполнено отверстие, зеркала установлены напротив отверсти , одно - на пути отраженного от светоделител  излучени , а другое - на пути отраженного от отражател  излучени .

   0

   5

   0

   5

   Корректор О.Кравцова