SU1341593A1 - Device for measuring potential of charged layers - Google Patents

Device for measuring potential of charged layers Download PDF

Info

Publication number
SU1341593A1
SU1341593A1 SU853847220A SU3847220A SU1341593A1 SU 1341593 A1 SU1341593 A1 SU 1341593A1 SU 853847220 A SU853847220 A SU 853847220A SU 3847220 A SU3847220 A SU 3847220A SU 1341593 A1 SU1341593 A1 SU 1341593A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
sample
potential
probe
shielding strip
charged layers
Prior art date
Application number
SU853847220A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Леонид Борисович Погорельский
Лев Мойсеевич Панасюк
Original Assignee
Специализированное конструкторско-технологическое бюро "Оптоэлектроника" при Кишиневском государственном университете им.В.И.Ленина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Специализированное конструкторско-технологическое бюро "Оптоэлектроника" при Кишиневском государственном университете им.В.И.Ленина filed Critical Специализированное конструкторско-технологическое бюро "Оптоэлектроника" при Кишиневском государственном университете им.В.И.Ленина
Priority to SU853847220A priority Critical patent/SU1341593A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1341593A1 publication Critical patent/SU1341593A1/en

Links

Landscapes

  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

Изобретение может быть использовано , в частности в электрофотографии дл  испытани  слоев, предназначенных дл  регистрации оптической информации. Цель изобретени  - пов ышёние точности измерений. Устройство дл  измерени  потенциала зар женных слоев содержит соединенный с электроприводом 4 металлический несущий стержень 3, на котором закреплены заземленные экранирующие полоски (ЗЭП) 5 с зондами. Верхн   поверхность ЗЭП 5 покрыта изолирующим слоем , нижн  , обращенна  к исследуемому образцу 1, вьтолнена зубчатой. Устройство содержит также регистрирующий прибор 8, контакты 9 и 11, резистор 10, коронирующий электрод ;12. Исследуемый образец 1 размещен на заземленной металлической плоскости 2. 2 ил. 72 (/) СО 4 СД :о со Шуе.;The invention can be used, in particular, in electrophotography for testing layers for recording optical information. The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy. The device for measuring the potential of the charged layers contains a metal carrier rod 3 connected to the electric drive 4, on which grounded shielding strips (EPZ) 5 are fixed with probes. The top surface of the EPM 5 is covered with an insulating layer, the bottom, facing the test sample 1, is filled with a gear. The device also contains a registering device 8, contacts 9 and 11, a resistor 10, a corona electrode; 12. Test sample 1 is placed on a grounded metal plane 2. 2 Il. 72 (/) CO 4 SD: o from Shuya .;

Description

Изобретение относитс  к электроизмерительной технике и может быть использовано при определении потенциала , а также его распределени  по поверхности зар жаемых коронным разр дом ТОНКИХ диэлектрических пленок и фотополупроводниковых слоев. В частности, изобретение может использоватьс  в электрофотографии дл  ис- ю пытани  слоев, предназначенных дл  регистрации оптической информации.The invention relates to an electrical measuring technique and can be used in determining the potential, as well as its distribution over the surface of corona-charged discharge of THIN dielectric films and photo-semiconductor layers. In particular, the invention can be used in electrophotography for testing a layer for recording optical information.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерений за счет устранени  паразитного сигнала, вы- 15 зьшаемого разр дкой ионов воздуха на поверхности зонда.The aim of the invention is to improve the measurement accuracy by eliminating the parasitic signal, which is discharged by the discharge of air ions on the surface of the probe.

На фиг.1 схематически изображено предлагаемое устройство; на фиг.2 - экранирующа  полоска, поперечное се- 20 чение.Figure 1 schematically shows the proposed device; 2 is a shielding strip, the cross section 20.

Исследуемый образец 1 помещен на заземленную металлическую плоскость 2, над которой параллельно ей расположен металлический несущий стер- 25 жень 3, соединенньш с электроприводом 4. На стержне 3 закреплены заземленные экранирующие полоски 5 с размещенными на них и изолированными от экранирующих полосок зондами 6. ЗО Верхн   поверхность экранирующих полосок 5 покрыта изолирующей пленкой 7, нижн  , обращенна  к образцу, вьшолнена зубчатой. Регистрирующий прибор 8 подключен к контактам 9, 35 которые в свою очередь соединены с зондами 6, и зашунтирован резистором 10.- Контакт 11 служит дл  заземлени  металлического стержн  3 с экранирующими полосками 5. Зар дка 40 образца 1 производитс  коронирующим электродом 1 2,, размеш,енным так, что Металлический стержень 3 при вращении проходит между ним и образцом 1.Test sample 1 is placed on a grounded metal plane 2, above which is parallel to it a metal bearing rod 25, connected to the electric drive 4. On the rod 3, grounded shielding strips 5 are fixed with probes 6 placed on them and insulated from the shielding strips 6. the surface of the shielding strips 5 is covered with an insulating film 7, the bottom facing the specimen is filled with a gear. The recording device 8 is connected to pins 9, 35, which in turn are connected to probes 6, and are bridged by a resistor 10.- Contact 11 serves to ground the metal rod 3 to the shielding strips 5. The charge 40 of sample 1 is produced by a corona electrode 1 2 ,, stir , so that the metal rod 3 rotates between it and sample 1.

Устройство работает следующим об- 45 разом.The device works as follows 45 times.

На коронирующий электрод 12 подаетс  высокое напр жение и исследуемый образец 1 зар жаетс  в поле коронного разр да. Одновременно приво- 50 дитс  во вращение металлический стержень 3 с зондами 6. Поверхностный зар д на образце 1 вызывает в проход щем над ним зонде ЭДС злектросивному перемешиванию слоев воздуха и полной нейтрализации ионов в промежутке , между экранирующей полоской и образцом. Обратна  сторона экранирующей полоски, обращенна  к коронирую- щей нити, покрыта изолирующей пленкой . Это позвол ет избежать ненужной потери ионов в промежутке коронирующий электрод - экранирующа  полоска. Кроме того, наличие изолирующей пленки позвол ет приближать коронирующий источник близко к образцу 1, т.е. повысить эффективность зар дного устройства. Предлагаема  конструкци A high voltage is applied to the corona electrode 12 and test sample 1 is charged in a corona discharge field. At the same time, the metal rod 3 with the probes 6 is brought into rotation. The surface charge on sample 1 causes an electromotive force (EMF) to mix electrically through the air layers and completely neutralize the ions in the gap, between the shielding strip and the sample. The reverse side of the shielding strip, facing the corona thread, is covered with an insulating film. This avoids unnecessary loss of ions in the gap. The corona electrode is a shielding strip. In addition, the presence of an insulating film makes it possible to bring the corona source close to sample 1, i.e. increase the efficiency of the charging device. We offer designs

позвол ет примен ть зар дные устрой ства любого типа (коротрон, игольчатый электрод и т.д.) и мен ть их положение относительно образца 1 по желанию.-Ток, проход щий через резистор 10, фиксируетс  через интегратор регистрирующим прибором - осциллографом 8. Зар д, индуцированный на зонде, определ етс  соотношениемallows to use charging devices of any type (corotron, needle electrode, etc.) and change their position relative to sample 1 at will. The current passing through resistor 10 is fixed through the integrator by a recording device, an oscilloscope 8. The charge induced on the probe is determined by the ratio

q .ES,q .ES,

где Е - диэлектрическа  посто нна where E is dielectric constant

воздуха; 6о 8,86- 0- ф/м;air; 6o 8.86-0f / m;

Е - напр женность пол ; S - площадь зонда. Потенциал зонда определ етс  по формулеE - tension sex; S is the probe area. The potential of the probe is determined by the formula

- ..- ..

где С - емкость зонда относительноwhere C is the probe capacitance relative to

образца 1. В то же врем sample 1. At the same time

н -1n -1

где Vg - потенциал образца 1;where Vg is the potential of sample 1;

h - рассто ние от зонда 6 до образца 1 .h is the distance from probe 6 to sample 1.

Отсюда следует, что ток во входной цепи регистрирующего прибора ВIt follows that the current in the input circuit of the recording device B

dldl

dt  dt

RCiiRCii

dVsdVs

dtdt

где R - сопротивление резистора 10, т.е. величина сигнала с зондов 6 статической индукции. При движени ме- 55 пропорциональна линейной .скорости таллического стержн  1 в направлении, зондов 6 и обратно пропорциональна обозначенном стрелками, на фиг.1 и 2, рассто нию от зондов 6 до образца 1. на зубцах возникают завихрени  воз- Поэтому эти параметры устанавливают- дущного потока, привод щие к интен- с  перед калибровкой устройства иwhere R is the resistance of the resistor 10, i.e. the magnitude of the signal from the probes 6 static induction. When moving, 55 is proportional to the linear speed of the tall rod 1 in the direction of the probes 6 and inversely proportional to the arrows indicated in FIGS. 1 and 2, the distance from the probes 6 to sample 1. On the teeth, turbulence of the potential arises. prior to calibration of the device and

сивному перемешиванию слоев воздуха и полной нейтрализации ионов в промежутке , между экранирующей полоской и образцом. Обратна  сторона экранирующей полоски, обращенна  к коронирую- щей нити, покрыта изолирующей пленкой . Это позвол ет избежать ненужной потери ионов в промежутке коронирующий электрод - экранирующа  полоска. Кроме того, наличие изолирующей пленки позвол ет приближать коронирующий источник близко к образцу 1, т.е. повысить эффективность зар дного устройства. Предлагаема  конструкци intensive mixing of air layers and complete neutralization of ions in the gap between the shielding strip and the sample. The reverse side of the shielding strip, facing the corona thread, is covered with an insulating film. This avoids unnecessary loss of ions in the gap. The corona electrode is a shielding strip. In addition, the presence of an insulating film makes it possible to bring the corona source close to sample 1, i.e. increase the efficiency of the charging device. We offer designs

позвол ет примен ть зар дные устрой ства любого типа (коротрон, игольчатый электрод и т.д.) и мен ть их положение относительно образца 1 по желанию.-Ток, проход щий через резистор 10, фиксируетс  через интегратор регистрирующим прибором - осциллографом 8. Зар д, индуцированный на зонде, определ етс  соотношениемallows to use charging devices of any type (corotron, needle electrode, etc.) and change their position relative to sample 1 at will. The current passing through resistor 10 is fixed through the integrator by a recording device, an oscilloscope 8. The charge induced on the probe is determined by the ratio

q .ES,q .ES,

где Е - диэлектрическа  посто нна where E is dielectric constant

воздуха; 6о 8,86- 0- ф/м;air; 6o 8.86-0f / m;

Е - напр женность пол ; S - площадь зонда. Потенциал зонда определ етс  по формулеE - tension sex; S is the probe area. The potential of the probe is determined by the formula

- ..- ..

где С - емкость зонда относительноwhere C is the probe capacitance relative to

образца 1. В то же врем sample 1. At the same time

н -1n -1

где Vg - потенциал образца 1;where Vg is the potential of sample 1;

h - рассто ние от зонда 6 до образца 1 .h is the distance from probe 6 to sample 1.

Отсюда следует, что ток во входной цепи регистрирующего прибора ВIt follows that the current in the input circuit of the recording device B

RCiiRCii

dVsdVs

dtdt

313313

впредь не измен ютс . Дл  градуировки вместо исследуемого образца помещаетс  эталонна  металлическа  пластинка. На пластинку подаетс  посто нное напр жение той же пол рности , что и наносимый на исследуемый слой потенциал. С зондов 6 снимаетс  сигнал, амплитуда которого пропорциональна напр жению на эталонной г1ластинке, и строитс  градуировоч- ный график, используемый дл  определени  потенциала исследуемого сло . Градуировочный график дает линейную зависимость между потенциалом , подаваемым на эталонную пластинку, и величиной сигнала,- фиксируемого регистрирующим прибором .continue to be unchanged. For calibration, a reference metal plate is placed instead of the sample to be tested. The plate is supplied with a constant voltage of the same polarity as the potential applied to the layer under study. A signal is sensed from probes 6, the amplitude of which is proportional to the voltage on the reference plate, and a calibration curve is used to determine the potential of the layer under study. The calibration curve gives a linear relationship between the potential applied to the reference plate and the magnitude of the signal, as recorded by the recording device.

33

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Устройство дл  измерени  потенциала зар женных слоев, содержащее коронирующий электрод, расположенный над объектом контрол , и измерительный блок, содержащий по крайней мере один зонд, размещенный на заземленной экранирующей полоске, привоДИМОЙ во вращение электроприводом, причем зонд изолирован от экранирующей полоски и электрически соединен с входом регистрирующего прибора, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измереA device for measuring the potential of charged layers containing a corona electrode located above the test object, and a measuring unit containing at least one probe placed on a grounded shielding strip driven by an electric drive, the probe being isolated from the shielding strip and electrically connected to the input a recording device, characterized in that, in order to improve the accuracy of measurement НИИ, поверхность экранирующей полоски , обращенна  к измер емому Слою, выполнена зубчатой,а противоположна  поверхность покрыта изолирующим слоем.The scientific research institute, the surface of the shielding strip, facing the measured Layer, is made gear, and the opposite surface is covered with an insulating layer. (риг. 2(rig 2
SU853847220A 1985-01-14 1985-01-14 Device for measuring potential of charged layers SU1341593A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853847220A SU1341593A1 (en) 1985-01-14 1985-01-14 Device for measuring potential of charged layers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853847220A SU1341593A1 (en) 1985-01-14 1985-01-14 Device for measuring potential of charged layers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1341593A1 true SU1341593A1 (en) 1987-09-30

Family

ID=21159810

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853847220A SU1341593A1 (en) 1985-01-14 1985-01-14 Device for measuring potential of charged layers

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1341593A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент DE № 2546331, кл. G 01 R 31/26, 1977. Авторское свидетельство СССР № 1100583, кл. G 01 R 29/12, 1982. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102520259B (en) Multi-sample surface charge measuring device
DE3787041D1 (en) METHOD FOR DETECTING AND / OR IDENTIFYING A BIOLOGICAL SUBSTANCE BY ELECTRICAL MEASUREMENTS AND DEVICE FOR CARRYING OUT THIS METHOD.
Secker The desing of simple instruments for measurement of charge on insulating surfaces
RU2005129920A (en) DETERMINATION OF ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF INTERFEROMETRIC MODULATORS
JPS63165772A (en) Electrostatic voltage follower
JP3030398B2 (en) Pinhole detector
US3727125A (en) Apparatus for measuring electrostatic properties of materials
SU1341593A1 (en) Device for measuring potential of charged layers
US20170038614A1 (en) Measurement techniques for liquid crystal parameters and ion impurities
Noras Charge detection methods for dielectrics–Overview
US2652533A (en) Gaussmeter
CN112164290A (en) Novel Hall effect experiment instrument
SU1166020A1 (en) Method of measruing charged layer potential
SU1003394A1 (en) Device for measuring potential difference
SU1160334A1 (en) Device for analysing electrostatic properties of non-metal materials
RU2532590C1 (en) Measuring method of contact difference of potentials
SU661656A1 (en) Device for measuring velocity, mobility, concentration and sign of current carriers in solid body
US4021200A (en) Electronic digital radial and electro immunodiffusion calibrating viewer
US3501653A (en) Impact electrification apparatus
SU1100583A1 (en) Device for measuring charged layer potential
SU1543331A1 (en) Device for investigating electric heterogeneities of high-ohmic specimens
RU2234075C2 (en) Non-contact method of determination of inductivity of the solid and liquid dielectrics
SU600429A1 (en) Triboelectric device
SU1390578A1 (en) Method of determining potential of a charged dielectric surface
SU1377787A1 (en) Device for measuring hall electromotive force in space-charge region