SU1350502A1 - Optronic angle-measuring device - Google Patents

Optronic angle-measuring device Download PDF

Info

Publication number
SU1350502A1
SU1350502A1 SU853988575A SU3988575A SU1350502A1 SU 1350502 A1 SU1350502 A1 SU 1350502A1 SU 853988575 A SU853988575 A SU 853988575A SU 3988575 A SU3988575 A SU 3988575A SU 1350502 A1 SU1350502 A1 SU 1350502A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
phase
angle
output
signal
input
Prior art date
Application number
SU853988575A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Игорь Евгеньевич Гринюк
Вячеслав Федорович Майстренко
Игорь Матвеевич Пасько
Original Assignee
Предприятие П/Я Х-5827
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Х-5827 filed Critical Предприятие П/Я Х-5827
Priority to SU853988575A priority Critical patent/SU1350502A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1350502A1 publication Critical patent/SU1350502A1/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Целью изобретени   вл етс  повышение точности и быстродействи , а также расширение диапазона измерений за счет исключени  погрешностей от флуктуации, исклю- . чени  механических частей, а также обеспечени  преобразовани  угол-тангенс угла. Устройство.содержит два излучател  2, засвечивающих грани разделительной призмы 3 излучени ми, отличающимис  по фазе друг от друга на угол, меньший 180°. Объектив 11. проецирует изображение в плоскость анализа диафрагмы 12, за которой размещен (5}отоприемник 13. На выходе фотоприемника образуетс  сигнал, фаза которого измен етс  по отношению к опорному сигналу в зависимости от угла поворота, зтот сигнал поступает на фазометр 17. Одновременно на фазометр 17 поступает сигнал с опорного фотоприемника 6- Фазометр 17, измер   сдвиг фаз, определ ет угол поворота. Выходные сигналы с блока 15 питани  поддерживаютс  на- уровне, при котором разность между сигналом на выходе опорного фотоприемника 6 и входным сигналом с блока 15 питани  равна 90. Таким образом происходит редуцирование фазы. 1 3.п. ф-лы, 2 ил. с (Л 00 ел о СП о IC .This invention relates to a measurement technique. The aim of the invention is to increase accuracy and speed, as well as to expand the measurement range by eliminating fluctuation errors, except. mechanical parts, as well as providing angle-tangent angle conversion. The device contains two radiators 2, illuminating the faces of the separation prism 3 with radiations that differ in phase from each other by an angle smaller than 180 °. Lens 11. projects the image into the analysis plane of the diaphragm 12, behind which is placed the receiver 5. At the output of the photodetector, a signal is formed, the phase of which changes with respect to the reference signal depending on the angle of rotation, this signal goes to The phase meter 17 receives a signal from the reference photodetector 6-Phase meter 17, measures the phase shift, determines the angle of rotation. The output signals from the power supply unit 15 are maintained at which the difference between the output signal of the reference photodetector 6 input signal from unit 15 to a power equal to 90. Thus there is a pressure reduction phase. 3.p. 1 f ly-2-yl. s (00 L ate of SP of IC.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к автоматическим углоизмерительным приборам , и может примен тьс  в станкостроении , ,в приборостроении, в строительстве , при монтаже оборудовани , в геодезии.The invention relates to measuring equipment, in particular to automatic angle measuring devices, and can be applied in machine tool industry, in instrument engineering, in construction, during equipment installation, in geodesy.

Цель изобретени  - повышение точности и быстродействи , а также расширение диапазона измерений за счет исключени  погрешностей от флуктуации , исключени  механических частей а также обеспечени  преобразовани  угол-тангенс угла.The purpose of the invention is to improve accuracy and speed, as well as expanding the measurement range by eliminating errors from fluctuations, eliminating mechanical parts, and also providing angle-tangent angle conversion.

На фиг. 1 представлена блок-схема устройства дл  регистрации в падающем луче; на фиг. 2 - блок-схема устройства дл  регистрации в переотраженном луче.FIG. 1 is a block diagram of an incident beam recorder; in fig. 2 is a block diagram of a device for recording in a re-reflected beam.

Устройство содержит объектив 1, два источника 2 излучени , разделительную призму 3, апертурную диафрагму 4, светоделительный элемент 5, опорный фотоприемник 6, опорный усилитель 7 (переменного тока), фазо- сдвигающие блоки 8 и 9, подключенные к Входам соответствующего источника 2. Описанные элементы могут быть объединены в коллиматор 10.The device contains a lens 1, two radiation sources 2, separation prism 3, aperture diaphragm 4, beam-splitting element 5, reference photodetector 6, reference amplifier 7 (AC), phase-shifting blocks 8 and 9 connected to the Inputs of the corresponding source 2. Described elements can be combined into collimator 10.

Устройство содержит также оптически св занный второй объектив 11, диафрагму 12 и основной фотоприемник 13, а также основной усилитель 14, регулируемый блок 15 питани  излучателей , фазочувствительный индикатор 16, соединенный с блоком 15 питани  и опорным усилителем 7, фазометр 17 и функциональный преобразователь 18 величины угла в тангенс; фазометр 17 соединен с основным усилителем 14 и фазочувствительньм индикатором 16.The device also contains an optically coupled second lens 11, a diaphragm 12 and a main photodetector 13, as well as a main amplifier 14, an adjustable emitter power supply unit 15, a phase-sensitive indicator 16 connected to the power supply unit 15 and a reference amplifier 7, a phase meter 17 and a function transducer 18 of magnitude tangent angle; The phase meter 17 is connected to the main amplifier 14 and the phase-sensitive indicator 16.

Устройство (фиг. 2) содержит также переотражающую поверхность 19 (образуемую на поверхности объекта) Или пластину (скрепл емую с. объектом ) , разделительна  призма 3 выполнена с фаской 20, при этом основной фотоприемник 13 и основной усилитель 14 устанавливаютс  за призмой 3 в отраженном луче.The device (Fig. 2) also contains a re-reflective surface 19 (formed on the object's surface) or a plate (fixed with the object), the separation prism 3 is made with a chamfer 20, while the main photodetector 13 and the main amplifier 14 are installed behind the prism 3 in the reflected ray.

Блок 15 питани  предназначен дл  образовани  двух модулированньпс в противофазе напр жений, а фазосдви- гающие блоки 8 и 9 выполнены с возможностью обеспечени  фазового сдви- га на + /i и -jS, где ./з 45°.The power supply unit 15 is designed to form two modulated in antiphase stresses, and the phase-shifting units 8 and 9 are designed to provide a phase shift of + / i and -jS, where ./3 45 °.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Диафрагмы 4 и 12 могут .быть выполнены пр моугольной формы. Фазо- ч.увствительный индикатор 16, если фаза поступаемого сигнала сдвинута относительно опорного сигнала на 90, вырабатывает выходной сигнал, равный нулю. Если фаза поступающего сигнала сдвинута относительно опорного сиг- нала на угол, больший или меньший чем 90°, то индикатор 16 вырабатывает положительный или отрицательный управл ющий сигнал, пропорциональный сдвигу- фаз. В качестве индикатора 5 1б возможно использовать устройство, основанное на перемножителе сигналов.Diaphragms 4 and 12 may be rectangular. Phase sensitive indicator 16, if the phase of the incoming signal is shifted relative to the reference signal by 90, produces an output signal equal to zero. If the phase of the incoming signal is shifted relative to the reference signal by an angle greater or less than 90 °, then the indicator 16 produces a positive or negative control signal proportional to the phase shift. As indicator 5 1b, it is possible to use a device based on a signal multiplier.

Блок 15 питани  вырабатывает два модулированных в противофазе напр жени . Фазосдвигающий блок-8 сдвига- 0 ет фазу одного из напр жений на небольшой угол + jb, меньший .45° . а фа- зосдвигающий блок 9 - ни угол - /з . Эти напр жени  подаютс  на источники 2. Таким образом, каждый из источни- 5 ков 2 излучает переменньш световой поток с равными амплитудами и фазами , отличающимис  друг от друга на . угол, несколько меньший или большийThe power supply unit 15 produces two voltage modulated in antiphase. The phase shifting block-8 shift- 0 phase of one of the voltages at a small angle + jb, less than .45 °. and the phase-shifting unit 9 is neither the angle - / з. These voltages are applied to sources 2. Thus, each of the sources 2 emits a variable luminous flux with equal amplitudes and phases that differ from each other by. angle somewhat smaller or larger

180.180.

0 Свет от источников 2, отража сь от граней разделительной призмы 3, освещает две зоны диафрагмы 4. Эти зоны разделены между собой ребром призмы 3. Освещаемые зоны проектиру- 5 ютс  объективами 1 и 11 в плоскость диафрагмы 12. Если оптические оси коллиматора 10 и объектива 11 параллельны , то кажда  половина диафрагмы 12 освещена соответствующим источниг 0 йом 2. На выходе фотоприемника 12 посто нный сигнал и переменный сигнал , пропорциональный sin, сдвину- тый по фазе на 90 ° по отношению к сигналу, поступающему с блока 15 питани .0 Light from sources 2, reflected from the faces of separation prism 3, illuminates two zones of the diaphragm 4. These zones are separated by the edge of the prism 3. The illuminated zones are projected by 5 lenses 1 and 11 into the plane of the diaphragm 12. If the optical axes of the collimator 10 and the lens 11 is parallel, then each half of the diaphragm 12 is illuminated by an appropriate source of 0 nd 2. At the output of the photodetector 12 there is a constant signal and an alternating signal proportional to sin, shifted in phase by 90 ° with respect to the signal coming from the power supply unit 15.

При повороте коллиматора 10 или системы из объектива 11, диафрагмы 12 и фотоприемника 13 на некоторый 1угол d часть диафрагмы 12, освещаема  одним из источников 2, станет больше, чем диафрагма, освещаема  другим источником 2,When you rotate the collimator 10 or the system of the lens 11, the diaphragm 12 and the photodetector 13 on some 1 d d part of the diaphragm 12, illuminated by one of the sources 2, it will be larger than the diaphragm, illuminated by another source 2,

Фаза переменного сигнала на выходе фотоприемника 13 измен етс  приблизительно пропорционально величине перемещени  диафрагмы 4.The phase of the variable signal at the output of the photodetector 13 varies approximately in proportion to the amount of movement of the diaphragm 4.

Одновременно с этим на фотоприемник 6 поступает световой поток от источников 2.At the same time, a luminous flux from sources 2 enters the photodetector 6.

5five

00

5five

В том случае, если  ркости источников 2 одинаковы, на выходе усилител  7 переменный сигнал, пропорциональный sin/ и сдвинутый по фазе на 90 по отношению к сигналу, поступающему с блока 15. питани . Если один из излучателей станет более  ркий, чем другой, фаза сигнала, изменитс . Фа зочувствительный индикатор 16 вырабатывает управл ющий сигнал,- который поступит на блок 13 питани . Этот сигнал измен ет сигналы, подаваемые на источники 2 до момента получени  равенства  ркостей источников 2.In that case, if the luminances of the sources 2 are the same, the output of the amplifier 7 is a variable signal proportional to sin / and shifted in phase by 90 relative to the signal from the power supply unit 15.. If one of the emitters becomes brighter than the other, the phase of the signal will change. The phase-sensitive indicator 16 generates a control signal, which is fed to the power supply unit 13. This signal changes the signals sent to sources 2 until the equalities of the sources 2 are obtained.

Одновременно с этим сигнал с усилител  7 поступает на фазометр 17 и служит в качестве опорного сигнала. На фазометре 17 также поступает сигнал с усилител  14. Фазометр 17 из мер ет сдвиг фаз между сигналами, поступаемыми с усилител  7 и усилител  14,Simultaneously, the signal from the amplifier 7 is fed to the phase meter 17 and serves as a reference signal. Phase meter 17 also receives a signal from amplifier 14. Phase meter 17 measures the phase shift between the signals from amplifier 7 and amplifier 14,

Величина угла поворота d дл  малых углов L/ 5-10 (при которьк, tg q « Lf) пропорциональна фазовому сдвигу и определ етс  из уравнени  24Х . „ lik 1The magnitude of the rotation angle d for small angles L / 5-10 (at which, tg q Lf) is proportional to the phase shift and is determined from equation 24X. „Lik 1

ctg kof,ctg kof,

05 Ctg05 ctg

таких величин ctg /(, f f , 1, чтобы коэффициент редукции k был гораздо больше единицы, т.е. k 1.such values ctg / (, f f, 1, so that the reduction coefficient k is much greater than unity, ie, k 1.

Строга  зависимость между углом поворота oi и фазовым сдвигом i/ определ етс  выражениемThe strict relationship between the rotation angle oi and the phase shift i / is determined by the expression

Z/1XZfZ / 1XZf

tg ч- tg wh

ctg лctg l

« "

1one

Itg УItg y

ctg.ctg.

2fi5 g/2fi5 g /

mtg (4. mtg (4.

To есть при больших углах tf зависимость между I/ и (У не полностью линейна; если же к выходу фазометра 17 подключен функциональный преобразователь 13, измер емый фазометром , угол qj преобразовываетс  в величину tgtc,That is, at large angles tf, the relationship between I / and (Y is not completely linear; if, however, a functional converter 13 is connected to the output of phase meter 17, measured by a phase meter, the angle qj is converted to the value tgtc,

Тогда выходной сигнал с преобразовател  18 пропорционален углу поворота с(. при больших углах поворота.Then the output signal from converter 18 is proportional to the angle of rotation with (. At large angles of rotation.

Принцип действи  устройства при переотражении луча (фиг. 2) аналогичен .The principle of operation of the device when the beam re-reflection (Fig. 2) is similar.

То, что устройство обладает большой редукцией по фазе, предтверж- даетс  следующим.The fact that the device has a large phase reduction is predicted as follows.

Модулированный световой поток, поступающий на фотоприемник 13, равенThe modulated light output to the photodetector 13 is equal to

ff

o5o5

1 фокусное рассто ние объек- 351 focal length object 35

т ива;t willow;

ширина диафрагмы.aperture width.

- - масштабный коэффициент;- - scale factor;

К.TO.

/b - фазовый сдвиг, создаваемый фазосдвигающим блоком (Л 45),/ b - phase shift created by the phase-shifting unit (L 45),

dx - величина перемещени  изображени  диафрагмы;dx is the amount of movement of the image of the diaphragm;

- 5 1 . . .,„- 5 1. . ., „

ции.of

коэффициент редукЗамер емый фазометром 17 с определенным масштабом угол фазового сдви- га  вл етс  углом поворота.reduction factor Measured by a phase meter 17 with a certain scale, the phase shift angle is the angle of rotation.

Как видно из этого выражени , устройство обладает определенной редукцией по фазе, т.е. небольшому углу поворота соответствует большой фазо- вый сдвиг ц . Коэффициент редукции выбираетс  конструктивно, исход  из требуемой точности, путем прин ти As can be seen from this expression, the device has a certain phase reduction, i.e. a small angle of rotation corresponds to a large phase shift q. The reduction factor is chosen constructively, based on the required accuracy, by adopting

(j h(r + Jx)sin(wt +(j h (r + jx) sin (wt +

+ ft, )+ ft,)

- Bj S- Bj S

....

Ь( - - 4 x)sin(wtB (- - 4 x) sin (wt

-у5 ) А, sin(cot +/5 ) - A sindxjt-y5) A, sin (cot + / 5) - A sindxjt

-/9 ) (А - A2)sin tat cos /3- + + (A + Aj)sin/3 coswt (A, -A2 )cos/J cos((jt - 90°) + (A/ + + Pi)si-n.I) costot,- / 9) (A - A2) sin tat cos / 3- + + (A + Aj) sin / 3 coswt (A, -A2) cos / J cos ((jt - 90 °) + (A / + + Pi ) si-nI) costot,

де Bj, Bj -  ркость излучателей 2; S - конструктивный параметр оптического тракта, завис щий от апертур- ной диафрагмы, фокусного рассто ни  и т.д.; коэффициенты пропускани  коллиматора 10 и приемника;de Bj, Bj is the brightness of the emitters 2; S is the design parameter of the optical path, depending on the aperture diaphragm, focal length, etc .; transmittance of collimator 10 and receiver;

h - высота диафрагмы 13;h - the height of the diaphragm 13;

1 - ширина диафрагмы (в1 - aperture width (in

направлении измерени );measurement direction);

о . п к rabout . p to r

13505021350502

/ амплитуда световогоlight amplitude

потока, засвечивающего одну часть диафрагмы; амплитуда светового по- g тока, засвечивающего другую часть диафрагмыiflow, illuminating one part of the diaphragm; the amplitude of the light current g, illuminates another part of the diaphragm

деde

tgq tgq

()(-90°)+(Ai+A2)sin sinO° (Ai-A2)(-90 ) + (A,)cos/«cosO () (- 90 °) + (Ai + A2) sin sinO ° (Ai-A2) (- 90) + (A,) cos / «cosO

Если  ркости источников 2 одинаковы (БЗ Bj), то If the luminances of sources 2 are the same (BZ Bj), then

.cosft -2jx ctg/5 1 sin 1.cosft -2jx ctg / 5 1 sin 1

-ctg/i 1 -ctg / i 1

Из выражени  видно, что при.отсутствии рассогласовани  фаза суммарного сигнала равна нулю, а при повороте на угол d фаза сигнала, поступающего на .фотоприемник 3, относительно опорного измен етс  пропорционально углу поворота.From the expression it can be seen that in the absence of a mismatch, the phase of the sum signal is zero, and when rotated by angle d, the phase of the signal fed to photo receiver 3 relative to the reference signal varies in proportion to the angle of rotation.

Аналогичным образом модулированный световой поток, поступающий на фотоприемник 6, равенSimilarly, the modulated luminous flux entering the photodetector 6 is equal to

Ф4, (А - А г )cos/3sinu)t + (А - - А 2) S in/3 со su)t.F4, (A - A g) cos / 3sinu) t + (A - - A 2) S in / 3 with su) t.

Фаза суммарного сигнала Lf, равнThe phase of the sum signal Lf is

tt

- ,. (Ва - Вг)соз /i (В,-+ Ц) sin ft . При одинаковых  ркост х фаза суммарного сигнала равна нулю, а при изменении  ркости одного из источников 2 фаза сигнала, поступающего на фотоприемник 6, по отношению к опорному изменитс  и фазочувстви- тельный индикатор 16 выработает сигнал управлени .-, (Ba - Br) cos / i (B, - + C) sin ft. At equal capacities, the phase of the total signal is zero, and when the brightness of one of the sources changes, the phase of the signal fed to the photodetector 6 changes with respect to the reference one and the phase-sensitive indicator 16 produces a control signal.

Так как измер етс  фазовый сдвиг между сигналами, поступающими из усилителей 7 и 14, то даже при неполном выравнивании  ркостей источнков 2, погрешность из-за нестабильности излучателей будет уменьшена.Since the phase shift between the signals coming from amplifiers 7 and 14 is measured, even with incomplete alignment of the sources 2, the error due to instability of the emitters will be reduced.

/1 - сдвиг фаз, создаваемый, фазосцвигающим бло ком.,/ 1 is the phase shift created by the phase-scaling block.

Фаза суммарного сигнала t определ етс  из соотношени The phase of the sum signal t is determined from the ratio

(Ат-А)с05;9(Ath-A) p05; 9

(Ai+Aj)sin(Ai + Aj) sin

Claims (2)

1. Оптико-злектронное углоизмери- тельное устройство, содержащее два излучател , регулируемый блок питани  излучателей, апертурную диафрагму , объектив, светоделительный элемент , основной и опорньй фотоприемники , выходы которых электрически соединены с входами основного и опорного усилителей, отличающе-- е с   тем, что, с целью повышени  точности и быстродействи , оно снабжено двум  фазосдвигающими блоками, выполненными с возможностью обеспечени  фазового сдвига на угол + /s и -ft, где (5 45 , фазометром и фазо- чувствительным индикатором, входы1. An optical electronic measuring device containing two emitters, an adjustable power supply unit for the emitters, an aperture diaphragm, a lens, a beam-splitting element, a main and reference photodetectors, the outputs of which are electrically connected to the inputs of the main and reference amplifiers, differing from that, in order to increase accuracy and speed, it is equipped with two phase-shifting units, made with the possibility of providing a phase shift by an angle of + / s and -ft, where (5 45, phase meter and phase-sensitive indicator, i dy фазосдвигающих блоков соединены с выходами блока питани , выход первого фазосдвигающего блока соединен с входом первого излучател ,выход вто рого фазосдвигающего блока соединенphase shifting units are connected to the power supply unit outputs, the output of the first phase shifting unit is connected to the input of the first radiator, the output of the second phase shifting unit is connected с входом второго излучател , выход основного усилител  соединен с первым входом фазометра, выход опорного усилител  соединен с вторым входом фазометра через фазочувствительныйwith the input of the second radiator, the output of the main amplifier is connected to the first input of the phase meter, the output of the reference amplifier is connected to the second input of the phase meter via phase-sensitive индикатор, первый вход которого соединен с одним из входом блока питани , а выход индикатора св зан с входом блока питани .an indicator, the first input of which is connected to one of the inputs of the power supply unit, and the output of the indicator is connected to the input of the power supply unit. tt 2. Устройство по п. 1, отличающеес - тем, что, с целью увеличени  диапазона измерени , в него дополнительно введен функциональный преобразователь величины2. The device according to claim 1, characterized in that, in order to increase the measuring range, a functional value converter is additionally introduced into it угла в тангенс, вход которого соединен с выходом фазометра.the angle in the tangent, the input of which is connected to the output of the phase meter. JSS ie1IJSS ie1i 16sixteen Редактор С.ПатрушеваEditor S.Patrusheva Составитель Е.ГлазковаCompiled by E.Glazkova Техред Л.Олийнык Корректор А.ОбручарTehred L. Oliynyk Proofreader A.Obruchar Заказ 3249/40Тираж 677ПодписноеOrder 3249/40 Circulation 677 Subscription ВНИИПИ Государственного-комитета СССРVNIIPI State Committee of the USSR по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., 4/5 ..«.-«..--..«..«.«.-..--- «в «вв ------ - -- - -  .. ".-" ..-- .. "..". ".-..---" in "cc ------ - - - - - Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород,- ул. Проектна , 4Production and printing company, Uzhgorod, - st. Project, 4 фиг.22
SU853988575A 1985-12-16 1985-12-16 Optronic angle-measuring device SU1350502A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853988575A SU1350502A1 (en) 1985-12-16 1985-12-16 Optronic angle-measuring device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853988575A SU1350502A1 (en) 1985-12-16 1985-12-16 Optronic angle-measuring device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1350502A1 true SU1350502A1 (en) 1987-11-07

Family

ID=21209502

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853988575A SU1350502A1 (en) 1985-12-16 1985-12-16 Optronic angle-measuring device

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1350502A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 236779, кл. G 01 В 9/08, 1967. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4249076A (en) Optical measuring device using optical fibers
US3601613A (en) Photoelectric apparatus for determining the displacement of an object
JPS62121314A (en) Photoelectric position measuring device
US4804270A (en) Multi-axis alignment apparatus
US3604811A (en) Shaft position encoders
JPH0652170B2 (en) Optical imaging type non-contact position measuring device
SU1350502A1 (en) Optronic angle-measuring device
KR100441273B1 (en) Apparatus and method for detecting the alignments of shaft by laser
US3573468A (en) Photoelectric incremental transducer for 4-phase signals comprising means for geometrically splitting the light beams
SU1567888A1 (en) Optronic angle-measuring device
SU1305539A1 (en) Device for measuring small gaps bees
SU838323A1 (en) Device for contactless measuring of surface geometric parameters
SU1714347A1 (en) Device for checking angles of prisms
SU1216683A1 (en) Transducer
SU1113672A1 (en) Linear displacement meter
SU1714348A1 (en) Device for control of angle of beam deflection and of pyramidality of prisms ap-@@@
SU731283A1 (en) Photoelectric automatic collimator
SU347561A1 (en) OPTICAL ELECTRONIC DEVICE
SU1054681A1 (en) Phonoelectric goniometer
SU1186942A1 (en) Arrangement for contactless measurement of polished surface profile
SU353229A1 (en) PHOTOELECTRIC CORNER SENSOR
SU853382A1 (en) Optical electronic devie for measuring angular diaplacement of an object
Palmer Differential angle measurements with moire fringes
SU794373A2 (en) Apparatus for measuring twisting angles
SU1037070A1 (en) Device for measuring linear displacements of objects