SU1335112A1

SU1335112A1 - Термостатированный кварцевый резонатор

Info

Publication number: SU1335112A1
Application number: SU853977702A
Authority: SU
Inventors: В.С. Теренько; А.Н. Дикиджи; М.И. Ярославский; Н.И. Алексеева; В.Н. Банков; В.В. Бахтинов; Г.И. Варфоломеева; М.Н. Коган
Original assignee: Предприятие П/Я В-2132
Priority date: 1985-11-20
Filing date: 1985-11-20
Publication date: 1990-02-07
Also published as: BG49366A1

Abstract

Изобретение относитс к области радиоэлектроники. Цель изобретени - повышение стабильности частоты. Термо .сл атиоованный кварцевый резонатор содержит кристаллический элемент 1 с возбуждающими электродами 2, 3 в ак тивной области. На первой основной грани кристаллического элемента 1 во«руг активной области в периферийной зоне расположеи резистивный пленочный нагреватель 4, на второй основной грани размещен датчик 6 температуры , выполненный в виде терморе - зистивной текстурированной пленки из окислов кобальта и марганца-со следукицим соотношением компонентов, мас.%; окисел кобальта 50-65; окисел марганца остальное. При этом внешние контуры рабочей зоны терморезистив- ной текстурированной пленки совпадают с контурами рабочей зоны резисти1з- ного пленрчного нагревател . 3 ил. § (Л С со со ел

Description

113

Изобретение относитс к области радиоэлектроники и может использоватьс в высокостабильных кварцевых резонаторах .

Цель изобретени - повышение стабильности частоты.

На фиг. 1 показан термостатированный кварцевый резонатор, вид спереди; на фиг, 2 - то же, вид сбоку; на фиг. 3 - структурна схема резонатора

Термостатированный кварцевый резонатор содержит кристаллический эпе мент 1, возбуждающие электроды 2 и 3, резистивный пленочный нагреватель 4 . с токопровод щей перемычкой 5, датчик 6 температуры с тонкопленочными про- вЬд щими контактами 7 и 8 и с терморезистором 9 в виде текстурированной пленки из окислов кобальта и марган- да,.контактные площадки 10, блок 11 терморе гулировани и автогенератор 12

Резонатор работает следунндим образом .

Входной сигнал подаетс на элект- роды 2 и 3 резонатора, при этом в кристаллическом элементе 1 возникают колебани . Выходной электрический сигнал со стабилизированной частотой снимаетс с электродов 2 и 3.

Термос табилизаци пьезозлемента осуществл етс следующим образом.

При включении блока 11 терморе гулировани сопротивление терморе- зистора 9, выводы которого соединены с входными клеммами блока терморегулировани , велико и сравнивакндий термочувствительный элемент блока терморегулировани разбалансирован. При этом через резистивньй пленочный на- греватель А, выводы которого соединены с выходными клеммами блока 11 терморегулировани , протекает полый ток подогрева пьезоэлемента кварцевого резонатора. По мере нагрева пьезо- элемента и, следовательно, терморезистора , сопротивление последнего уменьшаетс , а через резистивный пленочный нагреватель 4 протекает меньший ток. При этом величина тока регулируетс пропорционально напр жению разбаланса сравнивающего термочувствительного злемента блока 11 терморегулировани , за счет чего обеспечиваетс посто нство .температуры подогрева пьезозлемента кварцевого резонатора .

Высока точность стабилизации температуры , а следовйтельно, и частоты

1

5 0

5 о

Q

5

0

5

122

кварцевого резонатора достигаетс за счет повышенного теплового контакта с объектом термостатировани , который достигаетс использованием тонкопленочного терморезистивного датчика 6 температуры с контурами рабочей зоны, совпадающей с контурами рабочей зоны нагревател 4. Это позвол ет повысить точность поддержани температуры пьезоэлемента и довести ее до 10,ГС

Применение тонкопленочного терморезистора на основе текстуры окислов кобальта и марганца с соотношением компонентов, мар.%: окисел кобальта 50-65; окисел марганца остальное, сформированной высокочастотным магне- тронным распылением, обеспечивает значительное снижение воспроизводимости электрических параметров тонкопленочных терморезисторов и повышение их долговременной стабильности, что тёкже повышает стабильность частоты кварцевого резонатора.

Claims

Формула изобретени

Термостатированный кварцевый резонатор , содержащий кристаллический элемент в форме пластины с расположен- ными на его первой и второй основных гран х и активной области возбуждающими электро; ами, резистивный пленочный нагреватель, расположенньй на . первой основной грани кристаллического элемента вокруг активной области в его периферийной зоне, вывода которого соединены с вькодныки клеммами блока терморегулировани , и датчик температуры, выполненный в виде терморезистора и расположенный на вторрй основной грани кристаллического элемента вне активной области, выводы которого соединены с входными клеммами блока терморегулировани , отличающийс тем, что, с целью повышени стабильности частоты, терморезистор выполнен в виде тексту рированной пленки из окислов кобаль- Td и марганца со следующим соотношением компонентов, мае.%:

Окисел кобальта 50-65 Окисел .марганца Остальное причем внешние контуры рабочей зоны терморезистора совпадают, с контура- , ми рабочей зоны резистивного пленочного нагревател .

(pue.2

Фи8, д