SU1348221A1 - Устройство дл маркировки изделий - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к автоматическим устройствам дл  производства микросхем, может быть использовано дл  маркировки микросхем, установленных в плоских кассетах, и позвол ет повысить производительность и качество маркировки, имеетс  каретка 1 с матрицей 2. В каретке выполнены боковые окна 12 и паз в нижней поверхности. В пазу каретки /7 /в установлен ползун 32 с возможностью, взаимодействи  с упором 19 установки шага подачи изделий и перемещени  вместе с кареткой. Ползун 32 имеет верхние горизонтальные площади, на которых установлены с возможностью взаимодействи  с кулачками 13 каретки и кассетами упругие Г-об- разные захваты. Ползун 32 имеет П-об- разную форму и паз 40 в основании. В пазу 40 установлен с возможностью перемещени  и взаимодействи  с упором-кулачком 15 каретки подпружиненный фиксатор 10, который имеет конические штыри и регулируемый по высо- те упор. Имеютс  механизм ракел  6 с вкладышем 7, тампон 8, транспортирующее средство, блок управлени  и пульт управлени . 2 з.п. ф-лы, 11 ил. t с сл т со 4 00 to N9

Description

Изобретение относитс  к автоматическим устройствам технологического оборудовани  и может быть использовано дл  маркировки микросхем, установленных в плоских кассетах.

Цель изобретени  - расширение технологических возможностей маркировани  микросхем и повьшение качества маркировани .

На фиг.1 схематически изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1; на фиг.З - сечение Б-Б на фиг.; на фиг,4 - вид по стрелке В на фиг.1; на фиг.З - вид Г на фиг.1; на фиг.6 каретка, крайнее правое положение; на фиг.7 - сечение Д-Д на фиг.З; на фиг«8 - сечение Е-Е на фиг.6; на фиг.9 - сечение на фиг.1; на фиг.10 - сечение 3-3 на фиг.9; на фиг.11 - пневматическа  схема.

Устройство дл  маркировани  микросхем состоит из каретки 1 с матрицей 2, лотка 3 дл  транспортировани  плоских кассет А с микросхемами 3, механизма ракел  6 с вкладышами 7, тампона 8, механизма 9 подачи кассет , механизма укладки кассет ( не показан ), фиксатора 0, плиты 11, пульта управлени , блока управлени  и источника питани  (не показаны ),

Каретка 1 предназначена дл  поз- вратно-поступательного перемещени  матрицы 2 с целью сн ти  с нее изображени  знаков маркировки дл  переноса их на корпус микросхемы. Матрица может быть круглой или пр моугольной формы. Она устанавливаетс  с возможностью ее регулировани  по длине каретки. Знаки маркировки выполнены в ее теле (глубока  печать) . Краска дл  печати знаков маркировки наноситс  периодически на матрицу определенными дозами вручную. Каретка имеет П-образную форму. На боковых ее стенках выполнены окна 12, в которых установлены кулачки 13 и 14. В нижней части каретки закреплены упор-кулачок 13, взаимодействующий с фиксатором 10, шток 16 с Г-образ- ным толкателем 17, служащим дл  подачи кассет из магазина 18 на исходную позицию лотка, и регулируемый упор 19 дл  установки шага подачи изделий, выполненный в виде скобы. Возвратно-поступательное движение каретки осуществл етс  с помощью

пневмопривода, вьтолненного в виде пневмоцилиндра 20 двойного действи  с поршнем 21 и штоком 22. Рабочие камеры 23 и 24 пневмоцилиндра соединены через электропневмоклапаны 23 и 26 с источником сжатого воздуха (не показан).

Электропневмоклапаны 23 и 26

электрически соединены с блоком управлени  (не показан). Дл  регулировани  скорости перемещени  каретки пневмопривод снабжен обратными клапанами 27 и 28 с регулируемыми

дроссел ми 29 и 30. Дл  подачи микросхем на позицию 31 маркировани  каретка снабжена ползуном 32 П-образ- ной формы, размещенным внутри нее снизу лотка на определенном рассто  НИИ от упора 19. За счет изменени  этого рассто ни  регулрфуетс  шаг подачи изделий на позицию маркировани .

Ползун выполнен с горизонтальными

площадками 33 и 34 сверху, на которых установлены упругие Г-образные пластинчатые захваты 33 и 36 с возможностью взаимодействи  с кулачками 13 и 14 и плоскими кассетами 4.

Дл  изменени  рассто ни  от упора 19 до ползуна выполнены пазы 37, в которых размещаютс  крепежные винты 38 упора. Изменение шага подачи изделий на позицию маркировани  необходимо дл  того, чтобы можно было производить маркировку различных микросхем с планарными вьшодами, установленных в плоских кассетах. Упор- кулачок 13 служит дл  возвращени 

ползуна в первоначальное положение. Кроме того, с помощью erd осуществл етс  при подаче микросхем на позицию маркировани  отвод фиксатора 10 с упором 39 вниз.

В основании ползуна 32 выполнен паз 40 дл  размещени  фиксатора при движении его с кареткой в крайнее правое положение. На боковой стенке ползуна установлена тормозна  упруга  пластинка 41 дугообразной формы. Торможение ползуна необходимо дл  осуществлени  более надежного сцеплени  и расцеплени  кассет с захватами ползуна и предотвращени  его

случайного смещени  на позиции маркировани  до фиксации изделий. Каретка снабжена флажком 42, а на плите установлены фотодатчики 43 и 44. Данные коммутационные элементы необходимы дл  осуществлени  управлени  устройством.

Плоские кассеты дл  установки микросхем 5 с пленарными выводами вьтолнены с окнами и элементами, пре дохран ющими микросхемы от вьшада- ни  из кассет. На периферии кассет с обеих сторон вьтолнены пазы 45, отсто щие друг от друга на равных рас- ;Сто ни х. Кассеты с микросхемами укладываютс  в магазины путем размещени  их в пазах, выполненных в вертикальных стенках 46 и 47 магазина. Дл  фиксации микросхем на позиции маркировани  в их рамках выполнены отверсти  48. Дл  установки каретки и ползуна и осуществлени  их перемещени  на боковых стенках лотка выполнены газы 49, в которых размещаютс  ролики 50 ползуна и каретки. В зоне периодического перемещени  кассет на шаг, равный рассто н1-по между пазами кассет, в верхней час-, ти лотка вьтолнены угловые вырезы не показаны), благодар  которым пазы кассет в этой зоне оказьшаютс  открытыми дл  сцеплени  с захватами ползуна. Дл  перемещени  кассет по лотку с образованием пазов по обеим его сторонам установлены планки 51. Дл  ограничени  перемещени  каретки вправо служит регулируемый по положению ограничитель 52. Симметрично относительно осевой линии лотка выполнены на всю длину два паза (не показаны),позвол ющие перемещать по нему микросхемы с перпендикул рными выводами, а следовательно, осуществл ть при наличии питател  их маркирование .

Ракель и вкладьш установлены в одном корпусе 53 над кареткой. Ракель служит дл  очистки поверхности матрицы от лшпией краски перед сн тием с нее отпечатка маркировки с помощью тампона. Ракель вьтолнен в виде упругой (эластичной) тонкой пластинки 54, зажатой между двум  щечками 55, и установлен под углом на оси 56 кронштейна 57, жестко соединенного с втулкой 58, размещаемой на конце горизонтального вала 59. Та ка  установка позвол ет ракелю при очистке матрицы от лишней краски самоустанавливатьс . На цилиндрической поверхности втулки по окружности вьтолнен паз (не показан), в котором размещаетс  крепежный винт

482214

60. При ослаблении этого винта ракель можно поворачивать относительно вала и тем самым измен ть угол его установки. Вал с втулкой 61 установлены в ползуне 62, св занном с винтовым элементом 63. При изменении угла установки ракел  ползун с валом перемещаютс  в вертикальной

IQ ПЛОСКОСТИ, в пазу 64 втулки перемещаетс  в осевом направлении шпонка 65 вала. Втулка имеет рычаг 66, с помощью которого вал с ракелем св зан с кулачковым штоком 67 пневмопри15 вода, выполненного в виде пневмо- цилиндра 68 с поршнем 69. Рабочие камеры 70 и 71 пневмоцилиндра соединены через регулируемые дроссели 72 и 73 и электропневмоклапаны 25

20 и 26 с источником сжатого воздуха. Закрытие прохода сжатому воздуху в пневмоцилиндр 68 осуществл етс  путем пережати  трубопроводов с помощью электромагнитного устройства

25 74. Свободный конец рычага размещаетс  в пазу 75 штока 67, при движении которого ракель поворачиваетс  на определенный угол и поднимаетс  над матрицей. Высота подъема ракел 

30 регулируетс  за счет ограничени 

хода кулачкового штока пневмоцилиндра 68 винтовым упором 76. На втором конце вала установлена между его буртиком и гайкой 77 пр моугольна 

25 втулка 78 с роликом 79, размещаемым в пазу цилиндрического копира (кулачка ) 80, закрепленного на валу электродвигател ,81. Втулка имеет ограничитель 82, выполненный с па40 ,эом 83, охватьшающим втулку с трех сторон. Она может свободно перемещатьс  только в осевом направлении вала. Паз на цилиндрическом копире вьтолнен криволинейным, в результа g те чего при врап(ении цилиндрического копира втулка 78 с валом 59 и ракелем вибрирует в осевом направлении. Вибраци  ракел  способствует улучшению очистки матрицы от лишней краски и

gQ тем самым повьш1ению качества маркировани  микросхем. Дл  изменени  положени  вала с ракелем в вертикальной плоскости, св занного с изменением установки угла ракел , во втулgg ке выполнено пр моугольное отверстие (не показано).

Вкладьпи служит дл  нанесени  краски на знаки маркировки и выполнен в виде пр моугольной резиновой плас5

тинки 84 с дугообразным по ском 85 снизу. Он крепитс  на державке 86 и кронштейне 87 с возможностью перемещени  в вертикальной плоскости. Кронштейн вкладьппа установлен в подпружиненном цилиндрической пружиной 88 ползуне 89 с роликом 90, взаимодействующим с кулачковым штоком 67 пневмопривода.

Тампон выполнен из желатина и имеет форму тела вращени , образующей которого  вл етс  крива , близка  к параболе. Тампон крепитс  на штоке 91 с регулировочным винтом 92, позвол ющим устанавливать степень деформации тампона, а следовательно , регулировать силу прижати  тампона к поверхности матри1д.1 и устнавливать ее оптимальной при данном шрифте знаков изображени  (печати) маркировки, от чего в немалой степени зависит качество маркировани  микросхем. Корпус 93 тампона св зан посредством кронштейна 94 со штоком 95 пневмопривода, выполненного в виде пневмоцилиндра 96 двустороннего действи  с поршнем 97 и рабочими камерами 98 и 99.

Пневмоцилиндр соединен через регулируемые дроссели 100 и 101 и злект- ропненмоклапань 102 и 103 с источником сжатого воздуха. Злектропневмо- клапаны 102 и 103 элсктрич1.ски соединены с блоком упраплени . Перемещение тампона при сн тии изображени  маркировки с матрицы и отпеча- тывание этого изображени  на корпусе микросхемы ограничиваетс  цилиндрическим упором 104. Поворот штока тампона по окружности предотвращаетс  винтом 105. Дл  управлени  испол- нительныт- И мехаушзмами устройства кронштейн тампона снабжен флажком 106 с фотодатчиком 107.

Механизм подачи кассет и механизм укладки кассет в приемные магазины 108 по конструктивному исполнению одинаковы. При зтом они могут перемещать магазины как в одном направлении , так и в разных направлени х, например один - вверх, другой - вниз и наоборот. Каждый механизм состоит из сопр женной пары винта 109 с гайкой 110 и реверсивного двигател  111,, установленного на кронштейне 112. Винт соединен с помощью муфты 113 с валом электродвигател . -На

10

482216

винте крепитс  флажок 114, а на гайке - кронштейн 115 и две цилиндрические стойки 116, несущие площадку 117, на которой устанавливаютс  смен ные магазины 18 с кассетами. При

вхождении флажка 1 14 в паз фотодатчика 118 электродвигатель выключаетс . В верхнем и Н11жнем положени х магазина кронштейн 115 взаимодействует с концевыми выключател ми 119 и 120, в результате чего устройство выключаетс  из работы.

При перемещении магазина на шаг

g кассета устанавливаетс  против торца толкател  17, закрепленного на штоке 16, св занного с кареткой 1. При движении каретки вправо кассета перемещаетс  толкателем из магазина на

исходную позицию лотка, с которой затем микросхемы подаютс  на позицию маркировани  путем перемещени  кассеты на шаг за каждьй рабочий цикл маркировани .

25 Фиксатор служит дл  фиксации микросхем на пйзиции маркировани . Он состоит из двух конических штырей 121, вход щих при фиксации в отверсти  48 рамки микросхемы, регулируемо2Q го по высоте упора 39 и штока 122,

Штыри и упор 39 подпружинены цилиндрической пружиной (не показа-i на) . 1ток фиксатора снабжен роликом 123, взаимодействующим с упором-кулачком при подаче микросхем на позицию маркировани . Упор 39, выполнен - ный в виде цилиндрического стержн  с резьбовым концом, необходим дл  точной установки микросхем по высоте . Он ввернут в шток фиксатора. В результате снабжени  фиксатора регулируемым упором повьш1аетс  качество маркировани .

Блок управлени  ( не показан) содержит трансформатор, выпр митель, шаговые искатели, промежуточные реле и другие коммутационные элементы. Управление исполнительными механизмами осуществл етс  через электро- пневмоклапаны и фотодатчики.

35

40

50

На пульте управлени  установлены автоматический выключатель, выключатели (тумблера , сигнальные световые лампочки, переключатель с автоматического режима работы на режим работы с автоматическим выключением устройства после каждого цикла маркировки и переключатель нанесени  крас

ки на изображение маркировки матрищ через кал(дые 3-4 цикла маркировани .

Источник питани  (не показан) содержит фильтр 124 дл  очистки сжатого воздуха от загр знени , регул тор 125 давлени  и маслораспыли- тель 126.

Все узлы и элементы устройства креп тс  на плите, котора  может быть установлена на любом рабочем столе.

Устройство дл  маркировани  микросхем работает следующим образом.

При включении устройства в работу электрический сигнал поступает из блока управлени  на электропневмокла пан 25 и сжатый воздух через него из источника питани  поступает в камеру 71 пневмоцилиндра 68 и через обратный клапан 27 в камеру 23 пневмоцилиндра 20. Под действием усили  давлени  поршень 69 со штоком 67 пневмоцилиндра 68 перемещаютс  вле

во до упора 76. В крайнем левом поло-25 ческий сигнал снимаетс  с электро-- жении щтока вкладьпп 7 поднимаетс , пневмоклапана 102, поступление сжа- в ракель 6, поворачива сь относительно вала 59, опускаетс  и соприкасаетс  с поверхностью матрицы 2.

30

того воздуха в камеру 98 прекргицает- с , а оставшийс  сжатый воздух из

35

С небольшим запаздыванием поршень 21 со штоком 22 и кареткой I под действием усили  давлени  в камере 23 перемещаютс  вправо до ограничител  52. При движении каретки лишн   краска снимаетс  с матрицы ракелем . При этом ракель вибрирует в осевом направлении за счет перемещени  ролика 79 втулки 78 по криволинейному пазу цилиндрического копира 80, приводимого во вращение элект- д родвигателем 81. Вытесненный сжатый воздух из камер 24 и 70 пневмоцилинд- ров 20 и 68 удал етс  через дроссели 30 и 72 и электромагнитный клапан 26 в атмосферу. При зачистке мат- g рицы краска остаетс  только в углублени х знаков маркировки.

При движении каретки вправо штыри 121 и упор 39 фиксатора отвод тс  упором-кулачком вниз, кулачки 13 и 14, дойд  до захватов 35 и 36 ползуна 32, нажимают на них и они заход т в пазы 45 кассеты 4,а упор 19,дойд  до ползуна ( находившийс  до этого в неподвижном состо нии), захватывает его и он вместе с кассетой перемещаетс  на заданньш шаг, в результате этого микросхема устанавливаетс  на позицию 31 маркировки, а матрица

50

55

нее сбрасываетс  через дроссель 100 и злектропневмоклапан 102 в атмосфе ру. Сжатый воздух проходит через открытый проход электропневмоклапа- на 103 в камеру 99, и поршень 97 с тампоном поднимаютс . После этого электрический сигнал поступает на электропневмоклапан 26 и сжатый воздух через него и обратный клапан 28 проходит в камеру 24 пневмоцилинд ра 20 и через дроссель 72 в камеру 70 пневмоцилиндра, а электрический сигнал с электропневмоклапана 25 снимаетс  и поступление сжатого воз духа в камеры 23 и 71 прекращаетс . Оставшийс  сжатый воздух из камер 23 и 71 пневмоцилиндров 20 и 68 сбрасьшаетс  через дроссели 29 и 78 и электропневмоклапан 25 в атмос феру.

Под действием усили  давлени  поршень 69 со штоком 67 перемещаетс  вправо, ракель поднимаетс , а вкладьаи опускаетс  и соприкасаетс  с поверхностью матрицы. В это же врем  поршень 21 с кареткой 1 под действием усили  давлени  перемещаютс  в крайнее левое положение. При движении каретки краска наноситс  с помощью вкладьщ1а на знаки матрицы. После ухода каретки с

10

-щ

482218

(центр изображени  маркировки) устанавливаетс  соосно с тампоном. В крайнем правом положении каретки флажок 42 заходит в фотодатчик 44 и электрический сигнал поступает на электропневмоклапан 102, открьшаетс  проход и сжатый воздух проходит из источника питани  в камеру 98 пневмоцилиндра 96. Под действием усили  давлени  поршень 97 с тампоном 8 перемещаютс  вниз. При этом вытесненный сжатый воздух из камеры 99 сбрасываетс  через электропневмоклапан 103 в атмосферу. Тампон соприкасаетс  с матрицей, и знаки маркировки отпечатываютс  на его выпуклой поверхности. Движение поршн  97 тампоном 8 ограничиваетс  упором 104, соприкасающимс  с кареткой. В нижнем положении тампона флажок 106 заходит в фотодатчик 1 07 и на электропневмоклапан 103 поступает электрический сигнал. Одновременно электри20

ческий сигнал снимаетс  с электро-- пневмоклапана 102, поступление сжа-

того воздуха в камеру 98 прекргицает- с , а оставшийс  сжатый воздух из

ческий сигнал снимаетс  с электро-- пневмоклапана 102, поступление сжа-

нее сбрасываетс  через дроссель 100 и злектропневмоклапан 102 в атмосферу . Сжатый воздух проходит через открытый проход электропневмоклапа- на 103 в камеру 99, и поршень 97 с тампоном поднимаютс . После этого электрический сигнал поступает на электропневмоклапан 26 и сжатый воздух через него и обратный клапан 28 проходит в камеру 24 пневмоцилиндра 20 и через дроссель 72 в камеру 70 пневмоцилиндра, а электрический сигнал с электропневмоклапана 25 снимаетс  и поступление сжатого воздуха в камеры 23 и 71 прекращаетс . Оставшийс  сжатый воздух из камер 23 и 71 пневмоцилиндров 20 и 68 сбрасьшаетс  через дроссели 29 и 78 и электропневмоклапан 25 в атмосферу .

Под действием усили  давлени  поршень 69 со штоком 67 перемещаетс  вправо, ракель поднимаетс , а вкладьаи опускаетс  и соприкасаетс  с поверхностью матрицы. В это же врем  поршень 21 с кареткой 1 под действием усили  давлени  перемещаютс  в крайнее левое положение. При движении каретки краска наноситс  с помощью вкладьщ1а на знаки матрицы. После ухода каретки с

9134822

позиции 31 маркировани  электрический сигнал снимаетс  с электропнев- моклапана 103 и поступает на электро- пневмоклапан 102, открьпзаетс  проход и сжатый воздух из источника пи тани  проходит в камеру 98 пневмо- цилиндра 96. Под действием усили  давлени  поршень 97 с тампоном 8 опускаютс . Тампон соприкасаетс  с плоской поверхностью корпуса микро

10

схемы, и изображение маркировки от- печатьшаетс  на нем.

Оставшийс  сжатый воздух из камеры 99 сбрасьшаетс  через дроссель 101 и электропневмоклапан 103 в атмосферу , В нижнем положении флажок 106 заходит в фотодатчик 107, электрический сигнал снимаетс  с электро- пневмоклапана 102 и поступает на электропневмоклапан 103, сжатый воздух проходит из источника питани  через дроссель 101 в камеру 99, а оставшийс  сжатый воздух из камеры 98 сбрасываетс  через дроссель 100 и электропневмоклапан 102 в атмосферу . Под действием усили  давлени  поршень 97 с тампоном поднимаютс  в исходное положение. При движении каретки влево краска наноситс  вкладышем на матрицу, В крайнем левом положении флажок 42 заходит в фотодатчик 43, Электрический сигнал снимаетс  с электропневмоклапана 26 и поступает на электропневмоклапан 25, через который сжатый воздух проходит в камеру 71 пневмоцилиндра 68 и через обр&тный клапан 27 в камеру 23 пневмоцилиндра 20, Далее рабочий цикл маркировки автоматически повтор етс .

Переключение устройства на режим работы с автоматическим выключением его после каждого цикла маркировани  осуществл етс  с помощью переключател , установленного на пульте. Дл  переключени  устройства на режим маркировани  с нанесением краски на знаки матрицы через 3-4 цикла следует при положении каретки справа включить в работу электромагнитное устройство 74, с помощью которого путем пережати  трубопроводов пневмо- цилиндр 68 выключаетс  периодически из работы на 3-4 цикла маркировки. При выключенном цилиндре 68 шток 67 находитс  в крайнем левом положении , при котором вкладыш 7 оказываетс  подн тым.

О

5

0

5

0

5

0

5

0

5

После окончани  маркировки микросхем кассеты по сигналу блока управлени  включаетс  электродвигатель 111 механизма 9 подачи, и винт 109 делает поворот на 360°, флажок 114 входит в паз фотодатчика 118 и электродвигатель выключаетс . При повороте винта гайка 110 с магазином 18 перемещаютс  на заданный шаг и против толкател  17 и лотка 15 устанавливаетс  кассета с микросхемами . При перемещении каретки вправо кассета подаетс  толкателем из магазина на исходную позицию лотка и процесс маркировани  снова продолжаетс .

Кассеты с отмаркированными микросхемами укладываютс  в приемные ма- газины 108, которые так же как магазины механизма подачи по сигналу из блока управлени  перемещаютс  на щаг, в результате этого его пазы устанавливаютс  против лотка.

После маркировки всех кассет магазина крошптейн 115 гайки 110 воздействует на нижний 120 или верхний 119 концевой выключатель, контакты размыкаютс , загораетс  на пульте управлени  сигнальна  лампочка и устройство выключаетс  из работы, Магазин мен етс . Если магазин находитс  в нижнем положении, то путем реверсировани  электродвигател  он, переводитс  в верхнее положение.

Claims (3)

1. Формула изобретени 

   1, Устройство дл  маркировки изделий , преимущественно микросхем, установленных в плоских кассетах, содержащее каретку с матрицей, тампон , механизм ракел  с вкладьшгем, фиксатор и транспортирующее средство , отличающеес  тем, что, с целью повьплени  производительности , каретка имеет боковые окна и паз в нижней поверхности и снабжена ползуном, установленным в пазу, кулачками, смонтированными в боковых окнах, упором установки шага подачи изделий и упором-кулачком, причем ползун установлен с возможностью , взаимодействи  с упором установки шага подачи изделий, перемещени  вместе с кареткой и имеет верхние горизонтальные , на которых установлены с возможностью взаимодействи  с кулачками каретки и кассетами упругие Г-образные захваты.
2. 2.Устройство по П.1, отличающеес  тем, что, с целью повьппени  качества маркировки, ползун имеет П-образную форму и паз в основании, фиксатор подпружинен и вьшолнен в виде конических штырей

   и регулируемого по высоте упора и установлен с возможностью перемещени  в пазу ползуна и взаимодействи  с упором-кулачком каретки.
3. 3.Устройство по П.1, отличающее с  тем, что механизм

   ракел  с вкладышем вьтолнен в виде установленных в корпусе двух ползунов , привода и цилиндрического копира , при этом в одном ползуне, св занном с винтовым элементом, установлен горизонтальный вал, на котором закреплен ракель, а в другом ползуне установлен кронштейн, на котором смонтирован вкладыш, причем на горизонтальном валу установлены рычаг, соедин ющий вал с приводом, и втулка , св занна  с помощью ро - лика с цилиндрическим копи - ром.

   7J 5/ J- 5 3S ие. 2

   5 ид В

   Вид Г

   Фu.t

   Фиг.5

   7 1 60 5В 5h

   Д-Л

   95

   /ff-w

   90 67

   Фиг.Ю

   гз

   Zl

   W

   76

   7

   67 56

   7

   f8 16

   42

   ЦЗМ

   От ucrT70vHt/f a cH omoeo воз - духа

   I I

   1 2 2if 25/25 s

   фиг.Л

   P-i

   PV I-w-1-M I

   75 T M 97 70 6971 с

   92

   7777

   п

   Ю7

   фиг.Л

   Составитель А.Евстигнеев

   Редактор М.Андрушенко Техред А.Кравчук Корректор С.Шекмар ---------- ------------- ---------.------- ------.

   Заказ 5155/18 Тираж 348Подписное

   ВНИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д.4/5

   Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул. Проектна , 4